一种IC元件3D检测装置制造方法及图纸

技术编号:40631938 阅读:3 留言:0更新日期:2024-03-13 21:17
本技术公开一种IC元件3D检测装置,包括底座、安装于所述底座的Y轴滑动组件、安装于所述Y轴滑动组件的Y轴驱动组件和X轴滑动组件、安装于所述X轴滑动组件的X轴驱动组件和放置台、安装于所述底座的机架、安装于所述机架的Z轴移动组件、安装于所述Z轴移动组件的检测组件、安装于所述机架的外罩,所述Y轴驱动组件与所述X轴滑动组件的底部连接,所述X轴驱动组件与所述放置台的底部连接,所述检测组件位于所述放置台的正上方;通过设置的Z轴移动组件可以改变检测组件Z轴向上的位置,以根据需求进行Z轴向上位置的调节,调节简单方便、适用性强,不需要更换检测镜头,节省了生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及检测,尤指一种ic元件3d检测装置。


技术介绍

1、视觉检测就是用机器代替人眼来做测量和判断。视觉检测是指通过机器视觉产品将被摄取目标转换成图像信号,传送给专用的图像处理系统,根据像素分布和亮度、颜色等信息,转变成数字化信号;图像系统对这些信号进行各种运算来抽取目标的特征,进而得到判别的结果;现有的视觉相机镜头被固定在固定的机构上,无法进行高度的调节,由此,当更换不同厚度的待测半导体元件时,需更换不同的长度的镜头,故而增加了检测成本。


技术实现思路

1、为解决上述问题,本技术提供一种ic元件3d检测装置,通过设置y轴驱动组件可以驱动x轴滑动组件在y轴滑动组件上滑动,x轴驱动组件可以驱动放置台在x轴滑动组件上滑动,以此来对放置台进行x轴向上的位移和y轴向上的位移,以此来跟检测组件进行匹配,z轴移动组件可以改变检测组件z轴向上的位置,以根据需求进行z轴向上位置的调节,调节简单方便、适用性强,不需要更换检测镜头,节省了生产成本。

2、为实现上述目的,本技术采用的技术方案是提供一种ic元件3d检测装置,包括底座、安装于所述底座的y轴滑动组件、安装于所述y轴滑动组件的y轴驱动组件和x轴滑动组件、安装于所述x轴滑动组件的x轴驱动组件和放置台、安装于所述底座的机架、安装于所述机架的z轴移动组件、安装于所述z轴移动组件的检测组件、安装于所述机架的外罩,所述y轴驱动组件与所述x轴滑动组件的底部连接,所述x轴驱动组件与所述放置台的底部连接,所述检测组件位于所述放置台的正上方。p>

3、作为一种优选方案,所述y轴滑动组件包括安装于所述底座的y轴安装架、安装于所述y轴安装架的y轴第一滑动模组和y轴第二滑动模组、安装于所述x轴滑动组件的y轴第三滑动模组和y轴第四滑动模组,所述y轴第三滑动模组与所述y轴第一滑动模组匹配设置,所述y轴第四滑动模组与所述y轴第二滑动模组匹配设置。

4、作为一种优选方案,所述y轴驱动组件包括安装于所述y轴安装架的y轴电机座、安装于所述y轴电机座的y轴电机、安装于所述y轴安装架的y轴第一丝杆座和y轴第二丝杆座、y轴丝杆、安装于所述y轴丝杆的y轴螺母座,所述y轴丝杆一端安装于所述y轴第一丝杆座,所述y轴丝杆另一端安装于所述y轴第二丝杆座,所述y轴丝杆与所述y轴电机传动连接,所述y轴螺母座与所述x轴滑动组件固定连接。

5、作为一种优选方案,所述x轴滑动组件包括x轴安装架、安装于所述x轴安装架的x轴第一滑动模组和x轴第二滑动模组、安装于所述放置台的x轴第三滑动模组和x轴第四滑动模组,所述x轴第三滑动模组与所述x轴第一滑动模组匹配设置,所述x轴第四滑动模组与所述x轴第二滑动模组匹配设置,所述y轴第三滑动模组和y轴第四滑动模组均安装于所述x轴安装架的底部,所述y轴螺母座与所述x轴安装架底部固定连接。

