【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏生产设备，尤其涉及扩散炉设备的炉门结构。本专利技术还涉及设有所述炉门结构的扩散炉。
技术介绍
1、目前，在太阳能电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。
2、扩散工艺是太阳能电池制备过程中的一个核心工序，即硅片以石英舟为载体放入扩散炉中，在一定温度下向扩散炉内通入氮气和扩散源，以使硅片的表面扩散沉积pn结。
3、随着太阳能发电的普及，相关的光伏产品需求量越来越大，在产能需求日益提高的前提下，对扩散工艺设备的主要零配件的要求也越来越高。
4、如图1所示，是一种典型的扩散炉软着陆工艺设备，其扩散炉主体包括加热炉11和石英管腔体12，石英管腔体12前端设置炉口法兰121，石英管腔体后端设置炉腔进气管18与炉腔抽气管19。当硅片载具31与硅片32被送入石英管腔体12内部时，炉门40从侧面移动过来与石英管腔体12前端的炉口法兰121贴紧，炉门40与炉口法兰121之间由炉门密封圈42实现石英管腔体12的密封。
5、对于当前的扩散炉软着陆工艺设备，其炉门40通常采用石英材料或者金属材料。如果炉门40采用石英材料，则炉门40在对石英管腔体12进行关门密封时，由于石英材质较脆，炉门40在运动或者挤压过程中容易碎裂。如果炉门40采用金属材料，则炉门40关门以后，在进行高温扩散工艺时，金属杂质逸出会对石英管腔体12内正在发生的扩散工艺造成污染。
6、虽然通过采用石英材料与金属材料相结合的方式，可以解决污染问题，但如何将炉门的石英部分安装于金属
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种用于扩散炉的炉门结构，以解决上述技术问题。
2、本专利技术的另一目的在于提供一种设有所述炉门结构的扩散炉。
3、为实现上述目的，本专利技术提供一种用于扩散炉的炉门结构，所述炉门结构包括金属炉门以及位于所述金属炉门内侧的热辐射阻挡件，所述热辐射阻挡件通过悬挂机构安装于所述金属炉门；所述悬挂机构包括设于所述热辐射阻挡件外侧的支撑板和多个调节支撑座组件，所述调节支撑座组件设置于金属炉门，所述支撑板设有多个卡槽，所述调节支撑座组件与所述卡槽一一对应并活动连接，其特征在于，所述调节支撑座组件设置为可以从金属炉门外侧调节所述调节支撑座组件使所述调节辐射阻挡件与金属炉门平行，所述调节支撑座组件包括支撑杆、轴向调节机构和弹性调节机构，所述轴向调节机构设置为可以从金属炉门外侧调节所述支撑杆与所述热辐射阻挡件的距离，所述弹性调节机构设置为用于弹性支撑所述支撑杆并从金属炉门外侧调节所述调节支撑座组件的弹力。
4、可选地，所述调节支撑座组件还包括支撑件和限位调节件，所述支撑杆的一端连接所述支撑件，所述支撑杆的另一端连接所述限位调节件，所述支撑件设有卡口，所述支撑板的卡槽卡接于所述支撑件的所述卡口。
5、可选地，所述支撑件的所述卡口为环形卡口，其横截面呈y字形。
6、可选地，所述轴向调节机构包括设于所述限位调节件外壁的外螺纹和旋拧部，所述限位调节件通过其外螺纹与所述金属炉门螺纹连接。
7、可选地，所述金属炉门的外表面固定有螺母座，所述螺母座设有与所述限位调节件的所述外螺纹相配合的内螺纹。
8、可选地，所述调节支撑座组件位于金属炉门外侧的部分设于密封底座和密封盖板构成的密封腔内，所述密封盖板与所述密封底座的接触面之间设有密封圈。
9、可选地，所述密封盖板或所述密封底座的接触面设有密封槽，所述密封圈安装在所述密封槽内，所述密封槽高于所述金属炉门的外表面。
10、可选地，所述弹性调节机构包括设于所述限位调节件内壁的内螺纹；所述限位调节件的内部设有调节弹簧和锁紧螺母，所述锁紧螺母设有与所述限位调节件的所述内螺纹相配合的外螺纹，所述调节弹簧的一端抵接所述支撑杆，另一端抵接所述锁紧螺母。
11、可选地，所述支撑杆位于所述限位调节件内腔中的端部设有扩径部，所述限位调节件靠近金属炉门的端部设有限位部，所述支撑杆的所述扩径部与所述限位调节件的所述限位部卡接。
12、可选地，所述金属炉门设有用于穿过所述支撑杆的第一孔和用于容纳所述限位调节件靠近金属炉门的一端的第二孔，所述第二孔的孔径大于所述第一孔，两者形成阶梯孔。
13、可选地，所述支撑板的形状包括但不限于t字形、三角形或四边形。
14、可选地，所述卡槽的数量为两个、三个或四个，所述卡槽以所述支撑板的轴线为中心均匀排列或左右对称排列。
15、可选地，所述卡槽为半圆形状或葫芦孔形状。
16、可选地，所述热辐射阻挡件外侧的边缘设置有多段限位挡边，相邻所述限位挡边之间设置有间隙，所述支撑板的外周部分结构沿所述间隙压入并转动与所述限位挡边相抵触，所述支撑板上安装有多个防转限位件，所述防转限位件用于阻止所述热辐射阻挡件与所述支撑板之间相互转动。
