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本发明涉及抽真空机技术领域，具体公开了一种碲锌镉晶体抽真空机异常诊断系统，所述系统包括：石英管监测模块，设置在石英管固定器上，用于监测抽真空过程中石英管的实时温度数据及实时振动数据；负压监测模块，用于实时监测抽真空过程中的负压数据；抽气量监...
该专利属于安徽承禹半导体材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽承禹半导体材料科技有限公司授权不得商用。

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