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本发明提供了一种晶圆上下料载台装置，包括可开闭的上料料盒保护罩体、可开闭的下料料盒保护罩体和钣金连接件，上料料盒保护罩体和下料料盒保护罩体分别安装在钣金连接件上；在上料料盒保护罩体内安装有上料料盒载台，上料料盒载台上可拆卸的安装有上料料盒；...
该专利属于杭州涿溪脑与智能研究所所有，仅供学习研究参考，未经过杭州涿溪脑与智能研究所授权不得商用。

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