【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及单晶炉领域，具体地说是一种固持机构、拆装装置、单晶炉及移动式拆装设备。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体环境中，其用石墨坩埚将多晶硅等多晶材料熔化用直拉法生长无错位单晶的设备。
2、为了对坩埚内的硅液进行保温，坩埚与单晶炉炉壁间一般设置有环形的单晶炉保温层。保温层经过长时间使用后，需要进行更换。除此之外，在对单晶炉的内部结构实施维护时，需要将单晶炉炉盖从单晶炉炉壁上移除后，再将单晶炉炉壁从底座上拆除。
3、常规的拆装装置一般采用夹爪件夹持住待拆装对象以实施对待拆装对象的拆装，随着单晶炉保温层、单晶炉炉盖或炉壁的尺寸及重量的逐渐增大，人工作业已经难以完成对上述各单晶炉部件的拆装，从而影响了对单晶炉部件的拆装效率。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种固持机构，其详细技术方案如下：
2、一种固持机构，包括安装支架、齿盘、齿盘驱动机构、n个齿轮、n个滑轨及n个固持组件，其中：
3、齿盘安装在安装支架上且与齿盘驱动机构的驱动端传动连接，齿盘驱动机构用于驱动齿盘相对于安装支架旋转；
4、各齿轮均安装在安装支架上且均与齿盘啮合；
5、滑轨与齿轮一一对应设置，各个滑轨均安装在安装支架上并被配置为能够在安装支架上滑动，每个滑轨上均设有与对应的齿轮啮合的齿条；
6、固持组件与滑轨一一对应设置，每个固持组件均安装在与固持组件对应的滑轨的端部；
7、齿盘旋转时经各个齿
8、n为≥2的整数。
9、本专利技术的固持机构，其通过齿盘、齿轮及滑轨构成的传动机构来驱动多个固持组件向中间靠拢或向四周分开，以实施对目标物体的固持，其提升了对目标物体的固持稳定度。本专利技术的固持机构适合于实施对单晶炉保温层、单晶炉炉盖或单晶炉炉壁的固持。
10、在一些实施例中，安装支架上设置有n个与n个滑轨一一对应的滑槽，滑轨滑动安装在对应的滑槽内。
11、通过在安装支架上设置滑槽，实现了滑轨与滑槽的稳定装配，防止滑轨从滑槽中脱落。
12、在一些实施例中，滑槽为燕尾型滑槽，滑轨为与燕尾型滑槽匹配的燕尾型滑轨。
13、通过将滑槽、滑轨设置成相互匹配的燕尾型结构，既能节省安装空间，又能提供较大的承载支撑，提高拆装的安全性。
14、在一些实施例中，固持机构还包括轴承座及轴承，其中，轴承座固定连接在安装支架上，轴承套设在轴承座上，齿盘套设在轴承上。
15、通过将齿盘安装在轴承上，使得齿盘驱动机构能够驱动齿盘相对于安装支架旋转，保证齿盘旋转的顺滑度与稳定性。
16、在一些实施例中，n取值为3，其中，3个齿轮按正三角形均匀分布在安装支架上，3个滑轨的延长线相交于齿盘的中心，相邻两个滑轨之间的夹角为120°。
17、通过将齿轮及滑轨设置为3个，并对齿轮及滑轨的设置位置进行选择，一方面能够保证对目标物体的固持效果，一方面能够降低设备成本。
18、在一些实施例中，固持组件包括安装部和固持部，其中，安装部的上端固定连接在对应的滑轨上，固持部安装在安装部上。
19、通过对固持组件进行设置，即实现了固持组件与滑轨的固定连接，且实现了固持组件对目标物体的固持。
20、在一些实施例中，固持部为固持板，固持板的内侧表面为固持面，n个固持板向中间靠拢时夹紧位于n个固持板内侧的目标物体；和/或固持板的外侧表面为固持面，n个固持板向四周分开时撑紧位于n个固持板外侧的目标物体。
21、提供了一种固持部的具体实现方式，其通过固持板从外侧实施对目标物体的夹紧或从内侧实施对目标物体的撑紧，从而实施对目标物的固持。
22、在一些实施例中，固持面为弧形曲面，固持面上敷设有缓冲层。
23、通过将固持面设置为弧形曲面，能够保证固持部与目标物体之间的贴合度，增大二者之间的接触面积，从而进一步提升固持稳定度。而通过在固持面上敷设有缓冲层，则实现了对目标物体的保护。
24、在一些实施例中，固持部为滚筒夹爪，滚筒夹爪套设于安装部上且能绕安装部转动，滚筒夹爪的周壁上设有防滑结构。
