掩膜版的加工方法技术

本发明专利技术公开一种掩膜版的加工方法，包括：提供至少一个原膜，将原膜固定于承载台上；利用激光在原膜上划刻出镂空区域，镂空区域内的待去除材料落至承载台上与镂空区域对应的接料槽内，形成掩膜版。利用激光在原膜上划刻出镂空区域，镂空区域的部分或全部材料成为待去除材料，利用激光划刻穿透原膜，以使待去除材料与周围的材料分离后，落至接料槽内，形成镂空孔，与现有技术中采用丝网印刷加工镂空图案相比，激光划刻的精度更高，不会出现毛刺；且烧蚀区域较小，产生的热效应较小，不会导致掩膜版变形，不会产生大量高分子烟尘，进而避免了高分子烟尘回落到掩膜版表面与电池片接触后会造成污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图案加工，尤其涉及一种掩膜版的加工方法。

技术介绍

1、太阳能电池可以将太阳光转化为电能，其应用越来越广泛。在太阳能电池生产过程中，一般利用掩膜版在电池片的表面制备一些功能层，掩膜版的镂空图案与功能层图案相同，将掩膜版覆盖在电池片表面后，通过沉积、印刷、蒸镀等方法使功能层材料附着在掩膜版的镂空图案内，再将掩膜版去除，镂空图案内的功能层材料留在电池片表面形成功能层。此外，掩膜版还可以作为芯片、平板显示等行业的重要工具，承载着图形转移的任务，高精度的掩膜版对于微米乃至纳米尺度的电子产品制造工业有着极为重要的意义。

2、目前，掩膜版一般通过丝网印刷的方式制作，丝网印刷所用的网版一般由网框、丝网和感光胶组成，经过绷网、涂布乳剂、曝光、显影等步骤，使曝光部位交联固化形成版膜，而未曝光部分经显影后形成镂空图案，从而制成掩膜版。

3、然而采用丝网印刷制作，液态的乳剂一般会流动导致镂空图案的边缘产生毛刺不整齐，导致镂空图案的精度较差。采用激光划刻出掩膜版的镂空区域，镂空区域内的原膜材料容易对掩膜版造成影响，影响掩膜版与电池片贴合。...

【技术保护点】

1.一种掩膜版的加工方法，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的掩膜版的加工方法，其特征在于，将所述原膜固定于承载台上，包括：

3.根据权利要求1所述的掩膜版的加工方法，其特征在于，所述原膜的一侧表面具有粘性；将所述原膜固定于承载台上，包括：

4.根据权利要求1所述的掩膜版的加工方法，其特征在于，将所述原膜固定于承载台上，包括：采用吸附的方式将所述原膜固定于承载台上；

5.根据权利要求1-4任一项所述的掩膜版的加工方法，其特征在于，所述镂空区域内的待去除材料落至承载台上与镂空区域对应的接料槽内，包括：所述接料槽为具有底壁的非贯通槽，所述镂空...

【技术特征摘要】

1.一种掩膜版的加工方法，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的掩膜版的加工方法，其特征在于，将所述原膜固定于承载台上，包括：

3.根据权利要求1所述的掩膜版的加工方法，其特征在于，所述原膜的一侧表面具有粘性；将所述原膜固定于承载台上，包括：

4.根据权利要求1所述的掩膜版的加工方法，其特征在于，将所述原膜固定于承载台上，包括：采用吸附的方式将所述原膜固定于承载台上；

5.根据权利要求1-4任一项所述的掩膜版的加工方法，其特征在于，所述镂空区域内的待去除材料落至承载台上与镂空区域对应的接料槽内，包括：所述接料槽为具有底壁的非贯通槽，所述镂空区域内的待去除材料靠重力作用全部落至所述接料槽内部。

6.根据权利要求1-4任一项所述的掩膜版的加工方法，其特征在于，所述镂空区域内的待去除材料落至承...

【专利技术属性】
技术研发人员：高搏，程彦江，张涛，蔡永安，徐希翔，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：