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载台装置、图案形成装置及物品制造方法制造方法及图纸
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下载载台装置、图案形成装置及物品制造方法的技术资料
文档序号:40655922
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本发明涉及载台装置、图案形成装置及物品制造方法。根据本发明的载台装置包括:第一载台,其被构造为能够在第一方向上移动;第一驱动单元,其被构造为产生推力以使第一载台在第一方向上移动;以及反作用力减小单元,其被构造为产生推力以减小通过第一驱动单元...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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