【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及抽真空机，具体为一种碲锌镉晶体抽真空机异常诊断系统。
技术介绍
1、碲锌镉晶体是一种功能型的半导体材料，它具有优异的光电性能，可以在室温状态下直接将x射线和γ射线转光子变为电子，碲锌镉晶体制备的工艺主要将原料进行放入在石英管中，对其进行抽真空及温度调整，进而再用氢氧气封焊，通过多晶合成、清洗、单晶配料封管以及单晶生长的过程，进而获得碲锌镉晶体材料，在此过程中，需要抽真空机在封管前对石英管进行抽真空，使得真空度达到10-4pa，以满足工艺要求。
2、抽真空机在运行过程中，需要对其运行状态进行监测，现有的抽真空机主要监测的参数是负压大小，其通过判断抽真空完成时负压大小是否达到设定的数值，进而判断石英管内的真空度是否达到要求。
3、由于抽真空机对石英管内进行抽真空的过程是持续的，因此单独以抽真空完成时的负压大小进行监测，只能在机器出现明显故障时方能对故障进行判断，无法对抽真空机存在的潜在使用风险进行及时准确的提前判断，进而影响生产过程。
技术实现思路
1、本...
【技术保护点】
1.一种碲锌镉晶体抽真空机异常诊断系统，其特征在于，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的一种碲锌镉晶体抽真空机异常诊断系统，其特征在于，判断抽真空状态的过程包括：
3.根据权利要求2所述的一种碲锌镉晶体抽真空机异常诊断系统，其特征在于，异常原因判断的过程包括：
4.根据权利要求3所述的一种碲锌镉晶体抽真空机异常诊断系统，其特征在于，所述一致性分析的过程包括：
5.根据权利要求2所述的一种碲锌镉晶体抽真空机异常诊断系统，其特征在于，所述参数同步分析的过程包括：
6.根据权利要求5所述的一种碲锌镉晶体抽真空机...
【技术特征摘要】
1.一种碲锌镉晶体抽真空机异常诊断系统，其特征在于，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的一种碲锌镉晶体抽真空机异常诊断系统，其特征在于，判断抽真空状态的过程包括：
3.根据权利要求2所述的一种碲锌镉晶体抽真空机异常诊断系统，其特征在于，异常原因判断的过程包括：
4.根据权利要求3所述的一种碲锌镉晶体抽真空机异常诊断系统，其特征在于，所述一致性分析的过程包括：
5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：王夏芳，程鹏飞，李润博，夏海旗，
申请(专利权)人：安徽承禹半导体材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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