【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体设备，具体而言，涉及一种偏心驱动机构的偏心距精确调节方法。
技术介绍
1、自20世纪五六十年代化学气相沉积(cvd)金刚石制备技术问世，并在20 世纪80年代获得快速发展以来，探索并应用金刚石材料的优良特性成为可能。首先，作为一种宽禁带半导体材料，金刚石可以用来制备功率器件、光电器件、金刚石基探测器和传感器、微机电和纳机电器件、半导体金刚石异质结等。其次，由于金刚石的传热机制是通过晶格振动传热，碳原子产生振动的量子能量较大，因此金刚石是自然界中热导率最高的物质，在散热领域具有巨大的应用潜力。
2、当金刚石作为晶圆衬底使用时，要求其表面粗糙度ra低于3nm，同时具有亚微米级的面型精度，即金刚石表面需要达到超光滑、超平坦和无缺陷的水平，为此，需要使用金刚石抛光机对金刚石表面进行研磨抛光。
3、现有的金刚石抛光机包括多个压头、抛光盘和偏心驱动机构，压头将金刚石压合在抛光盘上，偏心驱动机构驱动抛光盘进行偏心转动，对金刚石进行抛光。金刚石抛光机由于偏心驱动机构的偏心距是固定的，使得抛光盘的偏心转动形式单一，不具备工艺更换调节或工艺调试功能，而且也无法加工不同尺寸的金刚石晶圆。
4、为满足不同尺寸晶圆的加工需求，需要设置偏心距可调的偏心驱动机构，然而，针对不同尺寸的金刚石晶圆，需要设置合适的偏心距，具体是通过可调的偏心驱动机构实现偏心距的调节。
5、在理想状态下，根据偏心距调节机构中关键部件的理论尺寸、理论距离等参数，即可得到准确的偏心距数值。但是实际情况下，各种部件的尺寸精密
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种偏心驱动机构的偏心距精确调节方法，旨在解决因部件的尺寸精密度、配合精密度存在误差，导致偏心距偏差较大，由此降低偏心驱动机构的调节精度乃至整个抛光机的加工精度的技术问题。
2、本申请的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本申请的实践而习得。
3、根据本申请的第一方面，提供一种偏心驱动机构的偏心距精确调节方法，所述偏心驱动机构包括旋转套、第一转轴、第二转轴、第三转轴、第一驱动轮、第一连接板、第二连接板、第二驱动轮和第三驱动轮；所述旋转套用于连接在外部受驱件上；所述第一转轴的一端伸入所述旋转套内并与所述旋转套偏心设置，所述第一转轴的伸入所述旋转套内的一端设有第一驱动轮，所述第一转轴的另一端用于连接旋转驱动件；所述第二转轴和第三转轴分别与所述第一转轴平行间隔设置，所述第二转轴与所述第一转轴之间通过第一连接板可转动地连接，所述第三转轴与所述第二转轴之间通过第二连接板可转动地连接，所述第二转轴上设有第二驱动轮，所述第二驱动轮与所述第一驱动轮传动连接，所述第三转轴上设有第三驱动轮，所述第三驱动轮与所述第二驱动轮传动连接，并且所述第三驱动轮还与所述旋转套的内壁传动连接；所述旋转套的中心线与所述第一转轴的轴线之间的距离为偏心距，所述第一连接板和第二连接板之间的理论夹角为，所述第一驱动轮、第二驱动轮和第三驱动轮均为齿轮；
4、所述偏心距精确调节方法包括：
5、获取第一连接板、第二连接板的实际长度偏差以及所述第一连接板和所述第二连接板之间的实际角度偏差；
6、利用所述第一连接板、第二连接板的实际长度偏差和所述实际角度偏差,计算所述偏心距的实际距离偏差；
7、判断所述实际距离偏差是否超过偏差阈值；
8、若所述实际距离偏差超过所述偏差阈值，则调整所述第一连接板、第二连接板的实际长度偏差的影响因素和所述实际角度偏差的影响因素中任意一个或多个，以减小所述实际距离偏差。
9、可选地，所述第一连接板和所述第二连接板为理论长度相等的连接板；所述获取第一连接板、第二连接板的实际长度偏差为获取连接板的实际长度偏差；
10、所述利用所述第一连接板、第二连接板的实际长度偏差和所述实际角度偏差,计算所述偏心距的实际距离偏差的表达式为：
11、。
12、可选地，所述获取连接板的实际长度偏差包括：
13、获取连接板尺寸误差引起的偏差分量、连接板温度变形引起的偏差分量、连接板轴向拉伸变形引起的偏差分量和连接板与齿轮配合间隙引起的偏差分量；
14、根据所述偏差分量、所述偏差分量、所述偏差分量和所述偏差分量确定所述连接板实际长度偏差。
15、可选地，所述偏差分量是根据连接板尺寸误差计算出的量；和/或，所述偏差分量是根据连接板线膨胀系数、测量环境下的温度偏差和连接板理论尺寸计算出的量；和/或，所述偏差分量是根据传动过程中连接板所受平均轴向力、连接板理论尺寸、连接板的杨氏模量和连接板的横截面积计算出的量；和/或，所述偏差分量是根据在调节偏心距的过程中，连接板与齿轮和转轴之间配合的间隙偏差计算出的量。
16、可选地，所述偏差分量表示为：；和/或，所述偏差分量表示为：；和/或，所述偏差分量表示为：；和/或，所述偏差分量表示为：。
17、可选地，所述连接板实际长度偏差表示为：
18、。
19、可选地，所述获取第一连接板和第二连接板之间的实际角度偏差包括：
20、获取齿轮齿距误差引起的偏差分量和空回引起的偏差分量；
21、根据所述偏差分量和所述偏差分量确定所述实际角度偏差。
22、可选地，所述获取齿轮齿距误差引起的偏差分量包括：
23、获取理想传动位置和实际传动位置之间的偏差和齿轮的半径；
24、根据所述偏差和所述半径计算第一转轴的转角的偏差；
25、根据所述偏差计算偏差分量；
26、所述获取空回引起的偏差分量是根据齿轮模数计算出的量。
27、可选地，偏心距调节过程中的角度偏差表示为：
28、。
29、可选地，获取齿轮啮合引起的赫兹接触偏差，所述赫兹接触偏差表示为：
30、；
31、利用所述赫兹接触偏差，计算所述偏心距的实际距离偏差；
32、判断所述实际距离偏差是否超过偏差阈值；
33、若所述实际距离偏差超过所述偏差阈值，则调整所述赫兹接触偏差的影响因素以减小所述实际距离偏差。