6、作为一种优选方案,所述x轴驱动组件包括安装于所述x轴安装架的x轴电机座、安装于所述x轴电机座的x轴电机、安装于所述x轴安装架的x轴第一丝杆座和x轴第二丝杆座、x轴丝杆、安装于所述x轴丝杆的x轴螺母座,所述x轴丝杆一端安装于所述x轴第一丝杆座,所述x轴丝杆另一端安装于所述x轴第二丝杆座,所述x轴丝杆与所述x轴电机传动连接,所述x轴螺母座与所述放置台固定连接。

7、作为一种优选方案,所述z轴移动组件包括安装于所述机架的z轴移动架、安装于所述z轴移动架的z轴第一滑座和z轴第二滑座、安装于所述z轴第一滑座的z轴第一滑块、安装于所述z轴第二滑座的z轴第二滑块、安装板、及安装于所述z轴移动架的z轴驱动模块,所述安装板一端安装于所述z轴第一滑块,所述安装板另一端安装于所述z轴第二滑块,所述z轴驱动模块与所述安装板固定连接,所述检测组件安装于所述安装板。

8、作为一种优选方案,还包括安装于所述z轴移动架的上导向座和下导向座、导向柱、安装于所述导向柱的导向套筒、及连接件,所述导向柱一端安装于所述上导向座,所述导向柱另一端安装于所述下导向座,所述连接件一端安装于所述导向套筒,所述连接件另一端安装于所述安装板。

9、作为一种优选方案,所述检测组件包括安装于所述安装板的检测护罩、安装于所述检测护罩的检测架、安装于所述检测架的检测相机,所述检测相机位于所述放置台的上方。

10、作为一种优选方案,还包括电控箱,所述电控箱分别与所述y轴滑动组件、x轴滑动组件、z轴移动组件和检测组件电连接。

11、本技术的有益效果在于:通过设置y轴驱动组件可以驱动x轴滑动组件在y轴滑动组件上滑动,x轴驱动组件可以驱动放置台在x轴滑动组件上滑动,以此来对放置台进行x轴向上的位移和y轴向上的位移,以此来跟检测组件进行匹配,z轴移动组件可以改变检测组件z轴向上的位置,以根据需求进行z轴向上位置的调节,调节简单方便、适用性强,不需要更换检测镜头,节省了生产成本。

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【技术保护点】

1.一种IC元件3D检测装置,其特征在于,包括底座、安装于所述底座的Y轴滑动组件、安装于所述Y轴滑动组件的Y轴驱动组件和X轴滑动组件、安装于所述X轴滑动组件的X轴驱动组件和放置台、安装于所述底座的机架、安装于所述机架的Z轴移动组件、安装于所述Z轴移动组件的检测组件、安装于所述机架的外罩,所述Y轴驱动组件与所述X轴滑动组件的底部连接,所述X轴驱动组件与所述放置台的底部连接,所述检测组件位于所述放置台的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种IC元件3D检测装置,其特征在于:所述Y轴滑动组件包括安装于所述底座的Y轴安装架、安装于所述Y轴安装架的Y轴第一滑动模组和Y轴第二滑动模组、安装于所述X轴滑动组件的Y轴第三滑动模组和Y轴第四滑动模组,所述Y轴第三滑动模组与所述Y轴第一滑动模组匹配设置,所述Y轴第四滑动模组与所述Y轴第二滑动模组匹配设置。

