激光分子束外延设备的衬底加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了激光分子束外延设备的衬底加热器，包括设备本体，所述设备本体的底部开设有安装槽，所述安装槽的内壁固定有矩形块，所述矩形块的内壁固定有两个隔板，两个所述隔板将矩形块分隔成加热空间和两个安装空间，所述加热空间的内壁固定有支撑板，所述支撑板的上端固定有加热块，所述矩形块的内顶部贯穿嵌设有导热板。本装置中，利用电磁铁通电时带动金属块的上移，实现限位板和卡槽的配对，从而可快速实现衬底加热器的安装，而在电磁铁断电时，利用支撑弹簧可快速实现金属块和限位板的复位，进而可快速实现矩形块和设备本体的分离，能够方便对衬底加热器的维修更换，可方便激光分子束外延设备的使用。可方便激光分子束外延设备的使用。可方便激光分子束外延设备的使用。

【技术实现步骤摘要】
激光分子束外延设备的衬底加热器


[0001]本技术涉及激光分子束外延设备
，尤其涉及激光分子束外延设备的衬底加热器。

技术介绍

[0002]激光分子束外延是将分子束外延技术与脉冲激光沉积技术的有机结合，在分子束外延条件下激光蒸发镀膜的技术，激光分子束外延设备是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器，在使用过程中一般需要借助衬底加热器进行升温处理；
[0003]传统的衬底加热器大多通过螺栓等固定工具固定至激光分子束外延设备内部，在对衬底加热器进行更换检修时，需要拆卸较多的部件，而且设备内部空间较小，会使得衬底加热器的安装拆卸过程较为麻烦，因而我们需要设计一款方便拆卸安装的激光分子束外延设备的衬底加热器。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中安装拆卸较为麻烦的缺点，而提出的激光分子束外延设备的衬底加热器。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]激光分子束外延设备的衬底加热器，包括设备本体，所述设备本体的底部开设有安装槽，所述安装槽的内壁固定有矩形块，所述矩形块的内壁固定有两个隔板，两个所述隔板将矩形块分隔成加热空间和两个安装空间，所述加热空间的内壁固定有支撑板，所述支撑板的上端固定有加热块，所述矩形块的内顶部贯穿嵌设有导热板，每个安装空间的内部均设置有多组限位连接装置，两个所述安装空间的内顶部均设置有复位装置。
[0007]优选地，所述限位连接装置包括固定于安装空间内底部的多个竖直杆，多个所述竖直杆的周向侧壁共同滑动连接有滑块，所述滑块与隔板侧壁相抵。
[0008]优选地，所述安装空间的内壁贯穿滑动连接有限位板，所述安装槽的内壁开设有卡槽，所述限位板与卡槽对应。
[0009]优选地，所述限位板的端部和滑块的端部通过销轴共同转动连接有连接板，所述限位板与矩形块密封滑动连接，所述矩形块和隔板均采用隔热材料制成。
[0010]优选地，所述复位装置包括固定有安装空间内部的固定板，所述安装空间的内壁滑动连接有金属块，所述金属块的底部与固定板的上端通过支撑弹簧连接，所述竖直杆上端与固定板底部固定。
[0011]优选地，所述安装空间的内顶部固定有电磁铁，所述电磁铁与金属块对应，所述金属块的底部固定有多个竖直板，所述竖直板的底部贯穿至固定板的下方并与滑块上端固定。
[0012]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0013]1、本装置中，通过设置隔热材料制成的隔板和矩形块，能够保证加热空间内产生
的热量均匀沿着导热板传递至激光分子束外延设备上，方便材料加热使用，而加热块呈S型设置，能够使得导热板受热更加均匀，能够使得使得激光分子束外延设备内材料加热效果更好；
[0014]2、本装置中，利用电磁铁通电时带动金属块的上移，实现限位板和卡槽的配对，从而可快速实现衬底加热器的安装，而在电磁铁断电时，利用支撑弹簧可快速实现金属块和限位板的复位，进而可快速实现矩形块和设备本体的分离，能够方便对衬底加热器的维修更换，可方便激光分子束外延设备的使用。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的激光分子束外延设备的衬底加热器的结构示意图；
[0016]图2为本技术提出的激光分子束外延设备的衬底加热器安装状态下的结构示意图；
[0017]图3为本技术提出的激光分子束外延设备的衬底加热器的俯剖视图；
[0018]图4为图1中A部分的放大图。