34、本申请示例性实施例可以具有以下部分或全部有益效果：
35、在本申请示例实施方式所提供的偏心驱动机构的精确调节方法，通过获取连接板的实际长度偏差、第一连接板和第二连接板之间的实际角度偏差，并至少利用实际长度偏差、第一连接板和第二连接板之间的实际角度偏差，精确计算所述偏心距的实际距离偏差，由此确定给定参数下的偏心驱动机构的调节精度是否满足生产相关要求，对于偏心距偏差过大的情况，通过调整连接板的实际长度偏差的影响因素和两连接板之间的实际角度偏差的至少一个，以缩小本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种偏心驱动机构的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述偏心驱动机构包括旋转套、第一转轴、第二转轴、第三转轴、第一驱动轮、第一连接板、第二连接板、第二驱动轮和第三驱动轮；所述旋转套用于连接在外部受驱件上；所述第一转轴的一端伸入所述旋转套内并与所述旋转套偏心设置，所述第一转轴的伸入所述旋转套内的一端设有第一驱动轮，所述第一转轴的另一端用于连接旋转驱动件；所述第二转轴和第三转轴分别与所述第一转轴平行间隔设置，所述第二转轴与所述第一转轴之间通过第一连接板可转动地连接，所述第三转轴与所述第二转轴之间通过第二连接板可转动地连接，所述第二转轴上设有第二驱动轮，所述第二驱动轮与所述第一驱动轮传动连接，所述第三转轴上设有第三驱动轮，所述第三驱动轮与所述第二驱动轮传动连接，并且所述第三驱动轮还与所述旋转套的内壁传动连接；所述旋转套的中心线与所述第一转轴的轴线之间的距离为偏心距，所述第一连接板和第二连接板之间的理论夹角为，所述第一驱动轮、第二驱动轮和第三驱动轮均为齿轮；
2.根据权利要求1所述的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述第一连接板和所述第二连接板为理论长度相等的连接板；所述获
3.根据权利要求2所述的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述获取连接板的实际长度偏差包括：
4.根据权利要求3所述的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述偏差分量是根据连接板尺寸误差计算出的量；和/或，所述偏差分量是根据连接板线膨胀系数、测量环境下的温度偏差和连接板理论尺寸计算出的量；和/或，所述偏差分量是根据传动过程中连接板所受平均轴向力、连接板理论尺寸、连接板的杨氏模量和连接板的横截面积计算出的量；和/或，所述偏差分量是根据在调节偏心距的过程中，连接板与齿轮和转轴之间配合的间隙偏差计算出的量。
5.根据权利要求4所述的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述偏差分量表示为：；和/或，所述偏差分量表示为：；和/或，所述偏差分量表示为：；和/或，所述偏差分量表示为：。
6.根据权利要求3所述的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述连接板实际长度偏差表示为：
7.根据权利要求1-6中任一项所述的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述获取第一连接板和第二连接板之间的实际角度偏差包括：
8.根据权利要求7所述的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述获取齿轮齿距误差引起的偏差分量包括：
9.根据权利要求7所述的偏心距精确调节方法，其特征在于，偏心距调节过程中的角度偏差表示为：
10.根据权利要求1所述的偏心距精确调节方法，其特征在于，还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种偏心驱动机构的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述偏心驱动机构包括旋转套、第一转轴、第二转轴、第三转轴、第一驱动轮、第一连接板、第二连接板、第二驱动轮和第三驱动轮；所述旋转套用于连接在外部受驱件上；所述第一转轴的一端伸入所述旋转套内并与所述旋转套偏心设置，所述第一转轴的伸入所述旋转套内的一端设有第一驱动轮，所述第一转轴的另一端用于连接旋转驱动件；所述第二转轴和第三转轴分别与所述第一转轴平行间隔设置，所述第二转轴与所述第一转轴之间通过第一连接板可转动地连接，所述第三转轴与所述第二转轴之间通过第二连接板可转动地连接，所述第二转轴上设有第二驱动轮，所述第二驱动轮与所述第一驱动轮传动连接，所述第三转轴上设有第三驱动轮，所述第三驱动轮与所述第二驱动轮传动连接，并且所述第三驱动轮还与所述旋转套的内壁传动连接；所述旋转套的中心线与所述第一转轴的轴线之间的距离为偏心距，所述第一连接板和第二连接板之间的理论夹角为，所述第一驱动轮、第二驱动轮和第三驱动轮均为齿轮；
2.根据权利要求1所述的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述第一连接板和所述第二连接板为理论长度相等的连接板；所述获取第一连接板、第二连接板的实际长度偏差为获取连接板的实际长度偏差；
3.根据权利要求2所述的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述获取连接板的实际...
【专利技术属性】
技术研发人员：周惠言，郝元龙，蒋继乐，寇明虎，刘泳沣，
申请(专利权)人：北京特思迪半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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