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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏电池生产辅助系统,确切地说涉及一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统。
技术介绍
1、光伏中湿法工艺是一种光伏电池生产中常用的工艺,其主要特点是生产成本低、生产效率高。
2、现有技术中采用的湿法工艺具体包括:制绒、前硼、se、后氧、碱抛,pe-poly、退火、rca、ald、正膜、背膜以及丝印,其中pe-poly工序作用为制备电池片背面二氧化硅层及非晶硅层,形成隧穿效应,此过程中,二氧化硅层的生长厚度及均匀性尤为重要,二氧化硅偏薄,会造成成品电池片el暗片,而过厚,则会引起成品电池片el氧化脏污,影响二氧化硅层厚度的因素,一方面是工艺配方本身设定,另一方面是碱抛后的硅片未烘干导致硅片含有水汽而自然生长氧化层,再叠加poly工艺中生长的氧化层,导致氧化层过厚,从而引起不良,继而,需要在碱抛工序后针对硅片设置水汽检测装置。水汽检测主要用作碱抛后,检测硅片表面水汽,避免盈水汽问题造成下一道工序(pe-poly)氧化层过厚,引起成品电池片el氧化脏污不良,目前未使用涂覆工艺。
3、即,目前的光伏电池的工艺制程中存在多段湿法制程工艺,但现有技术中尚缺乏针对硅片表面湿度监测仪器,无法在湿法制程工艺中进行常规简便的硅片表面湿度监控,使得制程对于水汽要求较高的工艺无法表征其干燥程度,造成其工艺不确定性增加,工艺分析难度加剧。
4、而目前本
中常用的硅片表面水汽检测方法有两类:一类为使用质谱分析仪,但此类方法需要破坏硅片本体,并且实现实时监控的难度极大,涉及到的测试仪价格又昂贵,适用性差
技术实现思路
1、本专利技术目的在于针对上述问题,提供一种通过非接触式的设计、采用回风系统配合水汽测试纸对采用湿法工艺制备中的光伏电池硅片表面的水汽情况进行实时监控的系统。
2、本专利技术提供的这种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,包括塑胶材质且两端开口的中通、圆筒型的回风塑胶筒,回风塑胶筒内设置有自动回风系统和可替换的高灵敏度湿敏水汽测试纸;这种结构简单实用,便于硅片表面水汽检测使用。
3、具体的,所述回风塑胶筒的中轴线垂直于光伏电池硅片的表面,且回风塑胶筒的底部与光伏电池硅片的表面间留有间隙;所述自动回风系统在所述回风塑胶筒中工作时、将环境气体自回风塑胶筒的底部向顶部带动,环境气体拂过光伏电池硅片的表面、自回风塑胶筒的底部与光伏电池硅片表面间留的间隙间进入回风塑胶筒中并经过所述高灵敏度湿敏水汽测试纸,高灵敏度湿敏水汽测试纸因进入风塑胶筒中的环境气体所携带的水汽产生颜色变换,用于表示硅片表面水汽的蒸腾状态。即,可以通过高灵敏度湿敏水汽测试纸的颜色变化来记录硅片表面水汽的蒸腾状态,此方法能够快速有效的记录硅片表面的湿度情况,解决了因湿度检测装置仪器操作复杂检测不便的问题,通过小型回风空间,轻松将检测设备进行携带和移动,使其移动更加方便,大大提高了硅片表面水汽检测装置的工作效率。
4、进一步的,所述回风塑胶筒由一片矩形塑胶片首尾相接卷制而成,且矩形塑胶片的首端和尾端设置有用于插接固定的快拆接口,即,整个回风塑胶筒采用可以快速拆解安装的结构,且主体为轻质薄型片材,方便收纳,极大提高了便携性。
5、具体的,所述自动回风系统为设置在所述回风塑胶筒中的、带有驱动电源的若干个方向相同的抽风扇,抽风扇获取容易,并且在筒型结构中抽吸效果直接明显,抽风扇拆解后也便于一体化收纳,使用时安装方便并且容易调整。
6、更为具体的,所有抽风扇设置在所述回风塑胶筒的中轴线上、且自上而下竖直排列,充分利用筒型效应增大底部的吸力,各个抽风扇抽吸力在中轴线上叠加,可以更好的抽吸到硅片表面的水汽。
7、优选地,所有抽风扇间的间距一致,以便对所有抽风扇进行统一控制,抽吸力简单进行叠加即可达到需要的吸力。
8、更为优选地,所述回风塑胶筒中,上、中、下部等间距设置有三个带有独立开关控制的抽风扇,确保回风塑胶筒中自下而上各个部分的吸力同时,各个抽风扇还可以独立控制,以便根据需求进行风力调整和叠加。
9、更进一步的,所述回风塑胶筒中设置有若干不重叠的高灵敏度湿敏水汽测试纸,冗余设计避免测试不准的情况,同时,多个位置检测也便于综合判定硅片表面湿度。
10、优选地,所有高灵敏度湿敏水汽测试纸设置在所述回风塑胶筒的中轴线上、且自上而下竖直排列,同样的,是利用最大吸力处的环境气体来掌握最接近硅片表面的水汽情况。
11、或者,所有高灵敏度湿敏水汽测试纸设置在所述回风塑胶筒的筒壁上,即,考虑到高灵敏度湿敏水汽测试纸的反应时间,充分利用靠近筒壁的、流水相对较慢的环境气体来测试水汽情况,以便观察和更换试纸。
