System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺制造技术_技高网

一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺制造技术

技术编号:40309290 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-07 20:52
本发明专利技术公开了一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,包括操作箱,所述操作箱右端面固定有控制面板用于整个装置的调控作用,所述操作箱左端面固定有电机,所述电机的输出端固定有螺纹杆,所述螺纹杆轴承连接在操作箱内,所述螺纹杆通过螺纹连接有活动架,所述活动架下端安装有激光刻蚀器。该用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,采用夹持限位机构,可以实现覆晶薄膜的固定拉紧作用,既可以保证覆晶薄膜的稳定性,又可以保证覆晶薄膜的平整性,方便覆晶薄膜加工的进行,配合联动的清理机构和裁切机构,可以对加工后的覆晶薄膜表面碎屑进行清理,并根据实际宽度进行裁切,保证覆晶薄膜的加工质量,有效提高覆晶薄膜的加工效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及覆晶薄膜加工,具体为一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺


技术介绍

1、覆晶薄膜又称cof,是将集成电路(ic)固定在柔性线路板上的晶粒软膜构装技术,为方便集成电路(ic)与覆晶薄膜进行装配,需要通过激光刻蚀工艺(通过激光实现覆晶薄膜的烧蚀作用)在覆晶薄膜上刻蚀出轨道孔,而常规的激光刻蚀装置在对覆晶薄膜进行刻蚀操作时还存在一些不足之处:

2、1、由于覆晶薄膜整体较为柔软,而现有的激光刻蚀装置缺乏定位装置,从而导致覆晶薄膜易产生弯曲,从而影响刻蚀的正常进行;

3、2、覆晶薄膜生产后,一般为长条状结构,需要根据实际需要裁切为固定长度,而现有的激光刻蚀装置缺乏裁切机构,难以满足裁切需求;

4、3、在激光刻蚀过程中,难以避免产生一些碎屑飞溅粘接在覆晶薄膜表面,而现有的激光刻蚀装置缺乏清理机构,从而影响覆晶薄膜的生产质量。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,以解决上述
技术介绍
中提出覆晶薄膜易产生弯曲而影响刻蚀的正常进行、缺乏裁切机构,难以满足裁切需求和缺乏清理机构难以对覆晶薄膜表面碎屑进行清理的问题。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,包括以下步骤:

3、s1:装夹固定:通过螺杆调节固定板和压块的高度,通过压块与活动板配合可实现覆晶薄膜本体的夹持固定,以便后期加工的正常进行;

4、s2:切割装置位置调节:通过安装架、刀架、滑块和锁紧螺栓的作用,可以对裁切刀的位置进行调节固定,以便对加工后的覆晶薄膜本体进行裁切;

5、s3:通过电动伸缩杆可以调节活动板的位置,从而调节覆晶薄膜本体的位置,使覆晶薄膜本体移动至激光刻蚀器正下方进行刻蚀加工;

6、s4:通过电机、螺纹杆和活动架的作用,可以实现激光刻蚀器的位置调节,保证刻蚀加工的正常进行;

7、s5:加工完成后,通过电动伸缩杆可以向外移出覆晶薄膜本体,配合擦垫可以对覆晶薄膜本体表面进行清理,再配合裁切刀可以实现覆晶薄膜本体的自动分切作用。

8、优选的,包括操作箱,所述操作箱右端面固定有控制面板用于整个装置的调控作用,所述操作箱左端面固定有电机,所述电机的输出端固定有螺纹杆,所述螺纹杆轴承连接在操作箱内,所述螺纹杆通过螺纹连接有活动架,所述活动架下端安装有激光刻蚀器,通过电机和螺纹杆的作用,可以实现活动架和激光刻蚀器的位置调节,以保证对覆晶薄膜本体轨道槽刻蚀的正常进行。

9、优选的,所述活动架与横杆之间为滑动连接,且横杆固定在操作箱内,并且横杆与螺纹杆之间为平行分布,在活动架受力移动时,通过活动架与横杆之间的滑动导向作用,可以保证活动架做稳定的线性运动。

10、优选的,所述操作箱上还固定有竖板,所述竖板后端面还左右对称固定有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端固定有活动板,所述活动板上端面还左右对称固定有固定架,所述固定架上连接有螺杆,所述螺杆下端轴承连接在固定板上,所述固定板设置在固定架下方,所述活动板与固定板之间设置有覆晶薄膜本体,所述活动板上还连接有两组可转动的活动杆,所述活动杆与活动板之间还连接有扭簧,通过电动伸缩杆可以实现活动板和覆晶薄膜本体的移动作用,且通过扭簧的弹性作用,可以为活动杆的自动复位提供基础作用力。

