一种多晶硅尾气热量的回收装置、回收系统制造方法及图纸

技术编号:40409328 阅读:4 留言:0更新日期:2024-02-20 22:29
本申请提供了一种多晶硅尾气热量的回收装置、回收系统,涉及多晶硅生产设备领域,多晶硅尾气热量的回收装置包括换热件、压缩件与冷凝组件,所述换热件连接氢气输出端与氢气还原端,所述压缩件连接尾气输出端与所述换热件,以将所述尾气输出端输出的尾气加热压缩后输送至所述换热件中进行换热冷却,所述冷凝组件包括:第一冷凝件与第二冷凝件,所述第一冷凝件与所述换热件连接,以将所述换热件中输出的尾气输送至所述第一冷凝件中进行换热冷却,所述第二冷凝件与所述第一冷凝件连接,以将所述第一冷凝件中输出的尾气输送至所述第二冷凝件中进行换热冷却,将尾气进行气气换热后再进行冷凝换热,能更充分利用尾气中的热量,减少了能源的浪费。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及多晶硅生产设备领域,尤其涉及一种多晶硅尾气热量的回收装置、回收系统


技术介绍

1、光伏发电是指利用太阳能辐射直接转变成电能的发电方式,光伏发电因本身不消耗燃料、不排放包括温室气体和其他废气在内的任何物质、不污染空气、不产生噪声,具有绿色环保的优点。多晶硅是太阳能光伏产业的基础材料,其是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅,为了提高原料利用率和环境友好,在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法,该工艺将工业硅粉与hcl反应,加工成sihcl3,再让sihcl3在h2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅。还原炉排出的尾气h2、sihcl3、sicl4、sih2cl2和hcl经过分离后再循环利用。改良西门子法主要生产电子级晶体硅,也可以生产太阳能级多晶硅。

2、在多晶硅的生产过程中,其尾气直接排入循环水中进行冷却,尾气中的热量未得到充分利用,造成了能源的浪费。


技术实现思路

1、为克服现有技术中的不足,本申请提供一种多晶硅尾气热量的回收装置、回收系统。

2、第一方面,本申请提供的一种多晶硅尾气热量的回收装置,包括:换热件、压缩件与冷凝组件,所述换热件连接氢气输出端与氢气还原端,所述压缩件连接尾气输出端与所述换热件,以将所述尾气输出端输出的尾气加热压缩后输送至所述换热件中进行换热冷却,所述冷凝组件包括:第一冷凝件与第二冷凝件,所述第一冷凝件与所述换热件连接,以将所述换热件中输出的尾气输送至所述第一冷凝件中进行换热冷却,所述第二冷凝件与所述第一冷凝件连接,以将所述第一冷凝件中输出的尾气输送至所述第二冷凝件中进行换热冷却。

3、结合第一方面,在一种可能的实施方式中,所述压缩件上设置有第一入料端与第一出料端,所述第一入料端与所述尾气输出端连接,所述第一出料端与所述换热件连接,所述尾气输出端中的尾气的温度为20℃,压力为0.44mpa。

4、结合第一方面,在一种可能的实施方式中,所述压缩件与所述换热件之间设置有第一缓冲件,所述第一缓冲件连接所述第一出料端与所述换热件。

5、结合第一方面,在一种可能的实施方式中,所述第一入料端与所述尾气输出端之间设置有第二缓冲件,所述第二缓冲件连接所述尾气输出端与所述第一入料端。

6、结合第一方面,在一种可能的实施方式中,所述换热件上设置有第二入料端与第二出料端,所述第二入料端与所述第一缓冲件连接,所述第二出料端与所述第一冷凝件连接。

7、结合第一方面,在一种可能的实施方式中,第二入料端上设置有第一流量监测件,所述第二入料端中尾气的温度为132℃,压力为1.3mpa,所述第二出料端中尾气的温度为57℃,压力为1.2mpa。

8、结合第一方面,在一种可能的实施方式中,所述第一缓冲件与所述第二入料端之间设置有阀门,所述阀门连接所述第一缓冲件与所述第二入料端。

9、结合第一方面,在一种可能的实施方式中,所述冷凝组件还包括:换热器,所述换热器与所述第二冷凝件连接,以将所述第二冷凝件中输出的尾气输送至所述换热器中进行换热冷却。

