【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光器，具体为一种激光脉宽自动调节装置及采用该装置的脉冲激光器。
技术介绍
1、激光器即激光放大器，是一种能够产生具有高单色性、高亮度、高相干性等特征的光束的器件。激光器从运行上分为连续激光器和脉冲激光器，脉冲激光器是指单个激光脉冲宽度小于0.25秒、每间隔一定时间才工作一次的激光器，它具有较大的瞬时输出功率。对于脉冲激光器来说，平均功率相同时，脉宽越短，则瞬时输出功率越大。比如纳秒激光器、皮秒激光器和飞秒激光器等，都是瞬时输出功率极高的激光器。
2、脉冲激光器在一定条件下可产生二次谐波，二次谐波是一种非线性效应，是指在一定条件下材料能发射出频率为入射光频率的两倍的光。二次谐波的应用广泛，比较典型的为二次谐波用于晶圆缺陷检测，如专利号zl202210328447.6公开了“一种基于二次谐波测量半导体多层结构的方法和装置”，该测量方法和装置可以在保证高测量效率的前提下对晶圆做全域测量，得出电学缺陷的位置、尺寸、相对密度分布，实现对晶圆异常点的定位和排查。二次谐波信号的大小与入射光功率的平方成正比，入射光功率又与激光脉宽正相关，所以在基于二次谐波的检测设备中，对激光脉宽的要求非常高，要求激光脉宽具有较好的稳定性和精度。
3、目前，对激光器脉宽的调节采用手动方式，通过脉宽调节旋钮来调节脉宽，就实际使用场景而言，脉宽调节旋钮通常为一个手动调节的内六角旋钮，该调节方式调节效率低、精度低、调节幅度不可控，重复精度差，每次使用都需要根据实际环境进行调节，必须由专业技术人员到达现场进行调试，影响售后使用。>
技术实现思路
1、有鉴于现有技术的上述缺陷，本技术提供一种激光脉宽自动调节装置，通过电机带动齿轮组转动，进而带动套筒及操作杆随之转动，从而作用于脉宽调节旋钮，实现对脉宽进行调节的效果。为此，本技术还提供一种采用上述装置的脉冲激光器。
2、为了解决上述问题，本技术的第一方面，提供了一种激光脉宽自动调节装置，用于调节激光器的脉宽调节旋钮，所述激光脉宽自动调节装置包括操作杆、套筒、齿轮套和电机，
3、所述操作杆的前端与所述激光器的脉宽调节旋钮相配合，并直接作用于激光器的脉宽调节旋钮，所述操作杆的后端穿设于套筒内；
4、所述套筒后端设置有后套筒盖板，所述后套筒盖板的内侧设置有弹性部件，所述弹性部件的一端抵接于后套筒盖板，另一端抵接于操作杆的后端，所述操作杆位于套筒的一端设置有限位结构，所述套筒设置有与限位结构相适配的固定结构，用于限定操作杆在套筒中所处位置；
5、所述套筒的外侧固定连接有齿轮套，所述齿轮套上固定连接有第一齿轮组，位于第一齿轮组的外侧设置有与第一齿轮组相啮合的第二齿轮组，所述第二齿轮组与电机传动连接。
6、弹性部件一端抵接于后套筒盖板，是为了避免弹性部件在使用过程中弹出，另一端抵接于操作杆的后端，为操作杆提供动力，使得操作杆始终作用于脉宽调节旋钮。于此同时，操作杆位于套筒的一端设置限位结构，套筒内设置有与之适配的固定结构，使得操作杆始终位于套筒的固定位置，一方面避免操作杆滑出套筒，另一方面使得操作杆转动过程更加稳定。
7、电机带动第二齿轮组，第二齿轮组与第一齿轮组啮合，带动第一齿轮组转动，第一齿轮组通过齿轮套带动套筒及操作杆转动，操作杆作用于脉宽调节旋钮，对脉宽进行调节。此种脉宽调节方式相对于手动调节，调节效率高，精度高，调节幅度可控。
8、作为优选的实施例，所述操作杆的材质为聚醚醚酮。
9、聚醚醚酮(peek)为柔性材料，其硬度小于脉宽调节旋钮的硬度，在使用过程中操作杆更易发生损坏，可以及时更换操作杆，从而避免造成脉宽调节旋钮的磨损，对脉宽调节旋钮具有保护作用。
10、作为优选的实施例，所述第一齿轮组与第二齿轮组的材质均为聚醚醚酮(peek)，可防止产生粉末。
11、作为优选的实施例，所述齿轮套延伸至后套筒盖板位置，并卡设于后套筒盖板的外侧，所述齿轮套与后套筒盖板相接触的部位安装有锁紧结构，用于固定齿轮套与后套筒盖板。
12、套筒的外侧固定连接齿轮套，套筒与齿轮套固定连接，可防止套筒与齿轮套上下方向的相对移动；通过将齿轮套卡设于后套筒盖板的外侧，并通过锁紧结构固定，可防止套筒与齿轮套前后方向的相对移动，使得套筒及操作杆的转动更加平稳，避免操作杆前后晃动对脉宽调节过程造成影响，甚至对激光器的脉宽调节旋钮造成损坏。
13、作为更为优选的实施例，所述后套筒盖板的外表面为圆锥形结构，所述齿轮套设置有与后套筒盖板外表面相适配的圆锥形内表面，用于阻挡所述齿轮套相对于所述套筒向后滑动。
14、后套筒盖板的外表面为圆锥形结构，齿轮套设置为与后套筒盖板外表面相适配的内圆锥形结构，齿轮套与后套筒盖板无缝贴合，固定效果更好。
15、作为更为优选的实施例，所述锁紧结构为锁紧螺母。
16、通过锁紧螺母锁紧齿轮套与后套筒盖板，操作简单，易于实现。
17、作为优选的实施例，所述限位结构为设置于操作杆外表面的复数个凸块。
18、作为更为优选的实施例，所述固定结构为与凸块相适配的复数个第一凹槽，所述第一凹槽前端设置有端面，所述凸块位于凹槽内，并抵接于凹槽端面。
19、操作杆外表面设置有复数个凸块，套筒内设置有凹槽，凸块卡设于凹槽内，避免操作杆的随意转动；同时凸块抵接于凹槽端面，避免操作杆滑出套筒，对操作杆具有限位作用。
