一种基于液态泡沫印章的柔性电子转印方法技术

一种基于液态泡沫印章的柔性电子转印方法，属于微纳米加工及柔性电子技术领域。首先，通过光刻技术制造在基底表面制备柔性电子薄膜，将其置于水中溶解牺牲层，使柔性电子薄膜与基底分离后漂浮在水中。其次，向水中加入表面活性剂，通过喷嘴向溶液中注入空气以产生由密集小气泡组成的液态泡沫；随着液态泡沫的增多，柔性电子薄膜被托举到水面上方，此时液态泡沫作为转印过程中的印章。最后，利用液态泡沫印章将柔性电子薄膜迅速转印到复杂的目标表面，移除液体泡沫印章并清洁表面以完成转印过程。本发明专利技术提供的柔性电子转印方法以液态泡沫印章作为辅助完成转印过程，在实现自支撑的同时能够适应各种复杂表面，实现同时与多个凹凸面的共形效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微纳米加工及柔性电子，涉及一种基于液态泡沫印章的柔性电子转印方法。

技术介绍

1、柔性电子器件是可拉伸或可变形的电子器件，相较于传统硅基电子具有轻质、柔性和共形贴合等优势，更有利于可穿戴设备、柔性消费电子、植入式生物电子、软体机器人和光电子等新兴领域的发展。目前，柔性电子器件的厚度已经减小至亚微米级和纳米级，有着广泛的应用前景。但是将超薄柔性电子器件转移到目标表面具有难度：一方面，由于器件本身的脆性，在操作过程中容易损坏；另一方面，如果没有支撑，超薄柔性器件极易起皱或卷曲。利用印章作为临时载体的转印技术可以将超薄电子器件从刚性基板转印到目标表面上，印章的形式包括：固体印章，如美国休斯顿大学的sim等人利用弹性气球作为固体印章，三维可变形的气球可以改善与复杂表面的接触效果，但固体印章在转印过程中产生的应变力可能会对脆弱的柔性电子结构造成损伤；液体印章，也称水转印法，这种方法的转印效果不够精确，且由于液体无法实现自支撑，受重力、环境和容器形状的影响无法成形固定，所以液体印章在转印过程中存在诸多限制；可回流材料印章(如：糖)，这种材料的形态可以在固本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于液态泡沫印章的柔性电子转印方法，其特征在于，所述的柔性电子转印方法以液态泡沫印章作为辅助完成转印过程，在实现自支撑的同时能够适应各种复杂表面，实现同时与多个凹凸面的共形效果。

2.根据权利要求1所述的一种基于液态泡沫印章的柔性电子转印方法，其特征在于，包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述的一种基于液态泡沫印章的柔性电子转印方法，其特征在于，所述步骤(1)中的基底为硅、玻璃或聚甲基丙烯酸甲脂。

4.根据权利要求2所述的一种基于液态泡沫印章的柔性电子转印方法，其特征在于，所述步骤(1)中的牺牲层材质为水溶性聚丙烯酸PAA、聚乙烯醇PVA或葡萄...

【技术特征摘要】

1.一种基于液态泡沫印章的柔性电子转印方法，其特征在于，所述的柔性电子转印方法以液态泡沫印章作为辅助完成转印过程，在实现自支撑的同时能够适应各种复杂表面，实现同时与多个凹凸面的共形效果。

2.根据权利要求1所述的一种基于液态泡沫印章的柔性电子转印方法，其特征在于，包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述的一种基于液态泡沫印章的柔性电子转印方法，其特征在于，所述步骤(1)中的基底为硅、玻璃或聚甲基丙烯酸甲脂。

4.根据权利要求2所述的一种基于液态泡沫印章的柔性电子转印方法，其特征在于，所述步骤(1)中的牺...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军山，胡小光，倪维尧，吴梦希，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：