3.根据权利要求2所述的一种IC元件3D检测装置,其特征在于:所述Y轴驱动组件包括安装于所述Y轴安装架的Y轴电机座、安装于所述Y轴电机座的Y轴电机、安装于所述Y轴安装架的Y轴第一丝杆座和Y轴第二丝杆座、Y轴丝杆、安装于所述Y轴丝杆的Y轴螺母座,所述Y轴丝杆一端安装于所述Y轴第一丝杆座,所述Y轴丝杆另一端安装于所述Y轴第二丝杆座,所述Y轴丝杆与所述Y轴电机传动连接,所述Y轴螺母座与所述X轴滑动组件固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种IC元件3D检测装置,其特征在于:所述X轴滑动组件包括X轴安装架、安装于所述X轴安装架的X轴第一滑动模组和X轴第二滑动模组、安装于所述放置台的X轴第三滑动模组和X轴第四滑动模组,所述X轴第三滑动模组与所述X轴第一滑动模组匹配设置,所述X轴第四滑动模组与所述X轴第二滑动模组匹配设置,所述Y轴第三滑动模组和Y轴第四滑动模组均安装于所述X轴安装架的底部,所述Y轴螺母座与所述X轴安装架底部固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种IC元件3D检测装置,其特征在于:所述X轴驱动组件包括安装于所述X轴安装架的X轴电机座、安装于所述X轴电机座的X轴电机、安装于所述X轴安装架的X轴第一丝杆座和X轴第二丝杆座、X轴丝杆、安装于所述X轴丝杆的X轴螺母座,所述X轴丝杆一端安装于所述X轴第一丝杆座,所述X轴丝杆另一端安装于所述X轴第二丝杆座,所述X轴丝杆与所述X轴电机传动连接,所述X轴螺母座与所述放置台固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种IC元件3D检测装置,其特征在于:所述Z轴移动组件包括安装于所述机架的Z轴移动架、安装于所述Z轴移动架的Z轴第一滑座和Z轴第二滑座、安装于所述Z轴第一滑座的Z轴第一滑块、安装于所述Z轴第二滑座的Z轴第二滑块、安装板、及安装于所述Z轴移动架的Z轴驱动模块,所述安装板一端安装于所述Z轴第一滑块,所述安装板另一端安装于所述Z轴第二滑块,所述Z轴驱动模块与所述安装板固定连接,所述检测组件安装于所述安装板。

7.根据权利要求6所述的一种IC元件3D检测装置,其特征在于:还包括安装于所述Z轴移动架的上导向座和下导向座、导向柱、安装于所述导向柱的导向套筒、及连接件,所述导向柱一端安装于所述上导向座,所述导向柱另一端安装于所述下导向座,所述连接件一端安装于所述导向套筒,所述连接件另一端安装于所述安装板。

8.根据权利要求7所述的一种IC元件3D检测装置,其特征在于:所述检测组件包括安装于所述安装板的检测护罩、安装于所述检测护罩的检测架、安装于所述检测架的检测相机,所述检测相机位于所述放置台的上方。

9.根据权利要求1所述的一种IC元件3D检测装置,其特征在于:还包括电控箱,所述电控箱分别与所述Y轴滑动组件、X轴滑动组件、Z轴移动组件和检测组件电连接。

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【技术特征摘要】

1.一种ic元件3d检测装置,其特征在于,包括底座、安装于所述底座的y轴滑动组件、安装于所述y轴滑动组件的y轴驱动组件和x轴滑动组件、安装于所述x轴滑动组件的x轴驱动组件和放置台、安装于所述底座的机架、安装于所述机架的z轴移动组件、安装于所述z轴移动组件的检测组件、安装于所述机架的外罩,所述y轴驱动组件与所述x轴滑动组件的底部连接,所述x轴驱动组件与所述放置台的底部连接,所述检测组件位于所述放置台的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种ic元件3d检测装置,其特征在于:所述y轴滑动组件包括安装于所述底座的y轴安装架、安装于所述y轴安装架的y轴第一滑动模组和y轴第二滑动模组、安装于所述x轴滑动组件的y轴第三滑动模组和y轴第四滑动模组,所述y轴第三滑动模组与所述y轴第一滑动模组匹配设置,所述y轴第四滑动模组与所述y轴第二滑动模组匹配设置。

3.根据权利要求2所述的一种ic元件3d检测装置,其特征在于:所述y轴驱动组件包括安装于所述y轴安装架的y轴电机座、安装于所述y轴电机座的y轴电机、安装于所述y轴安装架的y轴第一丝杆座和y轴第二丝杆座、y轴丝杆、安装于所述y轴丝杆的y轴螺母座,所述y轴丝杆一端安装于所述y轴第一丝杆座,所述y轴丝杆另一端安装于所述y轴第二丝杆座,所述y轴丝杆与所述y轴电机传动连接,所述y轴螺母座与所述x轴滑动组件固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种ic元件3d检测装置,其特征在于:所述x轴滑动组件包括x轴安装架、安装于所述x轴安装架的x轴第一滑动模组和x轴第二滑动模组、安装于所述放置台的x轴第三滑动模组和x轴第四滑动模组,所述x轴第三滑动模组与所述x轴第一滑动模组匹配设置,所述x轴第四滑动模组与所述x轴第二滑动模组匹配设置,所述y轴第三滑动模组和y轴第四滑动模组均安装于所述x轴安装架的底部,所述y轴螺...

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋泽忠李铎
申请(专利权)人:桦鼎智能装备东莞有限公司
类型:新型
国别省市:

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