下载固持机构、拆装装置、单晶炉、移动式及固定式拆装设备的技术资料

文档序号:40416176

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本发明提供了一种固持机构、拆装装置、单晶炉及移动式拆装设备,固持机构包括安装支架、齿盘、齿盘驱动机构、N个齿轮、N个滑轨及N个固持组件,其中:齿盘安装在安装支架上,齿盘驱动机构驱动齿盘相对于安装支架旋转;各齿轮均安装在安装支架上且与齿盘啮合...
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