25、提供了一种固持部的具体实现方式，其通过滚筒夹爪实施对目标物体的固持，固持过程中滚筒夹爪能够在目标物体表面滚动，从而方便实施对滚筒夹爪的固持位置的调节。通过在滚筒夹爪的周壁上设有防滑结构，增加了滚筒夹爪与目标物体之间的摩擦力，进一步提升固持稳定性。
26、在一些实施例中，固持部的底部设置有延伸出固持部的支撑部，支撑部相对于固持部可旋转调节，支撑部用于从下方支撑目标物体。
27、通过设置支撑部，实现了对被固持住的目标物体的支撑，防止目标物体在拆装过程中滑落；此外，当目标物体为稍软的结构时，也不容易导致目标物体发生变形。
28、在一些实施例中，固持部可升降调节地安装在安装部上。
29、通过将固持部可升降调节地安装在安装部，实现了对固持部的安装位置的灵活调节，从而使得固持部能够从不同高度处实施对目标物体的固持。
30、在一些实施例中，齿盘驱动机构包括驱动电机、主动链轮、传动链、从动链轮及驱动齿轮，其中：主动链轮连接在驱动电机的驱动轴上；从动链轮经传动链与主动链轮传动连接；驱动齿轮同轴连接在从动链轮上并与齿盘啮合。
31、提供了一种结构简单、驱动稳定的齿盘驱动机构，其实现了对齿盘的稳定驱动。
32、本专利技术还提供了一种拆装装置，其包括移动机构及上述任一项所述的固持机构，其中：固持机构连接在移动机构的活动部件上，移动机构用于驱动固持机构移动，使得固持机构固持住目标物体，并实施对目标物体的拆装。
33、通过移动机构和固持机构的配合，本专利技术提供的拆装装置实现了对目标物体的自动拆装。
34、在一些实施例中，移动机构包括旋转驱动机构及机械臂，其中，机械臂的一端连接在旋转驱动机构的驱动端上，机械臂的另一端连接固持机构；旋转驱动机构用于驱动固持机构在水平面上旋转，机械臂用于驱动固持机构在竖直面上旋转。
35、通过旋转驱动机构和机械臂的配合驱动，固持机构实现了在水平面和竖直面上的全方位位置调节。
36、在一些实施例中，机械臂包括第一连接臂、第一旋转组件、第二连接臂、第二旋转组件、第三连接臂及第三旋转组件，其中：第一连接臂的第一端连接在旋转驱动机构的驱动端上；第一旋转组件设置在第一连接臂的第二端上，第二连接臂的第一端转动连接在第一连接臂的第二端上并与第一旋转组件的驱动端连接，第一旋转组件用于驱动第二连接臂绕第一连接臂的第二端转动；第二旋转组件设置在第二连接臂的第二端上，第三连接臂的第一端转动连接在第二连接臂的第二端上并与第二旋转组件的驱动端连接，第二旋转组件用于驱动第三连接臂绕第二连接臂的第二端转动；第三旋转组件设置在第三连接臂本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种固持机构，其特征在于，所述固持机构包括安装支架、齿盘、齿盘驱动机构、N个齿轮、N个滑轨及N个固持组件，其中：
2.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，所述安装支架上设置有N个与N个所述滑轨一一对应的滑槽，所述滑轨滑动安装在对应的所述滑槽内。
3.如权利要求2所述的固持机构，其特征在于，所述滑槽为燕尾型滑槽，所述滑轨为与所述燕尾型滑槽匹配的燕尾型滑轨。
4.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，所述固持机构还包括轴承座及轴承，其中，所述轴承座固定连接在所述安装支架上，所述轴承套设在所述轴承座上，所述齿盘套设在所述轴承上。
5.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，N取值为3，其中，3个所述齿轮按正三角形均匀分布在所述安装支架上，3个所述滑轨的延长线相交于所述齿盘的中心，相邻两个所述滑轨之间的夹角为120°。
6.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，所述固持组件包括安装部和固持部，其中，所述安装部的上端固定连接在对应的所述滑轨上，所述固持部安装在所述安装部上。
7.如权利要求6所述的固持机构，
8.如权利要求7所述的固持机构，其特征在于，所述固持面为弧形曲面，所述固持面上敷设有缓冲层。
