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一种原位共焦显微三维形貌畸变矫正方法，它涉及一种三维形貌畸变矫正方法。本发明为了解决原位显微测量中三维形貌畸变的问题。本发明的步骤包括步骤一、建立三维振动畸变矫正模型；步骤二、扫描获取理想采样点集；步骤三、以最小二乘法拟合采样点位置；步骤四...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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