【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆盒搬运，具体是一种高稳定性晶圆盒搬运机器人。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，晶圆盒的搬运是实现各道工序之间连续生产的必要环节。通过自动化搬运系统，可以快速、准确地传送晶圆盒，缩短各道工序之间的等待时间，提高生产线的整体效率；
2、另外，晶圆盒的搬运涉及到晶圆的保护。在搬运过程中，必须确保晶圆盒的密封性和减震性，以防止晶圆受到外部污染、震动或损坏。这样可以保证晶圆的完整性，提高产品质量；
3、而目前，在晶圆盒的搬运过程中，为了确保晶圆的完好无损，我们通常会借助先进的搬运机器人。这些机器人经过精心设计，具备高效、准确的操作能力，能够出色地完成各种搬运任务。然而，尽管搬运机器人具备诸多优势，我们仍需警惕因碰撞等问题导致的意外移动风险。一旦发生此类情况，晶圆盒可能会产生晃动，进而导致晶圆之间发生摩擦或碰撞。这样的后果是晶圆的表面可能受到磨损，甚至可能出现损坏的情况。因此，如何确保搬运机器人的稳定性，以及如何减小意外移动的程度，成为我们必须深入探讨和关注的重点。
4、因此，有必要研发一种高稳定性晶圆盒搬运机器人。
技术实现思路
1、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，包括：
2、第一移动设备，其至少具有视觉识别模块和路线规划模块；
3、第二移动设备，其至少具有搬运机械手以及用于存放晶圆盒的存料槽；以及
4、高稳定性连接机构，其连接于所述第一移动设备与第二移动设备
5、所述高稳定性连接机构能够使得所述第一移动设备与第二移动设备之间的连接方式在刚性连接和柔性连接之间转换；
6、且当所述第一移动设备发生意外移动时，所述高稳定性连接机构能够使得所述第一移动设备与第二移动设备之间保持柔性连接；
7、当所述第二移动设备发生意外移动时，所述高稳定性连接机构能够使得所述第一移动设备与第二移动设备之间保持刚性连接。
8、进一步，作为优选，所述高稳定性连接机构包括：
9、连接板，其固定于所述第一移动设备上；
10、导向柱，其水平固定于所述连接板远离所述第一移动设备的一端；
11、安装槽，其固定于所述第二移动设备上；
12、容置座，其固定于所述安装槽远离所述第二移动设备的一端，且所述容置座中具有一水平通孔，以便限位滑动连接所述导向柱；以及
13、双头电机，其固定嵌入于所述水平通孔中，所述双头电机具有两个输出端，分别为第一输出端和第二输出端，其中，所述第一输出端固定有收卷轮，所述收卷轮上同时收卷两个拉绳，所述拉绳滑动穿过所述安装槽并连接至所述连接板上。
14、进一步，作为优选，当所述第一移动设备发生意外移动时，所述双头电机控制所述收卷轮释放所述拉绳，从而使得所述第一移动设备与第二移动设备之间保持柔性连接并通过拉绳的释放进行卸力；
15、当所述第二移动设备发生意外移动时，所述双头电机控制所述收卷轮收卷拉绳，此时所述水平通孔限位滑动连接所述导向柱中，并使得所述第一移动设备与所述第二移动设备之间构成刚性连接。
16、进一步，作为优选，所述导向柱远离所述第一移动设备的一端同轴固定有螺栓，所述双头电机的第二输出端固定有能够容置所述螺栓的锁紧帽。
17、进一步，作为优选，所述锁紧帽的内表面具有对应于所述螺栓的内螺纹。
18、进一步，作为优选，所述拉绳被分隔为两段，两段拉绳之间设置有弹性柱。
19、进一步，作为优选，所述安装槽的表面还固定有对应于所述拉绳的监测管，所述拉绳贯穿所述监测管，所述监测管的内侧嵌入有至少两个呈周向阵列分布的应变片。
20、进一步，作为优选，当所述第一移动设备与第二移动设备未发生意外移动时，所述高稳定性连接机构能够使得所述第一移动设备与第二移动设备之间保持柔性连接，此时所述第一移动设备与第二移动设备之间的间距为10-18cm。
21、进一步，作为优选，所述存料槽的四周均采用减震材料和/减震机构与所述第二移动设备相连。
22、与现有技术相比，本专利技术提供了一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，具备以下有益效果：
23、本专利技术实施例中，所述高稳定性连接机构能够使得所述第一移动设备与第二移动设备之间的连接方式在刚性连接和柔性连接之间转换；且当所述第一移动设备发生意外移动时，所述高稳定性连接机构能够使得所述第一移动设备与第二移动设备之间保持柔性连接，减小冲击的传递；当所述第二移动设备发生意外移动时，所述高稳定性连接机构能够使得所述第一移动设备与第二移动设备之间保持刚性连接，保证整体的统一性，从而借助第一移动设备来提升第二移动设备的稳定性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述高稳定性连接机构（5）包括：
3.根据权利要求2所述的一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：当所述第一移动设备（1）发生意外移动时，所述双头电机控制所述收卷轮（59）释放所述拉绳（57），从而使得所述第一移动设备（1）与第二移动设备（2）之间保持柔性连接并通过拉绳（57）的释放进行卸力；
4.根据权利要求2所述的一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述导向柱（52）远离所述第一移动设备（1）的一端同轴固定有螺栓（53），所述双头电机的第二输出端固定有能够容置所述螺栓（53）的锁紧帽（56）。
5.根据权利要求4所述的一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述锁紧帽（56）的内表面具有对应于所述螺栓（53）的内螺纹。
6.根据权利要求2所述的一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述拉绳（57）被分隔为两段，两段拉绳之间设置有弹性柱（58）。
7.根据权利要求2所述的一种
8.根据权利要求1所述的一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：当所述第一移动设备（1）与第二移动设备（2）未发生意外移动时，所述高稳定性连接机构（5）能够使得所述第一移动设备（1）与第二移动设备（2）之间保持柔性连接，此时所述第一移动设备（1）与第二移动设备（2）之间的间距为10-18cm。
9.根据权利要求1所述的一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述存料槽（4）的四周均采用减震材料和/减震机构与所述第二移动设备（2）相连。
...【技术特征摘要】
1.一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述高稳定性连接机构（5）包括：
3.根据权利要求2所述的一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：当所述第一移动设备（1）发生意外移动时，所述双头电机控制所述收卷轮（59）释放所述拉绳（57），从而使得所述第一移动设备（1）与第二移动设备（2）之间保持柔性连接并通过拉绳（57）的释放进行卸力；
4.根据权利要求2所述的一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述导向柱（52）远离所述第一移动设备（1）的一端同轴固定有螺栓（53），所述双头电机的第二输出端固定有能够容置所述螺栓（53）的锁紧帽（56）。
5.根据权利要求4所述的一种高稳定性晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述锁紧帽（56）的内表面具有对应于所述螺栓（53）的内螺纹。
6.根据权利要求2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪成都，李辉权，
申请(专利权)人：捷螺智能设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。