20、作为更为优选的实施例，所述固定结构包括与凸块相适配的复数个第二凹槽和设置于套筒前端的前套筒盖板，所述第二凹槽为通槽，所述前套筒盖板穿过操作杆的外侧，固设于限位结构的对应位置，所述凸块抵接于前套筒盖板。
21、凸块卡设于凹槽内，但凹槽为前后贯通的通槽，受弹性部件作用，操作杆易于从套筒中滑出，此时在套筒前端设置前套筒盖板，前套筒盖板穿过操作杆，固定连接于套筒外侧，使得凸块可以抵接于前套筒盖板，从而避免操作杆从套筒中滑出。
22、作为更为优选的实施例，所述凹槽延伸至套筒后端。
23、套筒后端的凹槽并未对操作杆起到限位作用，但在使用过程中当操作杆出现损坏，需要更换时，此时拧开锁紧螺母，去除套筒盖板和弹性部件，将操作杆从套筒后端取出。
24、作为优选的实施例，所述弹性部件为弹簧或波纹管。
25、弹性部件的设置，为操作杆提供动力，使得操作杆始终抵靠于脉宽调节旋钮。此处的弹性部件优选的为弹簧，任何具有弹性功能的部件均可作为此处的弹性部件。
26、作为更为优选的实施例，所述前套筒盖板卡接于套筒前端。
27、作为更为优选的实施例，所述前套筒盖螺纹连接于套筒前端的外表面。
28、前套筒盖板可以卡接于套筒前端，也可以螺纹连接于套筒前端的外表面，前套筒盖板可以适用多种固定连接方式。
29、作为优选的实施例，还包括极限位传感器单元，用于控制操作杆的转动幅度范围和行程。
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1.一种激光脉宽自动调节装置，用于调节激光器的脉宽调节旋钮，其特征在于，所述激光脉宽自动调节装置包括操作杆、套筒、齿轮套和电机，
2.如权利要求1所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述齿轮套延伸至后套筒盖板位置，并卡设于后套筒盖板的外侧，所述齿轮套与后套筒盖板相接触的部位安装有锁紧结构，用于固定齿轮套与后套筒盖板。
3.如权利要求2所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述后套筒盖板的外表面为圆锥形结构，所述齿轮套设置有与后套筒盖板外表面相适配的圆锥形内表面，用于阻挡所述齿轮套相对于所述套筒向后滑动。
4.如权利要求1-3任一项所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述限位结构为设置于操作杆外表面的复数个凸块。
5.如权利要求4所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述固定结构为与凸块相适配的复数个第一凹槽，所述第一凹槽前端设置有端面，所述凸块位于第一凹槽内，并抵接于第一凹槽端面。
6.如权利要求4所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述固定结构包括与凸块相适配的复数个第二凹槽和设置于套筒前端的前套筒盖板
7.如权利要求1所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，还包括极限位传感器单元，用于控制操作杆的转动幅度范围和行程。
8.如权利要求7所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述极限位传感器单元包括位置环和用于感应位置环所处位置的光电传感器，所述位置环穿设并固定于操作杆上，所述位置环在操作杆轴向方向上的宽度小于操作杆的行程。
9.一种脉冲激光器，其特征在于，采用权利要求1-8任一项所述的激光脉宽自动调节装置。
10.如权利要求9所述的脉冲激光器，其特征在于，所述的脉冲激光器为纳秒激光器、皮秒激光器和飞秒激光器。
...【技术特征摘要】
1.一种激光脉宽自动调节装置，用于调节激光器的脉宽调节旋钮，其特征在于，所述激光脉宽自动调节装置包括操作杆、套筒、齿轮套和电机，
2.如权利要求1所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述齿轮套延伸至后套筒盖板位置，并卡设于后套筒盖板的外侧，所述齿轮套与后套筒盖板相接触的部位安装有锁紧结构，用于固定齿轮套与后套筒盖板。
3.如权利要求2所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述后套筒盖板的外表面为圆锥形结构，所述齿轮套设置有与后套筒盖板外表面相适配的圆锥形内表面，用于阻挡所述齿轮套相对于所述套筒向后滑动。
4.如权利要求1-3任一项所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述限位结构为设置于操作杆外表面的复数个凸块。
5.如权利要求4所述的激光脉宽自动调节装置，其特征在于，所述固定结构为与凸块相适配的复数个第一凹槽，所述第一凹槽前端设置有端面，所述凸块位于第一凹槽内，并抵...
【专利技术属性】
技术研发人员：易少伟，黄崇基，
申请(专利权)人：上海微崇半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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