【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆电镀，尤其涉及一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机。
技术介绍
1、现有电镀机离子滤膜为了便于将溶液中的空气排出，将滤膜支架设置成锥形状，以方便空气沿滤膜支架的斜面向圆周外围导流被排出去，但这样设置会存在以下问题：
2、滤膜支架的锥度越大，虽然对气体导流越有利，但这样会额外增加整个支架在电镀池内的立体高度，容易占用过多空间，这对于电镀机整体集成化设计来说是完全相反的，不利于集约化设计，所以需要一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机。
技术实现思路
1、基于现有的电镀机滤膜支架的锥度较大，增加整个支架在电镀池内的立体高度，不利于电镀机集约化设计的技术问题，本专利技术提出了一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机。
2、本专利技术提出的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，包括用于晶圆电镀的电镀机本体，所述电镀机本体的内部设置有电镀工艺腔，所述电镀工艺腔的内底壁通过阳极连接座和阳极板设置有阳极液池，所述阳极液池上方安装有阴极液池，在所述阳极液池与所述阴极液池之间设置离子滤膜支架，所述离子滤膜支架的下表面设置有用于对所述阳极液池内工作产生的气泡进行过滤的离子滤膜本体。
3、所述离子滤膜支架的表面呈圆盘状，所述离子滤膜支架的上表面开设有多个呈圆形阵列分布过液孔。
4、所述阳极液池的内壁设置有隔离气泡导流机构，所述隔离气泡导流机构包括开设在所述阳极液池内壁的支撑台阶槽，所述支撑台阶槽的内壁呈圆形状。
5、优选地，所述支撑台阶槽的内壁滑动
6、优选地，所述驱动连接环的下表面通过转动槽转动连接有多个呈环形阵列分布的陶瓷滚珠，所述陶瓷滚珠的表面延伸至所述驱动连接环的下表面与所述支撑台阶槽的内壁滑动连接。
7、优选地，所述驱动连接环的表面呈凸形状，所述驱动连接环的表面固定套接有从动齿圈。
8、所述支撑台阶槽的内壁开设有用于驱动所述驱动连接环转动的驱动槽，所述驱动槽的内壁开设有动力安装槽。
9、优选地，所述动力安装槽的内壁固定安装有驱动马达，所述驱动马达的输出轴固定套接有与所述驱动槽的内壁滑动连接的驱动齿轮，所述驱动齿轮的表面与所述从动齿圈的表面啮合。
10、优选地，所述驱动连接环的内壁套接有导流支撑环，所述导流支撑环的下表面固定连接有多个呈环形阵列分布的连接支撑块，所述连接支撑块的表面开设有连接支撑孔，所述连接支撑孔的内壁滑动连接表面呈t形状的连接支撑杆，所述连接支撑杆的一端与所述驱动连接环的内壁固定连接。
11、优选地，所述连接支撑杆的表面套接有塑料复位弹簧，所述塑料复位弹簧的两端分别与所述连接支撑块的表面和所述连接支撑杆远离所述驱动连接环内壁的一端固定连接。
12、优选地，所述导流支撑环的内壁固定连接有导流固定架，所述导流固定架的上表面固定连接有气泡导流条，所述气泡导流条的表面呈涡状线形状，所述气泡导流条的上表面固定连接有与所述离子滤膜本体的下表面滑动连接的硅胶导流条。
13、优选地，所述阳极液池的内壁固定连接有固定导向环，所述固定导向环位于所述导流支撑环的下方，所述固定导向环的内壁设置有多个位移突出部。
14、优选地，所述导流支撑环的下表面固定连接有表面呈l形状的固定柱，所述固定柱靠近所述固定导向环内壁的一端通过轴承和销轴转动连接有导向接触轮，所述导向接触轮的表面与所述固定导向环的内壁滑动连接。
15、本专利技术中的有益效果为：
16、1、通过设置隔离气泡导流机构和表面呈圆盘状的离子滤膜支架，在对阳极液池内的气泡进行隔离排出时，通过气泡导流条和硅胶导流条转动，对离子滤膜本体上的气泡进行刮除排出，从而解决了现有的电镀机滤膜支架的锥度较大，增加整个支架在电镀池内的立体高度，不利于电镀机集约化设计的问题。
17、2、通过设置隔离气泡导流机构，在对晶圆进行电镀过程中，在气泡导流条和硅胶导流条转动过程中，通过导流支撑环下表面固定柱上安装的导向接触轮与固定导向环的内壁接触运动，在运动到与固定导向环上位移突出部接触后，推动导流支撑环向接触的位移突出部反向位移，带动气泡导流条和硅胶导流条转动的同时位移，实现对覆盖全部过液孔的离子滤膜本体上的气泡进行刮除导流排出，从而达到更好的对隔离气泡进行刮除排出的效果。
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1.一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，包括用于晶圆电镀的电镀机本体（1），其特征在于：所述电镀机本体（1）的内部设置有电镀工艺腔（2），所述电镀工艺腔（2）的内底壁通过阳极连接座和阳极板设置有阳极液池（3），所述阳极液池（3）上方安装有阴极液池（4），在所述阳极液池（3）与所述阴极液池（4）之间设置离子滤膜支架（5），所述离子滤膜支架（5）的下表面设置有用于对所述阳极液池（3）内工作产生的气泡进行过滤的离子滤膜本体（6）；
2.根据权利要求1所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述支撑台阶槽（8）的内壁滑动连接有驱动连接环（801），所述驱动连接环（801）的表面开设有内壁呈T形状的导向限位槽（802），所述导向限位槽（802）的内壁滑动连接导向限位滑轨（803），所述导向限位滑轨（803）的表面与所述导向限位槽（802）的内壁相适配，所述导向限位滑轨（803）的表面与所述支撑台阶槽（8）的内壁固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述驱动连接环（801）的下表面通过转动槽转动连接有多个呈环形阵列