9.如权利要求6所述的固持机构，其特征在于，所述固持部为滚筒夹爪，所述滚筒夹爪套设于所述安装部上且能绕所述安装部转动，所述滚动夹爪的周壁上设有防滑结构。
10.如权利要求6所述的固持机构，其特征在于，所述固持部的底部设置有延伸出所述固持部的支撑部，所述支撑部相对于所述固持部可旋转调节，所述支撑部用于从下方支撑目标物体。
11.如权利要求6所述的固持机构，其特征在于，所述固持部可升降调节地安装在所述安装部上。
12.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，所述齿盘驱动机构包括驱动电机、主动链轮、传动链、从动链轮及驱动齿轮，其中：
13.一种拆装装置，其特征在于，所述拆装装置拆装包括移动机构及权利要求1至12任一项所述的固持机构，其中：
14.如权利要求13所述的拆装装置，其特征在于，所述移动机构包括旋转驱动机构及机械臂，其中，
15.如权利要求14所述的拆装装置拆装，其特征在于，所述机械臂包括第一连接臂、第一旋转组件、第二连接臂、第二旋转组件、第三连接臂及第三旋转组件，其中：
16.一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括炉体及设置在所述炉体边侧的立柱，所述立柱上安装有如权利要求13至15任一项所述的拆装装置。
17.一种移动式拆装设备，其特征在于，所述移动式拆装设备包括行走机构及安装在所述行走机构上的如权利要求13至15任一项所述的拆装装置拆装；所述行走机构为AGV小车、地轨小车或龙门架。
18.一种固定式拆装设备，其特征在于，所述固定式拆装设备包括安装机构及如权利要求13至15任一项所述的拆装装置，所述拆装装置经所述安装机构可拆卸地安装在单晶炉边侧的地面上。
...【技术特征摘要】
1.一种固持机构，其特征在于，所述固持机构包括安装支架、齿盘、齿盘驱动机构、n个齿轮、n个滑轨及n个固持组件，其中：
2.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，所述安装支架上设置有n个与n个所述滑轨一一对应的滑槽，所述滑轨滑动安装在对应的所述滑槽内。
3.如权利要求2所述的固持机构，其特征在于，所述滑槽为燕尾型滑槽，所述滑轨为与所述燕尾型滑槽匹配的燕尾型滑轨。
4.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，所述固持机构还包括轴承座及轴承，其中，所述轴承座固定连接在所述安装支架上，所述轴承套设在所述轴承座上，所述齿盘套设在所述轴承上。
5.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，n取值为3，其中，3个所述齿轮按正三角形均匀分布在所述安装支架上，3个所述滑轨的延长线相交于所述齿盘的中心，相邻两个所述滑轨之间的夹角为120°。
6.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，所述固持组件包括安装部和固持部，其中，所述安装部的上端固定连接在对应的所述滑轨上，所述固持部安装在所述安装部上。
7.如权利要求6所述的固持机构，其特征在于，所述固持部为固持板，所述固持板的内侧表面为固持面，n个所述固持板向中间靠拢时夹紧位于n个所述固持板内侧的目标物体；和/或
8.如权利要求7所述的固持机构，其特征在于，所述固持面为弧形曲面，所述固持面上敷设有缓冲层。
9.如权利要求6所述的固持机构，其特征在于，所述固持部为滚筒夹爪，所述滚筒夹爪套设于所述安装部上且能绕所述安装部转动，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄剑雄，倪晋杰，顾彬彬，周旺超，
申请(专利权)人：无锡松瓷机电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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