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本技术涉及压缩引入结构技术领域，且公开了一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，该一种分子束外延设备的压缩空气引入结构，包括支撑底板，所述支撑底板的上端与压缩箱的下端固定连接，所述压缩箱的上端与制动电机的下端固定连接，所述制动电机的下端与压缩...
该专利属于苏州信越半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州信越半导体有限公司授权不得商用。

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