12、更为优选地,所述高灵敏度湿敏水汽测试纸设置在所述抽风扇之后,即试纸与抽风扇组成组合,抽起的环境气体经过抽风扇后直接作用于试纸,配合前述的上、中、下三段式布局,可以更为高效、准确的检测到硅片表面水汽情况。
13、有益效果
14、与现有技术相比,本专利技术的有益效果在于:本专利技术这种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统结构简单实用,通过高灵敏度湿敏水汽测试纸对硅片表面进行水汽表征,能够精确判定光伏湿法制程后硅片表面的水汽状态,进而控制各个工序的异常表征,显著地提高了异常现象的分析效率及处理速度,通过小型回风系统对硅片表面进行水汽表征,能够轻松将检测设备进行携带和移动,使其移动更加方便,大大提高了硅片表面水汽检测装置的工作效率。
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1.一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:包括塑胶材质且两端开口的中通、圆筒型的回风塑胶筒(1),回风塑胶筒(1)内设置有自动回风系统(2)和可替换的高灵敏度湿敏水汽测试纸(3);
2.如权利要求1所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所述回风塑胶筒(1)由一片矩形塑胶片首尾相接卷制而成,且矩形塑胶片的首端和尾端设置有用于插接固定的快拆接口。
3.如权利要求1或2所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所述自动回风系统(2)为设置在所述回风塑胶筒(1)中的、带有驱动电源的若干个方向相同的抽风扇。
4.如权利要求3所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所有抽风扇设置在所述回风塑胶筒(1)的中轴线上、且自上而下竖直排列。
5.如权利要求3所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所有抽风扇间的间距一致。
6.如权利要求3所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所述回风塑胶筒(1)中,上、中、下部等间距设置有三个带有独立开
7.如权利要求1所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所述回风塑胶筒(1)中设置有若干不重叠的高灵敏度湿敏水汽测试纸(3)。
8.如权利要求1或8所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所有高灵敏度湿敏水汽测试纸(3)设置在所述回风塑胶筒(1)的中轴线上、且自上而下竖直排列。
9.如权利要求1或8所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所有高灵敏度湿敏水汽测试纸(3)设置在所述回风塑胶筒(1)的筒壁上。
10.如权利要求3所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所述高灵敏度湿敏水汽测试纸(3)设置在所述抽风扇之后。
...【技术特征摘要】
1.一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:包括塑胶材质且两端开口的中通、圆筒型的回风塑胶筒(1),回风塑胶筒(1)内设置有自动回风系统(2)和可替换的高灵敏度湿敏水汽测试纸(3);
2.如权利要求1所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所述回风塑胶筒(1)由一片矩形塑胶片首尾相接卷制而成,且矩形塑胶片的首端和尾端设置有用于插接固定的快拆接口。
3.如权利要求1或2所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所述自动回风系统(2)为设置在所述回风塑胶筒(1)中的、带有驱动电源的若干个方向相同的抽风扇。
4.如权利要求3所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所有抽风扇设置在所述回风塑胶筒(1)的中轴线上、且自上而下竖直排列。
5.如权利要求3所述的一种硅片表面湿度的圆柱回风水汽测试系统,其特征在于:所有抽风...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈龙,
申请(专利权)人:宜宾英发德耀科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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