System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种高纯砂改性提纯设备及高纯砂改性提纯工艺制造技术_技高网

一种高纯砂改性提纯设备及高纯砂改性提纯工艺制造技术

技术编号:40466700 阅读:7 留言:0更新日期:2024-02-22 23:20
本发明专利技术公开了一种高纯砂改性提纯设备,属于石英砂提纯应用领域,包括炉体,预热室、改性室和冷却室能同步进行工作,所述预热室、改性室、冷却室在联动门的作用下,可以相互连通或密闭分隔,所述预热室、改性室、冷却室可抽真空,所述预热室、改性室和冷却室均设有加热元件,石英砂在预热室内先将一部分杂质进行排除,且为改性室工作时进行提前预热,进行提前预热可以使石英砂在进入改性室时处于更有利的温度状态,助于提高改性室内的反应效率和杂质去除效果,提高整个过程的生产率;在预热室内预处理可以针对石英砂中的某些杂质进行初步排除,改性室的任务就变得更为专注于更高级别的提纯,增强产品性能,提高高纯石英砂整体性能和生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于石英砂提纯,具体涉及一种高纯砂改性提纯设备及高纯砂改性提纯工艺


技术介绍

1、6n石英砂是一种高度纯净的石英产品,其纯度达到99.9999%,通常用"6n"表示,这表示在每百万个原子或分子中,有99.9999%都是石英,而仅有很小的一部分是其他杂质,6n石英砂在多个高科技领域有广泛的应用,包括电子工业、半导体制造、光学器件、太阳能电池、光纤通信、化学实验室等,其高纯度和卓越的物理性质使其成为这些领域中不可或缺的材料。

2、现有的石英砂提纯装置通过单个加热室进行改性提纯出4n-5n石英砂,不仅提纯效率慢,提纯效果差难以获得6n石英砂。


技术实现思路

1、本专利技术的目的,解决现有的通过单个加热室进行改性提纯出4n-5n石英砂,不仅提纯效率慢,而且难以获得6n石英砂的问题。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种高纯砂改性提纯设备,包括炉体,所述炉体内腔设有预热室、改性室和冷却室,所述预热室、改性室和冷却室均可抽真空,所述预热室、改性室和冷却室均设有加热元件,所述改性室和冷却室均可注入氮气;

3、所述冷却室内设置有冷却系统;

4、所述料箱的内部设置有若干个水平管路和若干个竖向管路,若干个所述水平管路和若干个竖向管路相互交叉连通设置,所述料箱的上开设有通口,所述水平管路和竖向管路的端口均与通口相连通,所述水平管路从中间开始依次向上下两侧间距逐渐增大,且沿下侧增长的间距小于沿上侧增长的间距。

5、进一步的,若干个所述水平管路和若干个竖向管路均采用石英玻璃管。

6、进一步的,所述加热元件采用宽幅状高温钼镧合金带,所述加热元件沿改性室和预热室内壁四周均匀分布。

7、进一步的,所述改性室、预热室和冷却室框架为不锈钢板制成,外层蒙皮厚度为2.0mm;4层碳毡、2层硬复合碳毡组成的方形结构,碳毡及复合碳毡通过钼销钉,钼垫片固定在预热室和改性室框架上,形成隔热层。

8、进一步的,所述预热室和冷却室内均可移动设置有可升降托盘运输车,所述改性室的内部设置两个料架,两个所述料架的间距小于料箱的宽度值,大于可升降托盘运输车的宽度值。

9、一种高纯砂改性提纯工艺,包括以下步骤:

10、第一步s1:预加热;

11、第二步s2:改性;

12、第三步s3:冷却;

13、第四步s4:还原。

14、进一步的,所述预加热包括以下步骤:

15、s11:在2小时内逐步梯次升温到1300~1450℃,且真空5~9×10-6pa的环境下对4n5半成品高纯石英砂进行加热;

16、s12:减少加热输出继续升温到1500~1650℃,最终保持温度不变3~6小时,制备出5n高纯石英砂。

17、进一步的,所述改性包括以下步骤:

18、s21:升温至1200~1400℃,将5n高纯石英砂放置在真空5~9×10-6pa的环境下,注入氮气进行初步化学反应;

19、s22:继续升温至1450℃进一步氮化反应1~3小时,直到变为氮化硅。

20、进一步的,所述冷却包括以下步骤:

21、s31:通过气体抽出装置和水冷机构进行初步降温;

22、s32:根据温控仪反馈显示低于950度注入氮气冷却,等待1~4小时后,温度降到原始温度。

23、进一步的,所述还原包括以下步骤:

