【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种自动接液器，其特征在于，包括接液杯、导液管、机械臂和控制装置；所述导液管与所述接液杯的底部密封连接，所述机械臂的一端设置有机械臂手，所述机械壁手支撑所述接液杯，所述机械臂的另一端与所述控制装置电性相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：丁士成，沈忆华，袁馨，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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