【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏电池生产辅助系统，确切地说涉及一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统。
技术介绍
1、光伏中湿法工艺是一种光伏电池生产中常用的工艺，其主要特点是生产成本低、生产效率高。
2、现有技术中采用的湿法工艺具体包括：制绒、前硼、se、后氧、碱抛，pe-poly、退火、rca、ald、正膜、背膜以及丝印，其中pe-poly工序作用为制备电池片背面二氧化硅层及非晶硅层，形成隧穿效应，此过程中，二氧化硅层的生长厚度及均匀性尤为重要，二氧化硅偏薄，会造成成品电池片el暗片，而过厚，则会引起成品电池片el氧化脏污，影响二氧化硅层厚度的因素，一方面是工艺配方本身设定，另一方面是碱抛后的硅片未烘干导致硅片含有水汽而自然生长氧化层，再叠加poly工艺中生长的氧化层，导致氧化层过厚，从而引起不良，继而，需要在碱抛工序后针对硅片设置水汽检测装置。水汽检测主要用作碱抛后，检测硅片表面水汽，避免盈水汽问题造成下一道工序(pe-poly)氧化层过厚，引起成品电池片el氧化脏污不良，目前未使用涂覆工艺。
3、即，目前的光伏电池的工...
【技术保护点】
1.一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统，其特征在于：包括塑胶材质且两端开口的中通、圆筒型的回风塑胶筒(1)，回风塑胶筒(1)内设置有自动回风系统(2)和可替换的高灵敏度湿敏水汽测试纸(3)；
2.如权利要求1所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统，其特征在于：所述回风塑胶筒(1)由一片矩形塑胶片首尾相接卷制而成，且矩形塑胶片的首端和尾端设置有用于插接固定的快拆接口。
3.如权利要求1或2所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统，其特征在于：所述自动回风系统(2)为设置在所述回风塑胶筒(1)中的、带有驱动电源的若干个方向相同的抽风扇
4....
【技术特征摘要】
1.一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统，其特征在于：包括塑胶材质且两端开口的中通、圆筒型的回风塑胶筒(1)，回风塑胶筒(1)内设置有自动回风系统(2)和可替换的高灵敏度湿敏水汽测试纸(3)；
2.如权利要求1所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统，其特征在于：所述回风塑胶筒(1)由一片矩形塑胶片首尾相接卷制而成，且矩形塑胶片的首端和尾端设置有用于插接固定的快拆接口。
3.如权利要求1或2所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统，其特征在于：所述自动回风系统(2)为设置在所述回风塑胶筒(1)中的、带有驱动电源的若干个方向相同的抽风扇。
4.如权利要求3所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统，其特征在于：所有抽风扇设置在所述回风塑胶筒(1)的中轴线上、且自上而下竖直排列。
5.如权利要求3所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统，其特征在于：所有抽风...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈龙，
申请(专利权)人：宜宾英发德耀科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。