一种分子束外延设备的压缩空气引入结构制造技术

本技术涉及压缩引入结构技术领域，且公开了一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，该一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，包括支撑底板，所述支撑底板的上端与压缩箱的下端固定连接，所述压缩箱的上端与制动电机的下端固定连接，所述制动电机的下端与压缩机的上端电性连接，在支撑底板的上端固定连接有压缩箱，压缩箱的上端固定连接有制动电机，制动电机的下端电性连接有压缩机，压缩箱的右端电性连接有压力表，压力表可以显示储气箱内部的压力，且当储气箱内部的压力达到最大压力时，压力开关此时也将停止工作，进而带动制动电机停止工作，当使用者察觉压力恢复再重新启动制动电机即可，可以有效提高该装置的安全以及稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及压缩引入结构，具体为一种分子束外延设备的压缩空气引入结构。

技术介绍

1、分子束外延自20世纪60年代末在真空蒸镀的基础上产生以来，发展十分迅速，其中之一是引入气态的分子束源，构成所谓化学束外延(cbe)，用砷烷(ash3)和磷烷(ph3)生长等四元材料，或将金属有机化合物引入分子束源形成所谓金属有机化合物分子束外延(mombe)，目前市面上普遍的分子束外延设备的压缩空气引入结构，都是优先将需要压缩的空气压缩，之后再将压缩的空气进行引入，这样难免在引入的过程中造成一定量的资源浪费，为此我们提出了一种分子束外延设备的压缩空气引入结构。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、本技术的目的在于提供一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，以解决上述
技术介绍
中提出目前市面上普遍的分子束外延设备的压缩空气引入结构，都是优先将需要压缩的空气压缩，之后再将压缩的空气进行引入，这样难免在引入的过程中造成一定量的资源浪费的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本技术提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，包括支撑底板(8)，其特征在于：所述支撑底板(8)的上端与压缩箱(7)的下端固定连接，所述压缩箱(7)的上端与制动电机(24)的下端固定连接，所述制动电机(24)的下端与压缩机(12)的上端电性连接，所述压缩箱(7)的右端与压力表(17)的下端电性连接，所述压缩箱(7)的上端与安全阀(19)的下端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，其特征在于：它还包括支撑台(1)，所述压缩箱(7)的上端与单向阀(20)的下端固定连接，所述安全阀(19)的下端与排气管(18)的左端固定连接，所述支撑台(1)的上端与...

【技术特征摘要】

1.一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，包括支撑底板(8)，其特征在于：所述支撑底板(8)的上端与压缩箱(7)的下端固定连接，所述压缩箱(7)的上端与制动电机(24)的下端固定连接，所述制动电机(24)的下端与压缩机(12)的上端电性连接，所述压缩箱(7)的右端与压力表(17)的下端电性连接，所述压缩箱(7)的上端与安全阀(19)的下端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，其特征在于：它还包括支撑台(1)，所述压缩箱(7)的上端与单向阀(20)的下端固定连接，所述安全阀(19)的下端与排气管(18)的左端固定连接，所述支撑台(1)的上端与分子束外延设备(3)的下端固定连接，所述分子束外延设备(3)的右端与吸气机(4)的左端固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，其特征在于：所述吸气机(4)与分子束外延设备(3)之间通过紧固螺栓(16)螺纹连接，所述吸气机(4)的右端与引入副管道(5)的左端固定连接，所述引入副管道(5)的右端与引入主管道(6)的左端固定连接，所述引入主管道(6)的右端与压缩箱(7)的左端固定连接。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：路云峰，刘杰，王红真，
申请(专利权)人：苏州信越半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：