【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆上下料，尤其是涉及一种晶圆上下料载台装置。
技术介绍
1、晶圆是指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。晶圆加工制造出来后，如果需要对晶圆进行处理的话，通常需要将晶圆放置于载具内进行转运，从而实现批量上下料。然而现有技术中用于放置晶圆的载具，只能放置单一型号的晶圆料盒，而且在晶圆载具外部也没有设置保护结构，导致晶圆在上下料过程中容易受到外部环境损伤。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆上下料载台装置，不仅能够兼容适配多种型号的晶圆料盒，而且能够保护晶圆料盒内的晶圆在上下料过程中不受外界因素损坏。
2、本专利技术提供一种晶圆上下料载台装置，包括可开闭的上料料盒保护罩体、可开闭的下料料盒保护罩体和钣金连接件，所述上料料盒保护罩体和所述下料料盒保护罩体分别安装在所述钣金连接件上；在所述上料料盒保护罩体内安装有上料料盒载台，所述上料料盒载台上可拆卸的安装有上料料盒；在所述下料料盒保护罩体内安装有下料料盒载台，所述下料料盒载台上可拆卸的安装有下料料盒；在所述上料料盒载台和所述下料料盒载台上均设有适配多种型号晶圆料盒的晶圆料盒安装组件。
3、根据本专利技术提供的一种晶圆上下料载台装置，所述上料料盒载台和所述下料料盒载台的结构相同；
4、其中，所述下料料盒载台包括载台支撑，在所述载台支撑上设有料盒安放底板，在所述料盒安放底板上设有所述晶圆料盒安装组件，所述晶圆料盒安装组件包括
5、根据本专利技术提供的一种晶圆上下料载台装置，所述4寸晶圆料盒安装组件包括4寸晶圆料盒左定位块、4寸晶圆料盒右定位块和4寸晶圆料盒前定位块，所述4寸晶圆料盒左定位块与所述4寸晶圆料盒右定位块相互平行，所述4寸晶圆料盒前定位块垂直设置在所述4寸晶圆料盒左定位块和所述4寸晶圆料盒右定位块的前方；
6、所述6寸晶圆料盒安装组件包括6寸晶圆料盒左定位块、6寸晶圆料盒右定位块和6寸晶圆料盒前定位块，所述6寸晶圆料盒左定位块与所述6寸晶圆料盒右定位块相互平行，所述6寸晶圆料盒前定位块垂直设置在所述6寸晶圆料盒左定位块和所述6寸晶圆料盒右定位块的前方；
7、所述8寸晶圆料盒安装组件包括8寸晶圆料盒左定位块、8寸晶圆料盒右定位块和8寸晶圆料盒前定位块，所述8寸晶圆料盒左定位块与所述8寸晶圆料盒右定位块相互平行，所述8寸晶圆料盒前定位块垂直设置在所述8寸晶圆料盒左定位块和所述8寸晶圆料盒右定位块的前方。
8、根据本专利技术提供的一种晶圆上下料载台装置，所述载台支撑包括载台支撑前板、载台支撑后板和连接板，所述载台支撑前板和所述载台支撑后板从前至后间隔设置，所述连接板固定连接在所述载台支撑前板与所述载台支撑后板之间，所述载台支撑前板的上端和所述载台支撑后板的上端分别与所述料盒安放底板的下表面连接固定；在所述载台支撑前板的前侧底部还连接有载台底座限位块；
9、在所述料盒安放底板的上表面后端固定连接有料盒挡框，在所述料盒挡框的左右两端与料盒安放底板之间分别固定连接有支撑件；在所述料盒挡框上安装有晶圆滑片传感器。
10、根据本专利技术提供的一种晶圆上下料载台装置，所述上料料盒保护罩体和所述下料料盒保护罩体的结构相同；
11、其中，所述下料料盒保护罩体包括罩座和翻转盖，所述翻转盖与所述罩座之间铰接，以使所述翻转盖与所述罩座之间能够围合形成安装腔室；所述下料料盒载台安装于所述罩座中。
12、根据本专利技术提供的一种晶圆上下料载台装置，所述罩座由罩座底板、罩座前挡板、罩座左侧板、罩座右侧板和罩座顶板围合而成，在所述罩座前挡板、所述罩座顶板、所述罩座左侧板和所述罩座右侧板之间形成与所述翻转盖相配合的开口，所述翻转盖通过铰接件与所述罩座前挡板相铰接；在所述罩座底板、罩座左侧板、罩座右侧板和罩座顶板之间形成之间形成晶圆上下料口。
13、根据本专利技术提供的一种晶圆上下料载台装置，所述罩座与所述翻转盖之间连接有两个氮气弹簧，在所述罩座左侧板的内侧上部和所述罩座右侧板的内侧上部分别设有第一安装件，在所述翻转盖的内侧设有与各所述第一安装件相对应的两个第二安装件，两个所述氮气弹簧的一端分别与两个所述第一安装件对应转动连接，两个所述氮气弹簧的另一端分别与两个所述第二安装件对应转动连接。