10、结合第一方面,在一种可能的实施方式中,所述氢气输出端上设置有第二流量监测件,所述氢气输出端中的氢气的温度为25℃,压力为1.2mpa,所述氢气还原端中的氢气的温度为110℃,压力为1.2mpa。

11、第二方面,本申请提供的一种多晶硅尾气热量的回收系统,包括上述的所述多晶硅尾气热量的回收装置。

12、相比现有技术,本申请的有益效果:

13、本申请提供的多晶硅尾气热量的回收装置,所述压缩件连接尾气输出端与所述换热件,所述换热件连接氢气输出端与氢气还原端,所述尾气输出端输出的尾气通过所述压缩件加热压缩后输送至所述换热件中,以与所述换热件中的氢气进行换热,从而使得氢气的温度升高,能为氢气的还原工序进行预热处理,所述换热件中输出的尾气能输送至所述第一冷凝件中进行换热冷却,所述第一冷凝件中输出的尾气能输送至所述第二冷凝件中进行换热冷却,相比于将尾气直接排入循环水中进行冷却以回收尾气的热量,将尾气进行气气换热后再进行冷凝换热,能更充分利用尾气中的热量,减少了能源的浪费。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,所述压缩件上设置有第一入料端与第一出料端,所述第一入料端与所述尾气输出端连接,所述第一出料端与所述换热件连接,所述尾气输出端中的尾气的温度为20℃,压力为0.44Mpa。

3.根据权利要求2所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,所述压缩件与所述换热件之间设置有第一缓冲件,所述第一缓冲件连接所述第一出料端与所述换热件。

4.根据权利要求2所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,所述第一入料端与所述尾气输出端之间设置有第二缓冲件,所述第二缓冲件连接所述尾气输出端与所述第一入料端。

5.根据权利要求3所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,所述换热件上设置有第二入料端与第二出料端,所述第二入料端与所述第一缓冲件连接,所述第二出料端与所述第一冷凝件连接。

6.根据权利要求5所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,第二入料端上设置有第一流量监测件,所述第二入料端中尾气的温度为132℃,压力为1.3Mpa,所述第二出料端中尾气的温度为57℃,压力为1.2Mpa。

7.根据权利要求5所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,所述第一缓冲件与所述第二入料端之间设置有阀门,所述阀门连接所述第一缓冲件与所述第二入料端。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,所述冷凝组件还包括:换热器,所述换热器与所述第二冷凝件连接,以将所述第二冷凝件中输出的尾气输送至所述换热器中进行换热冷却。

9.根据权利要求1-7中任意一项所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,所述氢气输出端上设置有第二流量监测件,所述氢气输出端中的氢气的温度为25℃,压力为1.2Mpa,所述氢气还原端中的氢气的温度为110℃,压力为1.2Mpa。

10.一种多晶硅尾气热量的回收系统,其特征在于,包括权利要求1-9中任意一项所述的多晶硅尾气热量的回收装置。

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【技术特征摘要】

1.一种多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,所述压缩件上设置有第一入料端与第一出料端,所述第一入料端与所述尾气输出端连接,所述第一出料端与所述换热件连接,所述尾气输出端中的尾气的温度为20℃,压力为0.44mpa。

3.根据权利要求2所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,所述压缩件与所述换热件之间设置有第一缓冲件,所述第一缓冲件连接所述第一出料端与所述换热件。

4.根据权利要求2所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,所述第一入料端与所述尾气输出端之间设置有第二缓冲件,所述第二缓冲件连接所述尾气输出端与所述第一入料端。

5.根据权利要求3所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征在于,所述换热件上设置有第二入料端与第二出料端,所述第二入料端与所述第一缓冲件连接,所述第二出料端与所述第一冷凝件连接。

6.根据权利要求5所述的多晶硅尾气热量的回收装置,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:康斌郭可可王永斌周辉山宋伟斌李殿喜
申请(专利权)人:甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司
类型:新型
国别省市:

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