17、可选地，所述支撑板的内侧设置有多个弹性卡扣，所述弹性卡扣顶靠在所述热辐射阻挡件的限位挡边内部。
18、可选地，所述热辐射阻挡件包括石英门和填充在所述石英门中的不透明耐高温材料。
19、可选地，所述金属炉门上设置有炉门进气管，惰性气体经由所述炉门进气管充入所述金属炉门与所述热辐射阻挡件之间的间隙空间。
20、为实现上述另一目的，本专利技术提供一种扩散炉，包括加热炉、石英管腔体和位于所述石英管腔体端部的炉口法兰，所述炉口法兰处设置有炉门结构，所述金属炉门上设置有密封圈，所述金属炉门与所述炉口法兰由所述密封圈实现密封，设有上述任一项所述的用于扩散炉的炉门结构。
21、本专利技术所提供的用于扩散炉的炉门结构，其调节支撑座组件的限位调节件设有轴向调节机构和弹性调节机构，通过弹性调节机构，可以从金属炉门外侧调节支撑件的伸出量，使得悬挂的热辐射阻挡件在竖直方向上与金属炉门相互平行，通过弹性调节机构可以从金属炉门外侧对各处调节支撑座组件的弹力进行相应调节，即调节热辐射阻挡件各个方向各个位置的缓冲力，实现热辐射阻挡件各个方向各个位置更好的缓冲，防止热辐射阻挡件受挤压而碎裂。由于从金属炉门外侧就能进行调节，因此在调节时无需将悬挂的热辐射阻挡件取下，安装和拆卸简单，调节方便。
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1.一种用于扩散炉的炉门结构，所述炉门结构包括金属炉门以及位于所述金属炉门内侧的热辐射阻挡件，所述热辐射阻挡件通过悬挂机构安装于所述金属炉门；所述悬挂机构包括设于所述热辐射阻挡件外侧的支撑板和多个调节支撑座组件，所述调节支撑座组件设置于所述金属炉门，所述支撑板设有多个卡槽，所述调节支撑座组件与所述卡槽一一对应并活动连接，其特征在于，所述调节支撑座组件设置为可以从金属炉门外侧调节所述调节支撑座组件使所述调节辐射阻挡件与金属炉门平行，所述调节支撑座组件包括支撑杆、轴向调节机构和弹性调节机构，所述轴向调节机构设置为可以从金属炉门外侧调节所述支撑杆与所述热辐射阻挡件的距离，所述弹性调节机构设置为用于弹性支撑所述支撑杆并从金属炉门外侧调节所述调节支撑座组件的弹力。
2.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述调节支撑座组件还包括支撑件和限位调节件，所述支撑杆的一端连接所述支撑件，所述支撑杆的另一端连接所述限位调节件，所述支撑件设有卡口，所述支撑板的卡槽卡接于所述支撑件的所述卡口。
3.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述支撑件
4.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述轴向调节机构包括设于所述限位调节件外壁的外螺纹和旋拧部，所述限位调节件通过其外螺纹与所述金属炉门螺纹连接。
5.根据权利要求4所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述金属炉门的外表面固定有螺母座，所述螺母座设有与所述限位调节件的所述外螺纹相配合的内螺纹。
6.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述调节支撑座组件位于金属炉门外侧的部分设于密封底座和密封盖板构成的密封腔内，所述密封盖板与所述密封底座的接触面之间设有密封圈。
7.根据权利要求6所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述密封盖板或所述密封底座的接触面设有密封槽，所述密封圈安装在所述密封槽内，所述密封槽高于所述金属炉门的外表面。
8.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述弹性调节机构包括设于所述限位调节件内壁的内螺纹；所述限位调节件的内部设有调节弹簧和锁紧螺母，所述锁紧螺母设有与所述限位调节件的所述内螺纹相配合的外螺纹，所述调节弹簧的一端抵接所述支撑杆，另一端抵接所述锁紧螺母。
9.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述支撑杆位于所述限位调节件内腔中的端部设有扩径部，所述限位调节件靠近金属炉门的端部设有限位部，所述支撑杆的所述扩径部与所述限位调节件的所述限位部卡接。
10.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述金属炉门设有用于穿过所述支撑杆的第一孔和用于容纳所述限位调节件靠近金属炉门的一端的第二孔，所述第二孔的孔径大于所述第一孔，两者形成阶梯孔。
11.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述支撑板的形状包括但不限于T字形、三角形或四边形。
