一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置制造方法及图纸

技术编号:36717151 阅读:10 留言:0更新日期:2023-03-01 10:01
本实用新型专利技术提供一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置。包括底座,所述底座的顶部固定有支撑杆,所述支撑杆的表面固定有连接板,所述连接板上固定有马达,且马达的输出端通过连接块固定有固定板,所述固定板的两侧均固定有第一磁块,所述固定板的底部固定有两个液压杆,且液压杆的输出端固定有稳定块,且两个稳定块之间设置有透明玻璃板。本实用新型专利技术提供的碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置,碲锌镉晶片始终固定在稳定块上静态移动,减少碲锌镉晶片损伤的几率,了解决了碲锌镉晶片损伤层厚度的检测需要反复的移动碲锌镉晶片,进行观测和检测,移动过程中容易造成碲锌镉晶片的再次损伤,影响检测结果的问题。影响检测结果的问题。影响检测结果的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置


[0001]本技术涉及碲锌镉晶片检测领域,尤其涉及一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置。

技术介绍

[0002]碲锌镉晶片是一种极具工程意义和战略意义的功能材料,比如用CdZnTe制造的医学成像仪为病人检查身体时可拍摄出更加清晰的照片,同时,又可减少辐射。碲锌镉晶片还是制造性能优良的仪器、仪表的重要原材料,碲锌镉衬底内的位错会随着外延而穿越至HgCdTe外延材料,这些缺陷会严重影响HgCdTe红外焦平面探测器的均匀性和盲元率,甚至会直接导致HgCdTe外延材料不合格,晶片在通过除生长过程外的其他途径仍会引入缺陷,例如单晶的切割、研磨、抛光以及人为的不适当操作,由此造成的机械损伤,它分布在晶体表面的一个“薄层”里,称为“损伤层”。在进行损伤层检测时,需要对碲锌镉晶片表面进行化学抛光,直到损伤层消失,检测碲锌镉晶片的厚度,判断碲锌镉晶片损伤层厚度,在这个过程中需要反复的移动碲锌镉晶片,进行观测和检测,移动过程中容易造成碲锌镉晶片的再次损伤,影响检测结果。
[0003]因此,有必要提供一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置,解决了碲锌镉晶片损伤层厚度的检测需要反复的移动碲锌镉晶片,进行观测和检测,移动过程中容易造成碲锌镉晶片的再次损伤,影响检测结果的问题。
[0005]为解决上述技术问题,本技术提供的一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置,包括底座,所述底座的顶部固定有支撑杆,所述支撑杆的表面固定有连接板,所述连接板上固定有马达,且马达的输出端通过连接块固定有固定板,所述固定板的两侧均固定有第一磁块,所述固定板的底部固定有两个液压杆,且液压杆的输出端固定有稳定块,且两个稳定块之间设置有透明玻璃板,所述稳定块的底部通过胶带黏贴有碲锌镉晶片;
[0006]所述连接板的表面固定有限位板,所述限位板的一侧固定有两个与第一磁块相适配的第二磁块,且第二磁块上设置有限位槽,所述底座的顶部设置有与碲锌镉晶片相对应的反应槽。
[0007]优选的,所述反应槽的一侧连通有出液管,且反应槽的另一侧连通有进液管,且底座的顶部固定有进液斗,且进液斗的底部与进液管连通。
[0008]优选的,所述固定板的底部固定有照明灯。
[0009]优选的,所述支撑杆的顶端固定有支架,且支架的顶部固定有第一显微镜,所述支架的固定有第二显微镜。
[0010]优选的,所述支架上设置有按键。
[0011]与相关技术相比较,本技术提供的碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置具有如
下有益效果:
[0012]本技术提供一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置,通过启动马达,带动固定板转动,使得使得液压杆带动稳定块上的碲锌镉晶片移动以及调整第一显微镜,进行观察碲锌镉晶片表面是否有损伤,通过第二显微镜观察碲锌镉晶片的厚度,计算损伤层的厚度,碲锌镉晶片始终固定在稳定块上静态移动,减少碲锌镉晶片损伤的几率,了解决了碲锌镉晶片损伤层厚度的检测需要反复的移动碲锌镉晶片,进行观测和检测,移动过程中容易造成碲锌镉晶片的再次损伤,影响检测结果的问题。
附图说明
[0013]图1为本技术提供的一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置的一种较佳实施例的结构示意图;
[0014]图2为图1所示稳定块和碲锌镉晶片的连接。
[0015]图中标号:1、底座,2、支撑杆,3、连接板,4、马达,5、固定板,6、液压杆,7、稳定块,8、透明玻璃板,9、胶带,10、第一磁块,11、限位板, 12、第二磁块,13、反应槽,14、出液管,15、进液斗,16、照明灯,17、支架,18、第一显微镜,19、第二显微镜,20、碲锌镉晶片,21、进液管。
具体实施方式
[0016]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0017]请结合参阅图1

