【技术实现步骤摘要】
本申请涉及精密加工机床领域，具体而言，涉及一种静压导轨装置及机床。
技术介绍
1、静压导轨机床是一种具有静压导轨的高精密加工机床，其利用静压导轨上能形成承载油膜的特点，使得加工台与导轨面之间处于纯液体摩擦状态，极大地减少了加工台在导轨上移动时所受的摩擦力。
2、静压导轨机床通常使用电机来驱动加工台，使得加工台能在导轨上移动。得益于直线电机动态响应能力高，移动时产生摩擦力小的特点，静压导轨机床的加工精度能得到进一步提升。然而，由于直线电机无法自锁，采用直线电机的静压导轨机床在其移动轴到位时，工作台还会在直线电机的驱动下继续移动，最终导致机床加工精度下降。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供一种静压导轨装置及机床，以至少解决现有技术中当电机驱动静压导轨机床的移动轴到位时，工作台还会在电机的驱动下继续移动，最终导致机床加工精度下降的问题。
2、根据本申请的一个方面，提供了一种静压导轨装置，包括：
3、支撑座，支撑座包括底座和导轨，导轨设置在底座上；
4、滑动机构，滑动机构包括工作台和静压滑块，静压滑块可滑动地安装在导轨上，工作台固定安装在静压滑块上导轨与静压滑块正对的一侧、静压滑块与导轨正对的一侧中至少有一侧设置有真空腔；
5、驱动装置，驱动装置安装在导轨上，驱动装置与滑动机构连接以驱动滑动机构沿导轨滑动；
6、抽真空装置，抽真空装置用于对真空腔抽真空。
7、进一步地，真空腔的外周设置有密封元件，
8、进一步地，静压滑块或导轨上设置有环形凹槽，环形凹槽围设在真空腔的外周，密封元件安装在环形凹槽内。
9、进一步地，密封元件为聚四氟乙烯密封元件。
10、进一步地，静压滑块上设置有吸气通道，吸气通道的第一端与真空腔连通，吸气通道的第二端与抽真空装置连通，且吸气通道的第一端设置于真空腔底部的中心。
11、进一步地，在真空腔的不同位置处，真空腔的深度不变。
12、进一步地，吸气通道的第二端位于静压滑块靠近工作台的表面，工作台上设置有连接通道，连接通道与吸气通道的第二端连通，抽真空装置与连接通道连接。
13、进一步地，连接通道的第一端与吸气通道的第二端对接，且连接通道的第一端和吸气通道的第二端之间设置有密封件。
14、进一步地，导轨的第一侧设置有第一安装台阶，导轨的与第一侧相对的第二侧设置有第二安装台阶，第一安装台阶和第二安装台阶均沿导轨的长度方向延伸，第一安装台阶具有垂直于底座的第一平面和平行于底座的第二平面，第二安装台阶具有垂直于底座的第三平面和平行于底座的第四平面；
15、静压滑块包括第一滑块和第二滑块，第一滑块安装于第一安装台阶上，第二滑块安装于第二安装台阶上，工作台安装于第一滑块和第二滑块上；
16、其中，第一滑块与第一平面正对的一侧和/或第一滑块与第二平面正对的一侧设置有真空腔；和/或，
17、第二滑块与第三平面正对的一侧和/或第二滑块与第四平面正对的一侧设置有真空腔；和/或，
18、第一安装台阶上与第一平面和/或第二平面对应的一侧设置有真空腔；和/或，
19、第二安装台阶上与第三平面和/或第四平面对应的一侧设置有真空腔。
20、另一方面，本申请还提供了一种机床，机床包括上述的静压导轨装置。
21、相对于现有技术的静压导轨装置而言，本申请中的静压导轨装置上设置有真空腔和抽真空装置。当工作台在驱动装置的驱动下到达指定位置时，切断驱动装置的电源后，启动抽真空装置。抽真空装置吸附出真空腔内的气体，使真空腔内形成真空。此时，真空腔处产生真空吸附力，该真空吸附力可以使静压滑块以及安装在静压滑块上的工作台停止移动，从而实现抱闸作用。可见，本申请的结构，能够在一定程度上避免了工作台在到达指定位置时，受到驱动装置的作用，还会继续移动的问题。
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1.一种静压导轨装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的静压导轨装置，其特征在于，所述真空腔(221)的外周设置有密封元件，且所述密封元件与所述导轨(12)和所述静压滑块(22)密封接触。
3.根据权利要求2所述的静压导轨装置，其特征在于，所述静压滑块(22)或所述导轨(12)上设置有环形凹槽(2211)，所述环形凹槽(2211)围设在所述真空腔(221)的外周，所述密封元件安装在所述环形凹槽(2211)内。
4.根据权利要求2所述的静压导轨装置，其特征在于，所述密封元件为聚四氟乙烯密封元件。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的静压导轨装置，其特征在于，所述静压滑块(22)上设置有吸气通道，所述吸气通道的第一端(2212)与所述真空腔(221)连通，所述吸气通道的第二端(2213)与所述抽真空装置连通，且所述吸气通道的第一端(2212)设置于所述真空腔(221)底部的中心。
6.根据权利要求5所述的静压导轨装置，其特征在于，在所述真空腔(221)的不同位置处，所述真空腔(221)的深度不变。
7.
8.根据权利要求7所述的静压导轨装置，其特征在于，所述连接通道的第一端与所述吸气通道的第二端(2213)对接，且所述连接通道的第一端和所述吸气通道的第二端(2213)之间设置有密封件。
9.根据权利要求1至4中任一项所述的静压导轨装置，其特征在于，所述导轨(12)的第一侧设置有第一安装台阶(121)，所述导轨(12)的与所述第一侧相对的第二侧设置有第二安装台阶(122)，所述第一安装台阶(121)和所述第二安装台阶(122)均沿所述导轨(12)的长度方向延伸，所述第一安装台阶(121)具有垂直于所述底座(11)的第一平面(1)和平行于所述底座(11)的第二平面(2)，所述第二安装台阶(122)具有垂直于所述底座(11)的第三平面(3)和平行于所述底座(11)的第四平面(4)；
10.一种机床，其特征在于，所述机床包括权利要求1至9中任一项所述的静压导轨装置。
...【技术特征摘要】
1.一种静压导轨装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的静压导轨装置，其特征在于，所述真空腔(221)的外周设置有密封元件，且所述密封元件与所述导轨(12)和所述静压滑块(22)密封接触。
3.根据权利要求2所述的静压导轨装置，其特征在于，所述静压滑块(22)或所述导轨(12)上设置有环形凹槽(2211)，所述环形凹槽(2211)围设在所述真空腔(221)的外周，所述密封元件安装在所述环形凹槽(2211)内。
4.根据权利要求2所述的静压导轨装置，其特征在于，所述密封元件为聚四氟乙烯密封元件。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的静压导轨装置，其特征在于，所述静压滑块(22)上设置有吸气通道，所述吸气通道的第一端(2212)与所述真空腔(221)连通，所述吸气通道的第二端(2213)与所述抽真空装置连通，且所述吸气通道的第一端(2212)设置于所述真空腔(221)底部的中心。
6.根据权利要求5所述的静压导轨装置，其特征在于，在所述真空腔(221)的不同位置处，所述真空腔(221)的深度不变。
7.根据权利要求5所述的静压导轨装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈洪，刘文志，吕鹤，张世煌，罗星，林鸿榕，黄丰强，陈杰，伊观林，
申请(专利权)人：中国机械总院集团海西福建分院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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