一种激光脉宽自动调节装置及采用该装置的脉冲激光器制造方法及图纸

本技术公开了一种激光脉宽自动调节装置及采用该装置的脉冲激光器，该激光脉宽自动调节装置包括操作杆、套筒、齿轮套和电机，操作杆的前端作用于激光器的脉宽调节旋钮，操作杆的后端穿设于套筒内；套筒后端设置有后套筒盖板，后套筒盖板的内侧设置有弹性部件，弹性部件的一端抵接于后套筒盖板，另一端抵接于操作杆的后端，操作杆位于套筒的一端设置有限位结构，套筒设置有与限位结构相适配的固定结构，用于限定操作杆在套筒中所处位置；套筒的外侧固定连接有齿轮套，齿轮套上固定连接有第一齿轮组，位于第一齿轮组的外侧设置有与第一齿轮组相啮合的第二齿轮组，第二齿轮组与电机传动连接。本技术的自动调节装置调节幅度可控，调节精度高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光器，具体为一种激光脉宽自动调节装置及采用该装置的脉冲激光器。

技术介绍

1、激光器即激光放大器，是一种能够产生具有高单色性、高亮度、高相干性等特征的光束的器件。激光器从运行上分为连续激光器和脉冲激光器，脉冲激光器是指单个激光脉冲宽度小于0.25秒、每间隔一定时间才工作一次的激光器，它具有较大的瞬时输出功率。对于脉冲激光器来说，平均功率相同时，脉宽越短，则瞬时输出功率越大。比如纳秒激光器、皮秒激光器和飞秒激光器等，都是瞬时输出功率极高的激光器。

2、脉冲激光器在一定条件下可产生二次谐波，二次谐波是一种非线性效应，是指在一定条件下材料能发射出频率为入射光频率的两倍的光。二次谐波的应用广泛，比较典型的为二次谐波用于晶圆缺陷检测，如专利号zl202210328447.6公开了“一种基于二次谐波测量半导体多层结构的方法和装置”，该测量方法和装置可以在保证高测量效率的前提下对晶圆做全域测量，得出电学缺陷的位置、尺寸、相对密度分布，实现对晶圆异常点的定位和排查。二次谐波信号的大小与入射光功率的平方成正比，入射光功率又与激光脉宽正相关，所以在基于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光脉宽自动调节装置，用于调节激光器的脉宽调节旋钮，其特征在于，所述激光脉宽自动调节装置包括操作杆、套筒、齿轮套和电机，

2.如权利要求1所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述齿轮套延伸至后套筒盖板位置，并卡设于后套筒盖板的外侧，所述齿轮套与后套筒盖板相接触的部位安装有锁紧结构，用于固定齿轮套与后套筒盖板。

3.如权利要求2所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述后套筒盖板的外表面为圆锥形结构，所述齿轮套设置有与后套筒盖板外表面相适配的圆锥形内表面，用于阻挡所述齿轮套相对于所述套筒向后滑动。

4.如权利要求1-3任一项所述的激光脉宽自...

【技术特征摘要】

1.一种激光脉宽自动调节装置，用于调节激光器的脉宽调节旋钮，其特征在于，所述激光脉宽自动调节装置包括操作杆、套筒、齿轮套和电机，

2.如权利要求1所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述齿轮套延伸至后套筒盖板位置，并卡设于后套筒盖板的外侧，所述齿轮套与后套筒盖板相接触的部位安装有锁紧结构，用于固定齿轮套与后套筒盖板。

3.如权利要求2所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述后套筒盖板的外表面为圆锥形结构，所述齿轮套设置有与后套筒盖板外表面相适配的圆锥形内表面，用于阻挡所述齿轮套相对于所述套筒向后滑动。

4.如权利要求1-3任一项所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述限位结构为设置于操作杆外表面的复数个凸块。

5.如权利要求4所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述固定结构为与凸块相适配的复数个第一凹槽，所述第一凹槽前端设置有端面，所述凸块位于第一凹槽内，并抵...

【专利技术属性】
技术研发人员：易少伟，黄崇基，
申请(专利权)人：上海微崇半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：