24、s41:氮化硅和氢氟酸进行混合搅拌充分反应后,再经过超声波设备、超纯水流化清洗,直至洗涤酸碱度中性,还原出二氧化硅,随后进行加热烘干;

25、s42:烘干后经过强磁电极棒加工,剔除金属杂质,得出不低于6n纯度的二氧化硅。

26、与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:

27、本专利技术通过以4n5(99.995)半成品高纯石英砂为原料,通过上述装置和工艺,可制备出6n石英砂,石英砂在预热室内先将一部分杂质进行排除,且为改性室工作时进行提前预热,进行提前预热可以使石英砂在进入改性室时处于更有利的温度状态,助于提高改性室内的反应效率和杂质去除效果,提高整个过程的生产率;在预热室内预处理可以针对石英砂中的某些杂质进行初步排除,改性室的任务就变得更为专注于更高级别的提纯,增强产品性能,提高高纯石英砂整体性能和生产效率。

28、该一种高纯砂改性提纯设备,通过逐渐增大水平管路间距,可以实现更好的温度均衡,由于竖向间距较小,热量更容易在水平方向传递,提供更高的热量密度;由于石英砂热量从顶部向下传递比从底部向上传递较为容易,因此水平管路从中间向上下两侧增加不同间距,让上层热量更好的往下层水平管路传递,促使内部床层的热量均匀分布。

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【技术保护点】

1.一种高纯砂改性提纯设备,包括炉体(10)和用于装载砂料的料箱(20),其特征在于:所述炉体(10)内设有预热室(110)、改性室(120)和冷却室(130),所述预热室(110)、改性室(120)和冷却室(130)均能够抽真空,所述预热室(110)和改性室(120)、冷却室(130)均设有加热元件,所述改性室(120)和冷却室(130)均可注入氮气;

2.根据权利要求1所述的一种高纯砂改性提纯设备,其特征在于:若干个所述水平管路(210)和若干个竖向管路(220)均采用石英玻璃管。

3.根据权利要求1所述的一种高纯砂改性提纯设备,其特征在于:所述加热元件采用宽幅状高温钼镧合金带,所述加热元件沿改性室(120)和预热室(110)内壁四周均匀分布。

4.根据权利要求1所述的一种高纯砂改性提纯设备,其特征在于:所述改性室(120)、预热室(110)和冷却室(130)框架为不锈钢板制成,外层蒙皮厚度为2.0mm;4层(40mm)碳毡、2层(20mm)硬复合碳毡组成的方形结构,碳毡及复合碳毡通过钼销钉,钼垫片固定在预热室(110)和改性室(120)框架上,形成隔热层。

5.根据权利要求1所述的一种高纯砂改性提纯设备,其特征在于:所述预热室(110)和冷却室(130)内均可移动设置有可升降托盘运输车(30),所述改性室(120)的内部设置两个料架(40),两个所述料架(40)的间距小于料箱(20)的宽度值,大于可升降托盘运输车(30)的宽度值。

6.一种高纯砂改性提纯工艺,其特征在于:包括以下步骤:

7.根据权利要求6所述的一种高纯砂改性提纯工艺,其特征在于:所述预加热包括以下步骤:

8.根据权利要求6所述的一种高纯砂改性提纯工艺,其特征在于:所述改性包括以下步骤:

9.根据权利要求6所述的一种高纯砂改性提纯工艺,其特征在于:所述冷却包括以下步骤:

10.根据权利要求6所述的一种高纯砂改性提纯工艺,其特征在于:所述还原包括以下步骤:

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【技术特征摘要】

1.一种高纯砂改性提纯设备,包括炉体(10)和用于装载砂料的料箱(20),其特征在于:所述炉体(10)内设有预热室(110)、改性室(120)和冷却室(130),所述预热室(110)、改性室(120)和冷却室(130)均能够抽真空,所述预热室(110)和改性室(120)、冷却室(130)均设有加热元件,所述改性室(120)和冷却室(130)均可注入氮气;

2.根据权利要求1所述的一种高纯砂改性提纯设备,其特征在于:若干个所述水平管路(210)和若干个竖向管路(220)均采用石英玻璃管。

3.根据权利要求1所述的一种高纯砂改性提纯设备,其特征在于:所述加热元件采用宽幅状高温钼镧合金带,所述加热元件沿改性室(120)和预热室(110)内壁四周均匀分布。

4.根据权利要求1所述的一种高纯砂改性提纯设备,其特征在于:所述改性室(120)、预热室(110)和冷却室(130)框架为不锈钢板制成,外层蒙皮厚度为2.0mm;4层(40mm)碳毡、2...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵明洋赵明亮潘玉满赵政赵安琪
申请(专利权)人:苏州晶固新材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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