【技术实现步骤摘要】
本技术涉及压缩引入结构，具体为一种分子束外延设备的压缩空气引入结构。
技术介绍
1、分子束外延自20世纪60年代末在真空蒸镀的基础上产生以来，发展十分迅速，其中之一是引入气态的分子束源，构成所谓化学束外延(cbe)，用砷烷(ash3)和磷烷(ph3)生长等四元材料，或将金属有机化合物引入分子束源形成所谓金属有机化合物分子束外延(mombe)，目前市面上普遍的分子束外延设备的压缩空气引入结构，都是优先将需要压缩的空气压缩，之后再将压缩的空气进行引入，这样难免在引入的过程中造成一定量的资源浪费，为此我们提出了一种分子束外延设备的压缩空气引入结构。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、本技术的目的在于提供一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，以解决上述
技术介绍
中提出目前市面上普遍的分子束外延设备的压缩空气引入结构，都是优先将需要压缩的空气压缩，之后再将压缩的空气进行引入，这样难免在引入的过程中造成一定量的资源浪费的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括支撑底板，所述支撑底板的上端与压缩箱的下端固定连接，所述压缩箱的上端与制动电机的下端固定连接，所述制动电机的下端与压缩机的上端电性连接，所述压缩箱的右端与压力表的下端电性连接，所述压缩箱的上端与安全阀的下端固定连接。
5、优选的，所述压缩箱的上端与单向阀的下端固定连接，所述安全阀的下端与排气管的左端固定连接，所述支撑台的上端与分子束外延设备的下端固
6、优选的，所述吸气机与分子束外延设备之间通过紧固螺栓螺纹连接，所述吸气机的右端与引入副管道的左端固定连接，所述引入副管道的右端与引入主管道的左端固定连接，所述引入主管道的右端与压缩箱的左端固定连接。
7、优选的，所述压缩箱的右端开设有吸风口，所述吸风口的下端与压缩机的表面固定连接，所述压缩机的下端与过滤器的表面固定连接，所述过滤器的下端与储气箱的表面固定连接。
8、优选的，所述储气箱的上端与压力开关的下端固定连接，所述引入主管道的内部与主管道过滤器的表面固定连接，所述引入副管道的内部与副管道过滤器的表面固定连接，所述主管道过滤器的左端与副管道过滤器的右端固定连接，所述主管道过滤器与副管道过滤器的连接处开设有滤芯。
9、优选的，所述储气箱的左端与干燥机的右端固定连接，所述干燥机的左端与输送管的右端固定连接，所述输送管的左端与引入主管道的右端固定连接，所述支撑台的下端与支撑主腿的上端固定连接。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
11、1.一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，支撑底板的上端固定连接有压缩箱，压缩箱的上端固定连接有制动电机，制动电机的下端电性连接有压缩机，压缩箱的右端电性连接有压力表，支撑台的上端固定连接有分子束外延设备，分子束外延设备的右端固定连接有吸气机，吸气机与分子束外延设备之间通过紧固螺栓螺纹连接，吸气机的右端固定连接有引入副管道的左端，引入副管道的右端固定连接有引入主管道，引入主管道的右端固定连接有压缩箱，压缩箱的右端开设有吸风口，吸风口的下端固定连接有压缩机，压缩机的下端固定连接有过滤器，过滤器的下端固定连接有储气箱，储气箱的上端固定连接有压力开关，引入主管道的内部固定连接有主管道过滤器，引入副管道的内部固定连接有副管道过滤器，主管道过滤器的左端固定连接有副管道过滤器，主管道过滤器与副管道过滤器的连接处开设有滤芯，储气箱的左端固定连接有干燥机，干燥机的左端固定连接有输送管，输送管的左端固定连接有引入主管道，支撑台的下端固定连接有支撑主腿，当需要使用该分子束外延设备的压缩空气引入结构时，需要使用者打开制动电机，此时吸风口将吸入需要压缩的空气，同时制动电机将带动下方的压缩机，压缩过的空气将通过后方的过滤器，随后被存储在储气箱，这时启动干燥机，随后干燥过的空气将通过输送管到达引入主管道的内部，经由其内部的主管道过滤器、副管道过滤器和滤芯过滤其内部的油雾，最终被吸气机吸入分子束外延设备的内部，至此完成压缩空气的引入，可以有效解决
技术介绍
中提到目前市面上普遍的分子束外延设备的压缩空气引入结构，都是优先将需要压缩的空气压缩，之后再将压缩的空气进行引入，这样难免在引入的过程中造成一定量的资源浪费的问题；
12、2.一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，相对于之前的装置，在压缩箱的上端固定连接有安全阀，压缩箱的上端固定连接有单向阀，安全阀的下端固定连接有排气管，单向阀可以让压缩空气从压缩机进入储气箱，且可以阻止压缩空气反方向流动，安全阀当储气箱内的压力超过允许限度时，可以通过排气管将压缩空气排出；