12.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述卡槽的数量为两个、三个或四个，所述卡槽以所述支撑板的轴线为中心均匀排列或左右对称排列。
13.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述卡槽为半圆形状或葫芦孔形状。
14.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述热辐射阻挡件外侧的边缘设置有多段限位挡边，相邻所述限位挡边之间设置有间隙，所述支撑板的外周部分结构沿所述间隙压入并转动与所述限位挡边相抵触，所述支撑板上安装有多个防转限位件，所述防转限位件用于阻止所述热辐射阻挡件与所述支撑板之间相互转动。
15.根据权利要求14所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述支撑板的内侧设置有多个弹性卡扣，所述弹性卡扣顶靠在所述热辐射阻挡件的限位挡边内部。
16.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述热辐射阻挡件包括石英门和填充在所述石英门中的不透明耐高温材料。
17.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述金属炉门上设置有炉门进气管，惰性气体经由所述炉门进气管充入所述金属炉门与所述热辐射阻挡件之间的间隙空间。
18.一种扩散炉，包括加热炉、石英管腔体和位于所述石英管腔体端部的炉口法兰，所述炉口法兰处设置有炉门结构，所述金属炉门上设置有密封圈，所述金属炉门与所述炉口法兰由所述密封圈实现密封，其特征在于，设有上述权利要求1至17中任一项所述的炉门结构。
...【技术特征摘要】
1.一种用于扩散炉的炉门结构，所述炉门结构包括金属炉门以及位于所述金属炉门内侧的热辐射阻挡件，所述热辐射阻挡件通过悬挂机构安装于所述金属炉门；所述悬挂机构包括设于所述热辐射阻挡件外侧的支撑板和多个调节支撑座组件，所述调节支撑座组件设置于所述金属炉门，所述支撑板设有多个卡槽，所述调节支撑座组件与所述卡槽一一对应并活动连接，其特征在于，所述调节支撑座组件设置为可以从金属炉门外侧调节所述调节支撑座组件使所述调节辐射阻挡件与金属炉门平行，所述调节支撑座组件包括支撑杆、轴向调节机构和弹性调节机构，所述轴向调节机构设置为可以从金属炉门外侧调节所述支撑杆与所述热辐射阻挡件的距离，所述弹性调节机构设置为用于弹性支撑所述支撑杆并从金属炉门外侧调节所述调节支撑座组件的弹力。
2.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述调节支撑座组件还包括支撑件和限位调节件，所述支撑杆的一端连接所述支撑件，所述支撑杆的另一端连接所述限位调节件，所述支撑件设有卡口，所述支撑板的卡槽卡接于所述支撑件的所述卡口。
3.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述支撑件的所述卡口为环形卡口，其横截面呈y字形。
4.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述轴向调节机构包括设于所述限位调节件外壁的外螺纹和旋拧部，所述限位调节件通过其外螺纹与所述金属炉门螺纹连接。
5.根据权利要求4所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述金属炉门的外表面固定有螺母座，所述螺母座设有与所述限位调节件的所述外螺纹相配合的内螺纹。
6.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述调节支撑座组件位于金属炉门外侧的部分设于密封底座和密封盖板构成的密封腔内，所述密封盖板与所述密封底座的接触面之间设有密封圈。
7.根据权利要求6所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述密封盖板或所述密封底座的接触面设有密封槽，所述密封圈安装在所述密封槽内，所述密封槽高于所述金属炉门的外表面。
8.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于，所述弹性调节机构包括设于所述限位调节件内壁的内螺纹；所述限位调节件的内部设有调节弹簧和锁紧螺母，所述锁紧螺母设有与所述限位调节件的所述内...
【专利技术属性】
技术研发人员：毛文瑞，张坤，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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