14、根据本专利技术提供的一种晶圆上下料载台装置，在所述罩座顶板上朝向所述翻转盖的一侧设有多个磁铁，多个所述磁铁分别沿所述罩座顶板的长度方向依次间隔设置；所述翻转盖为能够与所述磁铁进行磁吸配合的金属翻转盖。
15、根据本专利技术提供的一种晶圆上下料载台装置，所述钣金连接件包括第一安装框体、第二安装框体、第三安装框体、安装顶板和安装底板，其中所述第一安装框体、所述第二安装框体和所述第三安装框体之间依次连接形成三角形框体结构，所述安装顶板与所述三角形框体结构的上端相连，所述安装底板与所述三角形框体结构的下端相连；所述上料料盒保护罩体固定安装于所述第一安装框体的外侧，所述下料料盒保护罩体固定安装于所述第二安装框体的外侧。
16、根据本专利技术提供的一种晶圆上下料载台装置，在所述第一安装框体和所述第二安装框体上分别安装有护线板，在各所述护线板上分别设有与各所述料盒挡框分别对应的开口，在各所述护线板上分别设有走线孔。
17、本专利技术提供的晶圆上下料载台装置，通过在钣金连接件上分别安装可开闭的上料料盒保护罩体和可开闭的下料料盒保护罩体，在上料料盒保护罩体内安装上料料盒载台，在料料盒载台上可拆卸的安装上料料盒，在下料料盒保护罩体内安装下料料盒载台，在下料料盒载台上可拆卸的安装下料料盒；其中上料料盒用于进行晶圆上料装载，下料料盒用于进行晶圆下料装载，通过设置可开闭的上料料盒保护罩体能够对上料料盒进行有效防护，通过设置可开闭的下料料盒保护罩体能够对下料料盒进行有效防护，进而能够保护上料料盒以及下料料盒内的晶圆在上下料过程中不受外界因素损坏，安全性更高。此外，通过在上料料盒载台和下料料盒载台上分别设置适配多种型号晶圆料盒的晶圆料盒安装组件，能够兼容适配多种型号的晶圆料盒，进而适应多种型号的晶圆料盒装载需求，适用范围更广。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆上下料载台装置，其特征在于，包括可开闭的上料料盒保护罩体、可开闭的下料料盒保护罩体和钣金连接件，所述上料料盒保护罩体和所述下料料盒保护罩体分别安装在所述钣金连接件上；在所述上料料盒保护罩体内安装有上料料盒载台，所述上料料盒载台上可拆卸的安装有上料料盒；在所述下料料盒保护罩体内安装有下料料盒载台，所述下料料盒载台上可拆卸的安装有下料料盒；在所述上料料盒载台和所述下料料盒载台上均设有适配多种型号晶圆料盒的晶圆料盒安装组件。
2.根据权利要求1所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述上料料盒载台和所述下料料盒载台的结构相同；
3.根据权利要求2所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述4寸晶圆料盒安装组件包括4寸晶圆料盒左定位块、4寸晶圆料盒右定位块和4寸晶圆料盒前定位块，所述4寸晶圆料盒左定位块与所述4寸晶圆料盒右定位块相互平行，所述4寸晶圆料盒前定位块垂直设置在所述4寸晶圆料盒左定位块和所述4寸晶圆料盒右定位块的前方；
4.根据权利要求2所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述载台支撑包括载台支撑前板、载台支撑后板和连接板，所述载
5.根据权利要求1所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述上料料盒保护罩体和所述下料料盒保护罩体的结构相同；
6.根据权利要求5所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述罩座由罩座底板、罩座前挡板、罩座左侧板、罩座右侧板和罩座顶板围合而成，在所述罩座前挡板、所述罩座顶板、所述罩座左侧板和所述罩座右侧板之间形成与所述翻转盖相配合的开口，所述翻转盖通过铰接件与所述罩座前挡板相铰接；在所述罩座底板、罩座左侧板、罩座右侧板和罩座顶板之间形成之间形成晶圆上下料口。