[0019]图中：1设备本体、2安装槽、3矩形块、4隔板、5加热空间、6安装空间、7支撑板、8加热块、9导热板、10固定板、11竖直杆、12滑块、13限位板、14连接板、15卡槽、16金属块、17支撑弹簧、18电磁铁、19竖直板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0021]参照图1
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4，激光分子束外延设备的衬底加热器，包括设备本体1，设备本体1的底部开设有安装槽2，安装槽2的内壁固定有矩形块3，矩形块3的内壁固定有两个隔板4，两个隔板4将矩形块3分隔成加热空间5和两个安装空间6，加热空间5的内壁固定有支撑板7，支撑板7的上端固定有加热块8，加热块8呈S型分布，能够使得加热更加均匀，矩形块3的内顶部贯穿嵌设有导热板9，每个安装空间6的内部均设置有多组限位连接装置，两个安装空间6的内顶部均设置有复位装置。
[0022]限位连接装置包括固定于安装空间6内底部的多个竖直杆11，多个竖直杆11的周向侧壁共同滑动连接有滑块12，滑块12与隔板4侧壁相抵；安装空间6的内壁贯穿滑动连接有限位板13，安装槽2的内壁开设有卡槽15，限位板13与卡槽15对应；限位板13的端部和滑块12的端部通过销轴共同转动连接有连接板14，限位板13与矩形块3密封滑动连接，矩形块3和隔板4均采用隔热材料制成，可减少加热空间5内热量的流失。
[0023]复位装置包括固定有安装空间6内部的固定板10，安装空间6的内壁滑动连接有金属块16，金属块16的底部与固定板10的上端通过支撑弹簧17连接，竖直杆11上端与固定板10底部固定；安装空间6的内顶部固定有电磁铁18，电磁铁18与金属块16对应，金属块16的底部固定有多个竖直板19，竖直板19的底部贯穿至固定板10的下方并与滑块12上端固定，通过设置限位连接装置和复位装置，能够快速实现衬底加热器与激光分子束外延设备的安装与拆卸使用，无需人为借助工具进行安装拆卸，可方便对衬底加热器的检修更换使用，能
够方便激光分子束外延设备的使用。
[0024]本技术中，在激光分子束外延设备使用之间，首先需要通过对准安装槽2和矩形块3的位置，将矩形块3完全放入至安装槽2内部，此时将电磁铁18通电，使得电磁铁18获得磁性，利用磁铁对金属的吸附作用，可实现金属块16的上移并与电磁铁18的紧密贴合，而在金属块16移动过程中，能够实现支撑弹簧17的伸长，使得支撑弹簧17处于拉伸状态，同时在竖直板19带动下，可实现竖直杆11周向侧壁的滑块12向上滑动，在两端均通过销轴转动连接的连接板14作用下，可实现限位板13向矩形块3外部方向移动，从而可使得限位板13进入卡槽15内部，利用限位板13和卡槽15的相对，能够实现矩形块3和设备本体1的安装，进而能够在电磁铁18通电时，自动实现衬底加热器与激光分子束外延设备的安装连接，能够方便激光分子束外延设备的使用；
[0025]在为激光分子束外延设备的设备本体1使用过程中，可利用加热空间5内部加热块8和导热板9实现温度的升高，从而可方便对材料的加热，而加热块8呈S型分布，可保证导热板9的受热更加均匀，进而能够使得材料的加热效果更好；
[0026]在激光分子束外延设备使用完成后，可将电磁铁18断电，此时金属块16会在自身重力以及伸长状态下支撑弹簧17带动下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.激光分子束外延设备的衬底加热器，包括设备本体(1)，其特征在于，所述设备本体(1)的底部开设有安装槽(2)，所述安装槽(2)的内壁固定有矩形块(3)，所述矩形块(3)的内壁固定有两个隔板(4)，两个所述隔板(4)将矩形块(3)分隔成加热空间(5)和两个安装空间(6)，所述加热空间(5)的内壁固定有支撑板(7)，所述支撑板(7)的上端固定有加热块(8)，所述矩形块(3)的内顶部贯穿嵌设有导热板(9)，每个安装空间(6)的内部均设置有多组限位连接装置，两个所述安装空间(6)的内顶部均设置有复位装置。2.根据权利要求1所述的激光分子束外延设备的衬底加热器，其特征在于，所述限位连接装置包括固定于安装空间(6)内底部的多个竖直杆(11)，多个所述竖直杆(11)的周向侧壁共同滑动连接有滑块(12)，所述滑块(12)与隔板(4)侧壁相抵。3.根据权利要求2所述的激光分子束外延设备的衬底加热器，其特征在于，所述安装空间(6)的内壁贯穿滑动连接有限位板(13)，所述安装槽(2)的内壁开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：路云峰，陆润锋，
申请(专利权)人：苏州信越半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：