【技术实现步骤摘要】
本申请涉及多晶硅生产，尤其涉及一种多晶硅还原尾气的热量回收装置、回收系统。
技术介绍
1、多晶硅是单质硅的一种形态，其在常温下不活泼，在高温下与氧、氮、硫等反应，且多晶硅在高温熔融状态下，具有较大的化学活泼性，能与几乎任何材料作用。多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池等的关键材料。随着电子信息产业和太阳能光伏产业的快速发展，市场对多晶硅的需求也在不断增加。
2、在多晶硅的制备过程中，会产生大量的尾气，而来自还原工序中的尾气含有大量热量，其在热量回收过程中需要耗费大量的换热资源。
技术实现思路
1、为克服现有技术中的不足，本申请提供一种多晶硅还原尾气的热量回收装置、回收系统。
2、第一方面，本申请提供的一种多晶硅还原尾气的热量回收装置，包括：收集件、第一换热件、第二换热件与压缩件，所述第一换热件的第一接口与所述收集件连接，以使所述第一换热件中的第一冷凝液输入所述收集件中，所述第二换热件连接所述第一换热件与所述收集件，以使所述第二换热件中的第二冷凝液输入所述收集件中，所述收集件与所述第一换热件的第二接口连接，以使所述第一冷凝液与所述第二冷凝液输入所述第一换热件中，所述压缩件连接还原尾气输出端与所述第一换热件，以使所述还原尾气输出端中的尾气通过所述第一换热件和/或所述第二换热件排出。
3、结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述第一换热件与所述第二换热件之间设置有冷凝件，所述冷凝件连接所述第一换热件与所述第二换热件，以使所述冷凝件中的尾气通过所述第二
4、结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述第一换热件上设置有第三接口，所述第三接口位于所述第一换热件远离所述第二接口的一端，且所述第三接口与第一用气端连接，所述第三接口上设置有第一阀门。
5、结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述多晶硅还原尾气的热量回收装置还包括：控制件，所述控制件与所述第一阀门连接，且所述控制件用于控制所述第一阀门的开度。
6、结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述第一用气端上设置有第一流量传感件，所述第一流量传感件与所述控制件连接。
7、结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述收集件与所述第二接口之间设置有输送件，所述输送件连接所述收集件与所述第二接口，以用于将所述第一冷凝液与所述第二冷凝液输入所述第一换热件中。
8、结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述第二换热件与第二用气端连接，且所述第二用气端上设置有温度检测件。
9、结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述压缩件与所述第一换热件之间设置有第一缓冲件，所述第一缓冲件连接所述压缩件与所述第一换热件。
10、结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述还原尾气输出端与所述压缩件之间设置有第二缓冲件，所述第二缓冲件连接所述还原尾气输出端与所述压缩件。
11、第二方面，本申请提供的一种多晶硅还原尾气的回收系统，包括上述的所述多晶硅还原尾气的热量回收装置。
12、相比现有技术，本申请的有益效果：
13、本申请提供的多晶硅还原尾气的热量回收装置，包括：收集件、第一换热件、第二换热件与压缩件，所述收集件能集中收集所述第一换热件中的所述第一冷凝液与所述第二换热件中的所述第二冷凝液，且所述第一冷凝液与所述第二冷凝液能输入所述第一换热件中，以能为所述第一换热件提供换热用的冷凝液，提高了换热资源的重复利用率，另外，所述还原尾气输出端中的尾气能通过所述第一换热件和/或所述第二换热件排出，以能对不同换热级别的尾气进行分流，提高了尾气的换热效率，有利于减少换热资源的用量。
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1.一种多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第一换热件与所述第二换热件之间设置有冷凝件，所述冷凝件连接所述第一换热件与所述第二换热件，以使所述冷凝件中的尾气通过所述第二换热件排出。
3.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第一换热件上设置有第三接口，所述第三接口位于所述第一换热件远离所述第二接口的一端，且所述第三接口与第一用气端连接，所述第三接口上设置有第一阀门。
4.根据权利要求3所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述多晶硅还原尾气的热量回收装置还包括：
5.根据权利要求4所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第一用气端上设置有第一流量传感件，所述第一流量传感件与所述控制件连接。
6.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述收集件与所述第二接口之间设置有输送件，所述输送件连接所述收集件与所述第二接口，以用于将所述第一冷凝液与所述第二冷凝液输入所述第一换热
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第二换热件与第二用气端连接，且所述第二用气端上设置有温度检测件。
8.根据权利要求1-6中任意一项所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述压缩件与所述第一换热件之间设置有第一缓冲件，所述第一缓冲件连接所述压缩件与所述第一换热件。
9.根据权利要求1-6中任意一项所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述还原尾气输出端与所述压缩件之间设置有第二缓冲件，所述第二缓冲件连接所述还原尾气输出端与所述压缩件。
10.一种多晶硅还原尾气的回收系统，其特征在于，包括权利要求1-9中任意一项所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置。
...【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第一换热件与所述第二换热件之间设置有冷凝件，所述冷凝件连接所述第一换热件与所述第二换热件，以使所述冷凝件中的尾气通过所述第二换热件排出。
3.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第一换热件上设置有第三接口，所述第三接口位于所述第一换热件远离所述第二接口的一端，且所述第三接口与第一用气端连接，所述第三接口上设置有第一阀门。
4.根据权利要求3所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述多晶硅还原尾气的热量回收装置还包括：
5.根据权利要求4所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第一用气端上设置有第一流量传感件，所述第一流量传感件与所述控制件连接。
6.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量...
【专利技术属性】
技术研发人员：康斌，张明，李殿喜，何洪伦，
申请(专利权)人：甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司，
类型：新型
国别省市：
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