13、3.一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，支撑底板的上端固定连接有压缩箱，压缩箱的上端固定连接有制动电机，制动电机的下端电性连接有压缩机，压缩箱的右端电性连接有压力表，压力表可以显示储气箱内部的压力，且当储气箱内部的压力达到最大压力时，压力开关此时也将停止工作，进而带动制动电机停止工作，当使用者察觉压力恢复再重新启动制动电机即可，可以有效提高该装置的安全以及稳定性。
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1.一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，包括支撑底板(8)，其特征在于：所述支撑底板(8)的上端与压缩箱(7)的下端固定连接，所述压缩箱(7)的上端与制动电机(24)的下端固定连接，所述制动电机(24)的下端与压缩机(12)的上端电性连接，所述压缩箱(7)的右端与压力表(17)的下端电性连接，所述压缩箱(7)的上端与安全阀(19)的下端固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，其特征在于：它还包括支撑台(1)，所述压缩箱(7)的上端与单向阀(20)的下端固定连接，所述安全阀(19)的下端与排气管(18)的左端固定连接，所述支撑台(1)的上端与分子束外延设备(3)的下端固定连接，所述分子束外延设备(3)的右端与吸气机(4)的左端固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，其特征在于：所述吸气机(4)与分子束外延设备(3)之间通过紧固螺栓(16)螺纹连接，所述吸气机(4)的右端与引入副管道(5)的左端固定连接，所述引入副管道(5)的右端与引入主管道(6)的左端固定连接，所述引入主管道(6)的右端与
4.根据权利要求3所述的一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，其特征在于：所述压缩箱(7)的右端开设有吸风口(9)，所述吸风口(9)的下端与压缩机(12)的表面固定连接，所述压缩机(12)的下端与过滤器(11)的表面固定连接，所述过滤器(11)的下端与储气箱(10)的表面固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，其特征在于：所述储气箱(10)的上端与压力开关(21)的下端固定连接，所述引入主管道(6)的内部与主管道过滤器(15)的表面固定连接，所述引入副管道(5)的内部与副管道过滤器(13)的表面固定连接，所述主管道过滤器(15)的左端与副管道过滤器(13)的右端固定连接，所述主管道过滤器(15)与副管道过滤器(13)的连接处开设有滤芯(14)。
6.根据权利要求5所述的一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，其特征在于：所述储气箱(10)的左端与干燥机(22)的右端固定连接，所述干燥机(22)的左端与输送管(23)的右端固定连接，所述输送管(23)的左端与引入主管道(6)的右端固定连接，所述支撑台(1)的下端与支撑主腿(2)的上端固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，包括支撑底板(8)，其特征在于：所述支撑底板(8)的上端与压缩箱(7)的下端固定连接，所述压缩箱(7)的上端与制动电机(24)的下端固定连接，所述制动电机(24)的下端与压缩机(12)的上端电性连接，所述压缩箱(7)的右端与压力表(17)的下端电性连接，所述压缩箱(7)的上端与安全阀(19)的下端固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，其特征在于：它还包括支撑台(1)，所述压缩箱(7)的上端与单向阀(20)的下端固定连接，所述安全阀(19)的下端与排气管(18)的左端固定连接，所述支撑台(1)的上端与分子束外延设备(3)的下端固定连接，所述分子束外延设备(3)的右端与吸气机(4)的左端固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，其特征在于：所述吸气机(4)与分子束外延设备(3)之间通过紧固螺栓(16)螺纹连接，所述吸气机(4)的右端与引入副管道(5)的左端固定连接，所述引入副管道(5)的右端与引入主管道(6)的左端固定连接，所述引入主管道(6)的右端与压缩箱(7)的左端固定连接。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：路云峰，刘杰，王红真，
申请(专利权)人：苏州信越半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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