7.根据权利要求6所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述罩座与所述翻转盖之间连接有两个氮气弹簧，在所述罩座左侧板的内侧上部和所述罩座右侧板的内侧上部分别设有第一安装件，在所述翻转盖的内侧设有与各所述第一安装件相对应的两个第二安装件，两个所述氮气弹簧的一端分别与两个所述第一安装件对应转动连接，两个所述氮气弹簧的另一端分别与两个所述第二安装件对应转动连接。
8.根据权利要求6所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，在所述罩座顶板上朝向所述翻转盖的一侧设有多个磁铁，多个所述磁铁分别沿所述罩座顶板的长度方向依次间隔设置；所述翻转盖为能够与所述磁铁进行磁吸配合的金属翻转盖。
9.根据权利要求4所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述钣金连接件包括第一安装框体、第二安装框体、第三安装框体、安装顶板和安装底板，其中所述第一安装框体、所述第二安装框体和所述第三安装框体之间依次连接形成三角形框体结构，所述安装顶板与所述三角形框体结构的上端相连，所述安装底板与所述三角形框体结构的下端相连；所述上料料盒保护罩体固定安装于所述第一安装框体处，所述下料料盒保护罩体固定安装于所述第二安装框体处。
10.根据权利要求9所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，在所述第一安装框体和所述第二安装框体上分别安装有护线板，在各所述护线板上分别设有与各所述料盒挡框分别对应的开口，在各所述护线板上分别设有走线孔。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆上下料载台装置，其特征在于，包括可开闭的上料料盒保护罩体、可开闭的下料料盒保护罩体和钣金连接件，所述上料料盒保护罩体和所述下料料盒保护罩体分别安装在所述钣金连接件上；在所述上料料盒保护罩体内安装有上料料盒载台，所述上料料盒载台上可拆卸的安装有上料料盒；在所述下料料盒保护罩体内安装有下料料盒载台，所述下料料盒载台上可拆卸的安装有下料料盒；在所述上料料盒载台和所述下料料盒载台上均设有适配多种型号晶圆料盒的晶圆料盒安装组件。
2.根据权利要求1所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述上料料盒载台和所述下料料盒载台的结构相同；
3.根据权利要求2所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述4寸晶圆料盒安装组件包括4寸晶圆料盒左定位块、4寸晶圆料盒右定位块和4寸晶圆料盒前定位块，所述4寸晶圆料盒左定位块与所述4寸晶圆料盒右定位块相互平行，所述4寸晶圆料盒前定位块垂直设置在所述4寸晶圆料盒左定位块和所述4寸晶圆料盒右定位块的前方；
4.根据权利要求2所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述载台支撑包括载台支撑前板、载台支撑后板和连接板，所述载台支撑前板和所述载台支撑后板从前至后间隔设置，所述连接板固定连接在所述载台支撑前板与所述载台支撑后板之间，所述载台支撑前板的上端和所述载台支撑后板的上端分别与所述料盒安放底板的下表面连接固定；在所述载台支撑前板的前侧底部还连接有载台底座限位块；
5.根据权利要求1所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述上料料盒保护罩体和所述下料料盒保护罩体的结构相同；
6.根据权利要求5所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述罩座由罩座底板、罩座前挡板、罩座左侧板、罩座右...
【专利技术属性】
技术研发人员：李佺，胡炜，张希雅，
申请(专利权)人：杭州涿溪脑与智能研究所，
类型：发明
国别省市：
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