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基于激光驱动的液滴转印印章及转印方法技术

技术编号:40553904 阅读:31 留言:0更新日期:2024-03-05 19:14
本发明专利技术公开了一种基于激光驱动的液滴转印印章及转印方法,印章包括衬底,表面有微柱结构的印章中间层和附着于微柱结构表面的液滴;转印方法为:1)拾取时,首先用印章去靠近元件至与元件接触,液滴在印章中间层与元件间形成液体桥,利用液体桥来拾取元件;2)印刷时,将印章/元件移动到基底上方,外加脉冲激光束,元件吸热并传导至液滴,产生空化气泡,此时处于低粘附状态,成功印刷。本发明专利技术印章结构简单且成本低廉,液滴具有更好的形状适应性,能够拾取三维或表面粗糙的元件;液滴印章在转印时避免了对元件的挤压和泊松效应,适用于薄脆元件;该激光驱动转印方法响应时间快,单位时间内吞吐量大,能实现大规模的选择性、图案化的并行印刷。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种转移印刷技术,尤其涉及一种激光驱动的液滴转印印章及转印方法,可用于任意图案化的微纳电子元器件的转移印刷。


技术介绍

1、转移印刷技术是一种高效的异质异构的集成技术,在柔性电子制备领域有良好的应用前景。

2、高聚物印章转印技术因其可重复性,清洁性(避免粘结剂的使用,不会对元件产生化学污染),巨量转印(可以利用大面积的印章对巨量微型元件进行大规模转印)等优点受到研究者们的欢迎,是目前最热门的转印技术。根据不同的力调控原理,高聚物印章转印技术发展了率相关动态可控转印技术、载荷增强转印技术、曲率控制转印技术。这三种转印技术分别需要控制印章剥离速度、施加的剪切载荷和印章的曲率,对操作精度的依赖性高,调控难度大。根据不同的印章形态设计,高聚物印章发展了采用蘑菇状微结构来减小边界处的应力集中,抑制边界裂纹的发生,从而增强粘附的支承印章转印技术;模仿壁虎足底纤维状刚毛设计的微柱阵列印章转印技术;基于范德华力正比于面积的充气印章转印技术。这些都是接触式转印技术,受主基底的几何形状与性质都会影响印刷过程。

3、通过引入热控和磁控等外部驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于激光驱动的液滴转印印章,其特征在于,依次包括衬底、表面有微柱结构的印章中间层和去离子水液滴,所述去离子水液滴附着于所述微柱结构上。

2.根据权利要求1所述的基于激光驱动的液滴转印印章,其特征在于,所述的衬底材料为不易变形的透光板。

3.根据权利要求2所述的基于激光驱动的液滴转印印章,其特征在于,所述衬底选用玻璃或亚克力。

4.根据权利要求1所述的基于激光驱动的液滴转印印章,其特征在于,所述的印章中间层材料为透明疏水材料。

5.根据权利要求4所述的基于激光驱动的液滴转印印章,其特征在于,所述印章中间层选用聚二甲基硅氧烷。

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【技术特征摘要】

1.一种基于激光驱动的液滴转印印章,其特征在于,依次包括衬底、表面有微柱结构的印章中间层和去离子水液滴,所述去离子水液滴附着于所述微柱结构上。

2.根据权利要求1所述的基于激光驱动的液滴转印印章,其特征在于,所述的衬底材料为不易变形的透光板。

3.根据权利要求2所述的基于激光驱动的液滴转印印章,其特征在于,所述衬底选用玻璃或亚克力。

4.根据权利要求1所述的基于激光驱动的液滴转印印章,其特征在于,所述的印章中间层材料为透明疏水材料。

5.根据权利要求4所述的基于激光驱动的液滴转印印章,其特征在于,所述印章中间层选用聚二甲基硅氧烷。

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【专利技术属性】
技术研发人员:江静李城隆宋吉舟
申请(专利权)人:浙江大学
类型:发明
国别省市:

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