【技术实现步骤摘要】
本申请涉及多晶硅生产，尤其涉及一种多晶硅还原尾气的热量回收装置、回收系统。
技术介绍
1、多晶硅是单质硅的一种形态，其在常温下不活泼，在高温下与氧、氮、硫等反应，且多晶硅在高温熔融状态下，具有较大的化学活泼性，能与几乎任何材料作用。多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池等的关键材料。随着电子信息产业和太阳能光伏产业的快速发展，市场对多晶硅的需求也在不断增加。
2、在多晶硅的制备过程中，会产生大量的尾气，而来自还原工序中的尾气含有大量热量，其在热量回收过程中需要耗费大量的换热资源。
技术实现思路
1、为克服现有技术中的不足，本申请提供一种多晶硅还原尾气的热量回收装置、回收系统。
2、第一方面，本申请提供的一种多晶硅还原尾气的热量回收装置，包括：收集件、第一换热件、第二换热件与压缩件，所述第一换热件的第一接口与所述收集件连接，以使所述第一换热件中的第一冷凝液输入所述收集件中，所述第二换热件连接所述第一换热件与所述收集件，以使所述第二换热件中的第二冷凝液输入所述收集件中，所...
【技术保护点】
1.一种多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第一换热件与所述第二换热件之间设置有冷凝件，所述冷凝件连接所述第一换热件与所述第二换热件，以使所述冷凝件中的尾气通过所述第二换热件排出。
3.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第一换热件上设置有第三接口，所述第三接口位于所述第一换热件远离所述第二接口的一端，且所述第三接口与第一用气端连接，所述第三接口上设置有第一阀门。
4.根据权利要求3所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其...
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第一换热件与所述第二换热件之间设置有冷凝件，所述冷凝件连接所述第一换热件与所述第二换热件，以使所述冷凝件中的尾气通过所述第二换热件排出。
3.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第一换热件上设置有第三接口，所述第三接口位于所述第一换热件远离所述第二接口的一端，且所述第三接口与第一用气端连接，所述第三接口上设置有第一阀门。
4.根据权利要求3所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述多晶硅还原尾气的热量回收装置还包括：
5.根据权利要求4所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置，其特征在于，所述第一用气端上设置有第一流量传感件，所述第一流量传感件与所述控制件连接。
6.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量...
【专利技术属性】
技术研发人员：康斌，张明，李殿喜，何洪伦，
申请(专利权)人：甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。