4.根据权利要求3所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述驱动连接环（801）的表面呈凸形状，所述驱动连接环（801）的表面固定套接有从动齿圈（805）；
5.根据权利要求4所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述动力安装槽（807）的内壁固定安装有驱动马达（808），所述驱动马达（808）的输出轴固定套接有与所述驱动槽（806）的内壁滑动连接的驱动齿轮（809），所述驱动齿轮（809）的表面与所述从动齿圈（805）的表面啮合。
6.根据权利要求5所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述驱动连接环（801）的内壁套接有导流支撑环（810），所述导流支撑环（810）的下表面固定连接有多个呈环形阵列分布的连接支撑块（811），所述连接支撑块（811）的表面开设有连接支撑孔（812），所述连接支撑孔（812）的内壁滑动连接表面呈T形状的连接支撑杆（813），所述连接支撑杆（813）的一端与所述驱动连接环（801）的内壁固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述连接支撑杆（813）的表面套接有塑料复位弹簧（814），所述塑料复位弹簧（814）的两端分别与所述连接支撑块（811）的表面和所述连接支撑杆（813）远离所述驱动连接环（801）内壁的一端固定连接。
8.根据权利要求7所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述导流支撑环（810）的内壁固定连接有导流固定架（815），所述导流固定架（815）的上表面固定连接有气泡导流条（816），所述气泡导流条（816）的表面呈涡状线形状，所述气泡导流条（816）的上表面固定连接有与所述离子滤膜本体（6）的下表面滑动连接的硅胶导流条（817）。
9.根据权利要求8所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述阳极液池（3）的内壁固定连接有固定导向环（818），所述固定导向环（818）位于所述导流支撑环（810）的下方，所述固定导向环（818）的内壁设置有多个位移突出部（819）。
10.根据权利要求9所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述导流支撑环（810）的下表面固定连接有表面呈L形状的固定柱（820），所述固定柱（820）靠近所述固定导向环（818）内壁的一端通过轴承和销轴转动连接有导向接触轮（821），所述导向接触轮（821）的表面与所述固定导向环（818）的内壁滑动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，包括用于晶圆电镀的电镀机本体（1），其特征在于：所述电镀机本体（1）的内部设置有电镀工艺腔（2），所述电镀工艺腔（2）的内底壁通过阳极连接座和阳极板设置有阳极液池（3），所述阳极液池（3）上方安装有阴极液池（4），在所述阳极液池（3）与所述阴极液池（4）之间设置离子滤膜支架（5），所述离子滤膜支架（5）的下表面设置有用于对所述阳极液池（3）内工作产生的气泡进行过滤的离子滤膜本体（6）；
2.根据权利要求1所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述支撑台阶槽（8）的内壁滑动连接有驱动连接环（801），所述驱动连接环（801）的表面开设有内壁呈t形状的导向限位槽（802），所述导向限位槽（802）的内壁滑动连接导向限位滑轨（803），所述导向限位滑轨（803）的表面与所述导向限位槽（802）的内壁相适配，所述导向限位滑轨（803）的表面与所述支撑台阶槽（8）的内壁固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述驱动连接环（801）的下表面通过转动槽转动连接有多个呈环形阵列分布的陶瓷滚珠（804），所述陶瓷滚珠（804）的表面延伸至所述驱动连接环（801）的下表面与所述支撑台阶槽（8）的内壁滑动连接。
4.根据权利要求3所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述驱动连接环（801）的表面呈凸形状，所述驱动连接环（801）的表面固定套接有从动齿圈（805）；
5.根据权利要求4所述的一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，其特征在于：所述动力安装槽（807）的内壁固定安装有驱动马达（808），所述驱动马达（808）的输出轴固定套接有与所述驱动槽（806）的内壁滑动连接的驱动齿轮（809），所述驱动齿轮（809）的表面与所述从动齿圈（805）的表面啮合。
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：周训丙，郭鑫，王大权，
申请(专利权)人：苏州智程半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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