2所示,一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置,包括底座1,底座1的顶部固定有支撑杆2,支撑杆2的表面固定有连接板3,连接板3上固定有马达4,且马达4的输出端通过连接块固定有固定板5,固定板5的两侧均固定有第一磁块10,固定板5的底部固定有两个液压杆6,且液压杆6的输出端固定有稳定块7,且两个稳定块7之间设置有透明玻璃板8,稳定块7的底部通过胶带9黏贴有碲锌镉晶片20;
[0018]如图2所示,本技术连接板3的表面固定有限位板11,限位板11的一侧固定有两个与第一磁块10相适配的第二磁块12,且第二磁块12上设置有限位槽,起到辖内固定的作用,底座1的顶部设置有与碲锌镉晶片20相对应的反应槽13,碲锌镉晶片20的底部表面通过反应槽13内的腐蚀液的冲刷进行快速腐蚀,腐蚀液为Everson腐蚀液,按乳酸:硝酸:氢氟酸体积比 100:20:5配制Everson腐蚀液,搅拌均匀;
[0019]本技术反应槽13的一侧连通有出液管14,且反应槽13的另一侧连通有进液管21,且底座1的顶部固定有进液斗15,且进液斗15的底部与进液管21连通,将配比好的腐蚀液的导入进液斗15,通过进液管21进入应槽 13,通过出液管14流出,使得碲锌镉晶片20的底部表面通过腐蚀液的冲刷进行快速腐蚀,腐蚀过后,将去离子水倒入进液斗15,对碲锌镉晶片20的表面进行清洗;
[0020]本技术固定板5的底部固定有照明灯16,打开照明灯16通过透明玻璃板8透过碲锌镉晶片20;
[0021]本技术支撑杆2的顶端固定有支架17,且支架17的顶部固定有第一显微镜18,通过调整第一显微镜18,进行观察碲锌镉晶片20表面是否有损伤支架17的固定有第二显微镜19,通过第二显微镜19观察碲锌镉晶片20的厚度,计算损伤层的厚度,支架17上设置有按
键,通过按键控制马达4和液压杆6。
[0022]本技术提供的碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置的工作原理如下:碲锌镉晶片20通过胶带9黏贴稳定块7上,通过按键控制马达4和液压杆6,马达4带动固定板5转动,使得液压杆6带动稳定块7上的碲锌镉晶片20向下转动,并且固定板5一侧的第一磁块10吸附在第二磁块12下面的限位槽内固定,液压杆6启动带动碲锌镉晶片20的位于反应槽13内,将配比好的腐蚀液的导入进液斗15,通过进液管21进入应槽13,通过出液管14流出,使得碲锌镉晶片20的底部表面通过腐蚀液的冲刷进行快速腐蚀,腐蚀过后,将去离子水倒入进液斗15,对碲锌镉晶片20的表面进行清洗,启动液压杆6,带动碲锌镉晶片20移出反应槽13,启动马达4,带动固定板5转动,使得使得液压杆6带动稳定块7上的碲锌镉晶片20向上转动,固定板5另一侧的第一磁块10吸附在第二磁块12上部的限位槽,打开照明灯16通过透明玻璃板 8透过碲锌镉晶片20,并通过氮气枪对碲锌镉晶片20的表面快速风干,通过调整第一显微镜18,进行观察碲锌镉晶片20表面是否有损伤,碲锌镉晶片 20表面还有损伤时,启动马达4和液压杆6,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碲锌镉晶片损伤层厚度的检测装置,其特征在于,包括底座(1),所述底座(1)的顶部固定有支撑杆(2),所述支撑杆(2)的表面固定有连接板(3),所述连接板(3)上固定有马达(4),且马达(4)的输出端通过连接块固定有固定板(5),所述固定板(5)的两侧均固定有第一磁块(10),所述固定板(5)的底部固定有两个液压杆(6),且液压杆(6)的输出端固定有稳定块(7),且两个稳定块(7)之间设置有透明玻璃板(8),所述稳定块(7)的底部通过胶带(9)黏贴有碲锌镉晶片(20);所述连接板(3)的表面固定有限位板(11),所述限位板(11)的一侧固定有两个与第一磁块(10)相适配的第二磁块(12),且第二磁块(12)上设置有限位槽,所述底座(1)的顶部设置有与碲锌镉晶片(20)相对应的反应...

【专利技术属性】
技术研发人员:邓波浪李玉萍
申请(专利权)人:安徽承禹半导体材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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