一种分子束外延设备载盘传送组件制造技术

本实用新型专利技术涉及载盘传送技术领域，且公开了一种分子束外延设备载盘传送组件，包括主体机构

【技术实现步骤摘要】
一种分子束外延设备载盘传送组件


[0001]本技术涉及载盘传送
，具体为一种分子束外延设备载盘传送组件
。

技术介绍

[0002]分子束外延
(MBE)
是在超高真空环境下，把构成晶体各组分和掺杂的原子或分子，以一定的热运动速度
、
按一定的成分比例从源炉中喷射到衬底表面上进行外延生长来制备单晶薄膜的一种方法
。
[0003]在分子束外延设备在进行使用时会用到传送组件，在工作时为了操作便捷，一般直接放置在传送组件上，容易使其受到损坏，不便于保护，影响正常使用
。

技术实现思路

[0004](
一
)
解决的技术问题
[0005]本技术的目的在于提供一种分子束外延设备载盘传送组件，以解决上述
技术介绍
中提出不便于保护的问题
。
[0006](
二
)
技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种分子束外延设备载盘传送组件，包括主体机构
、
防护机构和夹取机构，所述防护机构位于主体机构的上端，所述夹取机构位于主体机构的右端，所述主体机构包括支腿
、
底板
、
第一滑槽
、
第一电机
、
螺纹杆
、
限位杆
、
滑动板和支撑板，所述底板的下端固定连接在支腿的上端，所述第一滑槽固定开设在底板的中部，所述第一电机的右端固定连接在底板的左端，所述螺纹杆的左端固定连接在第一电机的右端，所述螺纹杆的右端固定连接在底板的右侧壁，所述限位杆的左右两端固定连接在底板的内壁，所述滑动板螺纹连接在螺纹杆的外圈，所述滑动板滑动连接在限位杆的外圈，所述支撑板的下端固定连接在滑动板的上端，该分子束外延设备载盘传送组件，通过螺纹杆的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时传送的便捷性
。
[0008]优选的，所述防护机构包括防护盒
、
液压杆
、
连接板和放置盒，所述防护盒的下端固定连接在支撑板的上端，所述液压杆的下端固定连接在防护盒的内底壁，该分子束外延设备载盘传送组件，通过液压杆的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时高度调整的便捷性
。
[0009]优选的，所述连接板的下端固定连接在液压杆的上端，所述放置盒的下端和连接板的上端接触，该分子束外延设备载盘传送组件，通过放置盒的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时的保护性
。
[0010]优选的，所述夹取机构包括安装底座
、
电动伸缩杆
、
驱动部
、
转动盘
、
转动板
、
连接杆
、
安装架
、
第二滑槽
、
第二电机
、
双向丝杆
、
滑动块和夹板，所述安装底座的左端固定连接在底板的右端，所述电动伸缩杆的下端固定连接在安装底座的上端，该分子束外延设备载盘传送组件，通过安装底座的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时的稳定性
。
[0011]优选的，所述驱动部的下端固定连接在电动伸缩杆的上端，所述转动盘转动连接在驱动部的上端，所述转动板的下端固定连接在转动盘的上端，所述连接杆的上端固定连接在转动板的下端，所述安装架的上端固定连接在连接杆的下端，所述第二滑槽固定开设在安装架的中部，所述第二电机的前端固定连接在安装架的后端，该分子束外延设备载盘传送组件，通过转动板的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时角度调整的便捷性
。
[0012]优选的，所述双向丝杆的后端固定连接在第二电机的前端，所述滑动块螺纹连接在双向丝杆的外圈，所述夹板的上端固定连接在滑动块的下端，该分子束外延设备载盘传送组件，通过夹板的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时载盘取出的便捷性
。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、
该分子束外延设备载盘传送组件，通过螺纹杆的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时传送的便捷性，通过液压杆的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时高度调整的便捷性，大大的提高了该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时传送的便捷性；
[0015]2、
该分子束外延设备载盘传送组件，通过放置盒的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时的保护性，通过安装底座的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时的稳定性，大大的提高了该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时的保护性；
[0016]3、
该分子束外延设备载盘传送组件，通过转动板的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时角度调整的便捷性，通过夹板的结构，便于该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时载盘取出的便捷性，大大的提高了该分子束外延设备载盘传送组件在实际使用时载盘取出的便捷性
。
附图说明
[0017]图1为本技术立体结构示意图；
[0018]图2为本技术正面剖面结构示意图；
[0019]图3为本技术防护盒剖面结构示意图；
[0020]图4为本技术安装架剖面结构示意图
。
[0021]图中：
1、
主体机构；
101、
支腿；
102、
底板；
103、
第一滑槽；
104、
第一电机；
105、
螺纹杆；
106、
限位杆；
107、
滑动板；
108、
支撑板；
2、
防护机构；
201、
防护盒；
202、
液压杆；
203、
连接板；
204、
放置盒；
3、
夹取机构；
301、
安装底座；
302、
电动伸缩杆；
303、
驱动部；
304、
转动盘；
305、
转动板；
306、
连接杆；
307、
安装架；
308、
第二滑槽；
309、
第二电机；
310、
双向丝杆；
311、
滑动块；
312、
夹板
。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种分子束外延设备载盘传送组件，包括主体机构
(1)、
防护机构
(2)
和夹取机构
(3)
，其特征在于：所述防护机构
(2)
位于主体机构
(1)
的上端，所述夹取机构
(3)
位于主体机构
(1)
的右端，所述主体机构
(1)
包括支腿
(101)、
底板
(102)、
第一滑槽
(103)、
第一电机
(104)、
螺纹杆
(105)、
限位杆
(106)、
滑动板
(107)
和支撑板
(108)
，所述底板
(102)
的下端固定连接在支腿
(101)
的上端，所述第一滑槽
(103)
固定开设在底板
(102)
的中部，所述第一电机
(104)
的右端固定连接在底板
(102)
的左端，所述螺纹杆
(105)
的左端固定连接在第一电机
(104)
的右端，所述螺纹杆
(105)
的右端固定连接在底板
(102)
的右侧壁，所述限位杆
(106)
的左右两端固定连接在底板
(102)
的内壁，所述滑动板
(107)
螺纹连接在螺纹杆
(105)
的外圈，所述滑动板
(107)
滑动连接在限位杆
(106)
的外圈，所述支撑板
(108)
的下端固定连接在滑动板
(107)
的上端
。2.
根据权利要求1所述的一种分子束外延设备载盘传送组件，其特征在于：所述防护机构
(2)
包括防护盒
(201)、
液压杆
(202)、
连接板
(203)
和放置盒
(204)
，所述防护盒
(201)
的下端固定连接在支撑板
(108)
的上端，所述液压杆
(202)
的下端固定连接在防护盒
(201)
的内底壁
。3.
根据权利要求2所述的一种分子束外延设备载盘传送组件，其特征在于：所述连接板
...

【专利技术属性】
技术研发人员：路云峰，刘杰，王红真，
申请(专利权)人：苏州信越半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：