【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及单晶炉领域,具体地说是一种固持机构、拆装装置、单晶炉及移动式拆装设备。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体环境中,其用石墨坩埚将多晶硅等多晶材料熔化用直拉法生长无错位单晶的设备。
2、为了对坩埚内的硅液进行保温,坩埚与单晶炉炉壁间一般设置有环形的单晶炉保温层。保温层经过长时间使用后,需要进行更换。除此之外,在对单晶炉的内部结构实施维护时,需要将单晶炉炉盖从单晶炉炉壁上移除后,再将单晶炉炉壁从底座上拆除。
3、常规的拆装装置一般采用夹爪件夹持住待拆装对象以实施对待拆装对象的拆装,随着单晶炉保温层、单晶炉炉盖或炉壁的尺寸及重量的逐渐增大,人工作业已经难以完成对上述各单晶炉部件的拆装,从而影响了对单晶炉部件的拆装效率。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题,本专利技术提供了一种固持机构,其详细技术方案如下:
2、一种固持机构,包括安装支架、齿盘、齿盘驱动机构、n个齿轮、n个滑轨及n个固持组件,其中:
3、齿盘安装在安装支架上且与齿
...【技术保护点】
1.一种固持机构,其特征在于,所述固持机构包括安装支架、齿盘、齿盘驱动机构、N个齿轮、N个滑轨及N个固持组件,其中:
2.如权利要求1所述的固持机构,其特征在于,所述安装支架上设置有N个与N个所述滑轨一一对应的滑槽,所述滑轨滑动安装在对应的所述滑槽内。
3.如权利要求2所述的固持机构,其特征在于,所述滑槽为燕尾型滑槽,所述滑轨为与所述燕尾型滑槽匹配的燕尾型滑轨。
4.如权利要求1所述的固持机构,其特征在于,所述固持机构还包括轴承座及轴承,其中,所述轴承座固定连接在所述安装支架上,所述轴承套设在所述轴承座上,所述齿盘套设在所述轴承上。
5.如...
【技术特征摘要】
1.一种固持机构,其特征在于,所述固持机构包括安装支架、齿盘、齿盘驱动机构、n个齿轮、n个滑轨及n个固持组件,其中:
2.如权利要求1所述的固持机构,其特征在于,所述安装支架上设置有n个与n个所述滑轨一一对应的滑槽,所述滑轨滑动安装在对应的所述滑槽内。
3.如权利要求2所述的固持机构,其特征在于,所述滑槽为燕尾型滑槽,所述滑轨为与所述燕尾型滑槽匹配的燕尾型滑轨。
4.如权利要求1所述的固持机构,其特征在于,所述固持机构还包括轴承座及轴承,其中,所述轴承座固定连接在所述安装支架上,所述轴承套设在所述轴承座上,所述齿盘套设在所述轴承上。
5.如权利要求1所述的固持机构,其特征在于,n取值为3,其中,3个所述齿轮按正三角形均匀分布在所述安装支架上,3个所述滑轨的延长线相交于所述齿盘的中心,相邻两个所述滑轨之间的夹角为120°。
6.如权利要求1所述的固持机构,其特征在于,所述固持组件包括安装部和固持部,其中,所述安装部的上端固定连接在对应的所述滑轨上,所述固持部安装在所述安装部上。
7.如权利要求6所述的固持机构,其特征在于,所述固持部为固持板,所述固持板的内侧表面为固持面,n个所述固持板向中间靠拢时夹紧位于n个所述固持板内侧的目标物体;和/或
8.如权利要求7所述的固持机构,其特征在于,所述固持面为弧形曲面,所述固持面上敷设有缓冲层。
9.如权利要求6所述的固持机构,其特征在于,所述固持部为滚筒夹爪,所述滚筒夹爪套设于所述安装部上且能绕所述安装部转动,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄剑雄,倪晋杰,顾彬彬,周旺超,
申请(专利权)人:无锡松瓷机电有限公司,
类型:发明
国别省市:
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