【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种三维形貌畸变矫正方法，属于图像处理。
技术介绍
1、高能激光实验中存在着大量的高功率光学元件，光学元件是限制实验功率的关键因素。随着高能激光实验功率的不断提升，对元件口径的要求也越来越大；然而，实验功率的提升也会带来相应的问题，如光学元件无法承受过高的功率从而产生损伤，影响实验安全；因此，对大口径光学元件的检测是制约实验功率提升的关键因素；在传统检测方式中，存在搬运元件及调整元件位姿的环节，不仅容易对元件造成二次损伤，而且极易引入测量误差；因此需要发展原位显微测量技术；以六自由度机械臂承载共焦显微测头的原位显微测量方式，能够解决上述问题；但由于机械臂本身固有的振动，使共焦显微在成像过程中待测元件与显微测头之间发生相对位移，从而使显微成像带有振动畸变。
技术实现思路
1、本专利技术为解决原位显微测量中三维形貌畸变的问题，进而提出一种原位共焦显微三维形貌畸变矫正方法。
2、本专利技术为解决上述问题采取的技术方案是：本专利技术的步骤包括：
3、步骤一、建...
【技术保护点】
1.一种原位共焦显微三维形貌畸变矫正方法，其特征在于：所述一种原位共焦显微三维形貌畸变矫正方法的步骤包括：
2.根据权利要求1所述的一种原位共焦显微三维形貌畸变矫正方法，其特征在于：步骤一中对于理想扫描点集：
3.根据权利要求1所述的一种原位共焦显微三维形貌畸变矫正方法，其特征在于：步骤三中将最小二乘法拟合的采样点位置作为三维重构的XY格点位置：
【技术特征摘要】
1.一种原位共焦显微三维形貌畸变矫正方法，其特征在于：所述一种原位共焦显微三维形貌畸变矫正方法的步骤包括：
2.根据权利要求1所述的一种原位共焦显微三维形貌畸变矫正方法，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘辰光，由小玉，刘俭，徐振龙，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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