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本技术公开一种IC元件3D检测装置，包括底座、安装于所述底座的Y轴滑动组件、安装于所述Y轴滑动组件的Y轴驱动组件和X轴滑动组件、安装于所述X轴滑动组件的X轴驱动组件和放置台、安装于所述底座的机架、安装于所述机架的Z轴移动组件、安装于所述Z轴...
该专利属于桦鼎智能装备（东莞）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过桦鼎智能装备（东莞）有限公司授权不得商用。

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