下载一种多晶硅还原尾气的热量回收装置、回收系统的技术资料

文档序号:40409246

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本申请提供了一种多晶硅还原尾气的热量回收装置、回收系统,涉及多晶硅生产技术领域,多晶硅还原尾气的热量回收装置包括收集件、第一换热件、第二换热件与压缩件,所述第一换热件的第一接口与所述收集件连接,以使第一冷凝液输入所述收集件中,所述第二换热件...
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