【技术实现步骤摘要】
本技术涉及分子束外延设备，具体为一种分子束外延设备的液氮储存结构。
技术介绍
1、分子束外延设备主要是用于各种半导体的研发和生产，针对不同生产需求所需要使用到的分子束外延设备也不尽相同，因此分子束外延设备分为很多种类，生产过程中需要使用到液氮进行冷却。
2、液氮储存时需要使用到液氮储存罐，储存在液氮罐内的液氮因受到储存罐外部的温度变化，会使液氮进行挥发，从而导致液氮的储存效果较差。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、本技术的目的在于提供一种分子束外延设备的液氮储存结构，以解决上述
技术介绍
中提出导致液氮的储存效果较差的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括主体机构、保温机构和制冷机构，所述保温机构位于主体机构的内部，所述制冷机构位于主体机构的左侧，所述主体机构包括储存罐、进液口、密封盖、固定支架、防滑底座和出液口，所述进液口设置在储存罐的内部，所述密封盖的下端螺纹连接进液口，所述固定支架的顶部固定连接储存罐的底部，所述防护底座的顶部固定连接固定支架的底部，所述出液口的左侧固定连接储存罐的右侧，通过防滑底座的结构，便于该分子束外延设备的液氮储存结构实际使用时的稳定性。
5、优选的，所述保温机构包括隔温层、保温层、真空腔、温度传感器和温度显示屏，所述隔温层的外圈固定连接储存罐的内壁，所述保温层的外圈固定连接隔温层的内壁，所述真空腔位于储存罐的内部，通过隔温层的结构，便于该分子束外延
6、优选的，所述温度传感器位于隔温层内部，所述温度传感器的左侧固定连接隔温层的内壁，所述温度显示屏的背面固定连接储存罐的前端中部，所述温度显示屏电性连接温度传感器，通过温度感应器的结构，便于该分子束外延设备的液氮储存结构实际使用时对隔温层的温度感应并通过温度显示屏进行显示。
7、优选的，所述制冷机构包括制冷机、控制面板、冷气管、法兰盘、输气管和循环管，所述制冷机的前端固定连接有控制面板，通过制冷机的结构，便于该分子束外延设备的液氮储存结构实际使用时对隔温层的制冷使。
8、优选的，所述控制面板位于制冷机前端中部，所述控制面板电性连接制冷机，所述冷气管的左侧固定连接制冷机的右侧，所述法兰盘内壁与冷气管外圈接触，通过控制面板的结构，便于该分子束外延设备的液氮储存结构实际使用时对制冷机的启动。
9、优选的，所述输气管的左侧通过法兰盘固定连接输气管，所述输气管的右侧贯穿储存罐并延伸至隔温层，所述循环管的上下两端固定连接输气管的右侧，通过循环管的结构，便于该分子束外延设备的液氮储存结构实际使用时的冷气循环。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
11、1、该分子束外延设备的液氮储存结构，通过进液口加入液氮，将密封盖的下端螺纹连接进液口，使其密封，通过固定支架和防滑底座使稳定性提高，便于该分子束外延设备的液氮储存结构实际使用时的便捷和稳定性；
12、2、该分子束外延设备的液氮储存结构，隔温层对外部的隔温，避免真空腔内部的液氮挥发，保温层对内部进行保温，使内部的温度保持，通过温度感应器感应隔温层的温度并通过温度显示屏显示出来，便于该分子束外延设备的液氮储存结构实际使用对温度的显示和液氮的储存；
13、3、该分子束外延设备的液氮储存结构，通过控制面板启动制冷机，制冷机将冷气通过冷气管输送至输气管，通过输气管将冷气输送至循环管，冷气通过循环管进行循环，使隔温层的温度保持，减少了液氮的挥发，便于该分子束外延设备的液氮储存结构实际使用时对隔温层的制冷减少液氮的挥发。
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1.一种分子束外延设备的液氮储存结构，包括主体机构(1)、保温机构(2)和制冷机构(3)，其特征在于：所述保温机构(2)位于主体机构(1)的内部，所述制冷机构(3)位于主体机构(1)的左侧，所述主体机构(1)包括储存罐(101)、进液口(102)、密封盖(103)、固定支架(104)、防滑底座(105)和出液口(106)，所述进液口(102)设置在储存罐(101)的内部，所述密封盖(103)的下端螺纹连接进液口(102)，所述固定支架(104)的顶部固定连接储存罐(101)的底部，所述防滑底座的顶部固定连接固定支架(104)的底部，所述出液口(106)的左侧固定连接储存罐(101)的右侧。
2.根据权利要求1所述的一种分子束外延设备的液氮储存结构，其特征在于：所述保温机构(2)包括隔温层(201)、保温层(202)、真空腔(203)、温度传感器(204)和温度显示屏(205)，所述隔温层(201)的外圈固定连接储存罐(101)的内壁，所述保温层(202)的外圈固定连接隔温层(201)的内壁，所述真空腔(203)位于储存罐(101)的内部。
3.根据权利要求
4.根据权利要求3所述的一种分子束外延设备的液氮储存结构，其特征在于：所述制冷机构(3)包括制冷机(301)、控制面板(302)、冷气管(303)、法兰盘(304)、输气管(305)和循环管(306)，所述制冷机(301)的前端固定连接有控制面板(302)。
5.根据权利要求4所述的一种分子束外延设备的液氮储存结构，其特征在于：所述控制面板(302)位于制冷机(301)前端中部，所述控制面板(302)电性连接制冷机(301)，所述冷气管(303)的左侧固定连接制冷机(301)的右侧，所述法兰盘(304)内壁与冷气管(303)外圈接触。
6.根据权利要求5所述的一种分子束外延设备的液氮储存结构，其特征在于：所述输气管(305)的左侧通过法兰盘(304)固定连接输气管(305)，所述输气管(305)的右侧贯穿储存罐(101)并延伸至隔温层(201)，所述循环管(306)的上下两端固定连接输气管(305)的右侧。
...【技术特征摘要】
1.一种分子束外延设备的液氮储存结构，包括主体机构(1)、保温机构(2)和制冷机构(3)，其特征在于：所述保温机构(2)位于主体机构(1)的内部，所述制冷机构(3)位于主体机构(1)的左侧，所述主体机构(1)包括储存罐(101)、进液口(102)、密封盖(103)、固定支架(104)、防滑底座(105)和出液口(106)，所述进液口(102)设置在储存罐(101)的内部，所述密封盖(103)的下端螺纹连接进液口(102)，所述固定支架(104)的顶部固定连接储存罐(101)的底部，所述防滑底座的顶部固定连接固定支架(104)的底部，所述出液口(106)的左侧固定连接储存罐(101)的右侧。
2.根据权利要求1所述的一种分子束外延设备的液氮储存结构，其特征在于：所述保温机构(2)包括隔温层(201)、保温层(202)、真空腔(203)、温度传感器(204)和温度显示屏(205)，所述隔温层(201)的外圈固定连接储存罐(101)的内壁，所述保温层(202)的外圈固定连接隔温层(201)的内壁，所述真空腔(203)位于储存罐(101)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种分子束外延设备的液氮储存结构，其特征在于：所述温度传感器(20...
【专利技术属性】
技术研发人员：路云峰，陆润锋，
申请(专利权)人：苏州信越半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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