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本发明属于晶圆电镀技术领域，尤其是一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，包括用于晶圆电镀的电镀机本体，所述电镀机本体的内部设置有电镀工艺腔，所述电镀工艺腔的内底壁通过阳极连接座和阳极板设置有阳极液池，所述阳极液池上方安装有阴极液池，在所述阳极液...
该专利属于苏州智程半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州智程半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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