一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及外延片加工技术领域，且公开了一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，包括打磨箱，所述打磨箱的正面开设有进料口，所述打磨箱内螺纹安装有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的顶端延伸至打磨箱外，所述双向螺纹杆的顶端固定安装有转盘一，还包括：定位机构，所述定位机构包括螺纹套设在双向螺纹杆上的圆形盘，所述圆形盘的底部开设有若干个条形槽，若干个所述条形槽内分别滑动安装有条形杆，若干个所述条形杆相互远离的一端分别固定安装有弧形定位块。本发明专利技术通过设置定位机构，通过在放置圆板上设置的橡胶块，可以增大外延片的摩擦力，避免在放置圆板转动的过程中，放置圆板与外延片发生偏移，有效提高磨边的稳定性和和可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及外延片加工设备，具体为一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置。

技术介绍

1、碲锌镉单晶外延片是一种用于生长锌化物半导体材料的基板,锌化物半导体材料在光电子器件领域具有重要应用，如led、激光二极管等,碲锌镉指的是碎裂的锌锅，通常是通过在高温下快速冷却或受到外力作用而破裂的。碲锌镉的表面结构特殊，有助于形成单晶外延片,单晶外延片是在锌锅上生长的单晶薄片，可以作为半导体材料的基板。在外延过程中，锌化物材料会在碲锌镉表面逐渐形成单晶结构，从而得到具有优良晶体质量的薄片。

2、在对外延片进行磨边加工的过程中，特别是圆形的外延片，首先需要对其进行圆心定位，否则在磨边后成型的外延片形状不规则，而且加工完的外延片必须是完整的，所以在对于圆形外延片的定位需要采用特殊的方法进行圆心定位。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，以解决需要对其进行圆心定位，否则在磨边后成型的外延片形状不规则的问题。

2、为解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，包括打磨箱(1)，所述打磨箱(1)的正面开设有进料口(101)，所述打磨箱(1)内螺纹安装有双向螺纹杆(2)，所述双向螺纹杆(2)的顶端延伸至打磨箱(1)外，所述双向螺纹杆(2)的顶端固定安装有转盘一(3)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述圆形盘(4)的底部设置有调节机构，所述调节机构包括转动安装在圆形盘(4)底部的圆筒(9)，所述圆筒(9)的外壁上固定套设有圆板(10)，所述圆板(10)上开设有若干个曲形限位槽(11)，若干个所述限位杆(8)的底端分别延伸至若干个曲形限...

【技术特征摘要】

1.一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，包括打磨箱(1)，所述打磨箱(1)的正面开设有进料口(101)，所述打磨箱(1)内螺纹安装有双向螺纹杆(2)，所述双向螺纹杆(2)的顶端延伸至打磨箱(1)外，所述双向螺纹杆(2)的顶端固定安装有转盘一(3)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述圆形盘(4)的底部设置有调节机构，所述调节机构包括转动安装在圆形盘(4)底部的圆筒(9)，所述圆筒(9)的外壁上固定套设有圆板(10)，所述圆板(10)上开设有若干个曲形限位槽(11)，若干个所述限位杆(8)的底端分别延伸至若干个曲形限位槽(11)内分别与若干个曲形限位槽(11)相适配，所述圆板(10)的外壁上固定安装有若干个齿牙(12)。

3.根据权利要求2所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述圆形盘(4)上开合机构，所述开合机构包括滑动安装在打磨箱(1)顶部的转杆(13)，所述转杆(13)的顶端固定安装有转盘二(14)，所述转杆(13)贯穿圆形盘(4)并与圆形盘(4)转动连接，所述转杆(13)上固定套设有齿轮(15)，所述齿轮(15)与若干个齿牙(12)相啮合。

4.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述打磨箱(1)内设置有转动机构，所述转动机构包括固定安装在打磨箱(1)底部内壁上的若干个支撑杆(16)，若干个所述支撑杆(16)的顶部固定安装有安装板(17)，所述安装板(17)的顶部转动安装有蜗杆(18)，所述打磨箱(1)的底部内壁上固定安装有驱动电机(19)，所述蜗杆(18)贯穿安装板(17)并与驱动电机(19)的输出轴固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述蜗杆(18)的顶端设置有固定机构，所述固定机构包括固定安装在蜗杆(18)顶端放置的圆板(20)，所述放...

【专利技术属性】
技术研发人员：王夏芳，李伟东，常文峰，
申请(专利权)人：安徽承禹半导体材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：