11、优选的,所述活动板上还左右对称开设有凹槽,且活动板上还左右对称固定有挡板,并且挡板与活动杆接触可实现阻挡作用,通过凹槽的作用,可以为覆晶薄膜本体的拉紧提供基础保证,配合挡板的作用,可以使活动杆只能向后旋转而不能向前转动,保证活动杆的单向运动,进而保证装置的正常运行。

12、优选的,所述固定板下端面还固定有压块,且压块为半圆形结构,并且压块与凹槽可相互配合,同时压块与覆晶薄膜本体接触可实现定位作用,所述固定板上端面还固定有滑杆,且滑杆贯穿固定架可进行上下滑动,通过螺杆可以调节固定板和压块的位置,配合滑杆的滑动导向作用,可以保证固定板和压块移动的稳定性,且通过压块与凹槽配合,可以使压块与凹槽之间覆晶薄膜本体产生变形,从而实现覆晶薄膜本体的拉紧作用,进而保证覆晶薄膜本体的平整性,避免覆晶薄膜本体弯曲而影响加工的正常进行。

13、优选的,所述操作箱上还固定有固定筒,所述固定筒设置在活动板后侧,所述固定筒上滑动连接有连接杆,所述连接杆上端固定有安装架,所述安装架下端面还左右对称固定有半圆形结构的弧形板,所述弧形板与活动杆接触可进行滑动,所述安装架下方设置有刀架,所述刀架上轴承连接有裁切刀,所述安装架后侧还左右垂直对称固定有固定杆,通过连接杆与固定筒之间的滑动作用,可以调节安装架、刀架和裁切刀的高度,从而保证装置的正常运行。

14、优选的,所述连接杆上还固定有弹簧的一端,且弹簧的另一端固定在固定筒内,通过弹簧的弹性作用,可以为连接杆、安装架、刀架和裁切刀的自动复位提供基础保障。

15、优选的,所述刀架上端还固定有滑块,且滑块嵌套在安装架内可进行左右滑动,所述刀架前端还连接有锁紧螺栓,且刀架与安装架通过锁紧螺栓可实现锁定作用,通过滑块的滑动作用,可以方便调节两组裁切刀之间的距离,配合锁紧螺栓的锁定作用,可以保证装置调节后的稳定性。

16、优选的,所述固定杆下端固定有横板,且横板下端面通过螺栓固定有半圆形结构的擦垫,并且擦垫具有弹性,同时擦垫与覆晶薄膜本体接触时可进行滑动,通过擦垫的作用,可以对激光刻蚀加工后的覆晶薄膜本体进行清理,避免覆晶薄膜本体表面碎屑杂质粘接影响覆晶薄膜本体的加工质量。

17、与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:该用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,采用夹持限位机构,可以实现覆晶薄膜的固定拉紧作用,既可以保证覆晶薄膜的稳定性,又可以保证覆晶薄膜的平整性,方便覆晶薄膜加工的进行,配合联动的清理机构和裁切机构,可以对加工后的覆晶薄膜表面碎屑进行清理,并根据实际宽度进行裁切,保证覆晶薄膜的加工质量,有效提高覆晶薄膜的加工效率,其具体内容如下:

18、该用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,设置有压块,通过螺杆可以实现固定板和压块的高度调节,以便实现对覆晶薄膜本体的压紧固定,且通过压块与凹槽配合,可以使覆晶薄膜本体两端产生变形,从而实现覆晶薄膜本体的自动拉紧作用,保证覆晶薄膜本体固定的稳定性和平整性,避免覆晶薄膜本体因弯曲变形而影响加工的正常进行;

19、该用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,设置有擦垫,在电动伸缩杆收缩带动活动板和覆晶薄膜本体进行移动时,通过擦垫可以对覆晶薄膜本体表面进行清理,保证覆晶薄膜本体表面的洁净;

20、该用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,设置有裁切刀,通过安装架、刀架、滑块和锁紧螺栓的作用,可以调节相邻两组裁切刀之间的距离,以便根据实际需求实现覆晶薄膜本体的裁切作用,无需后续人工裁切,提高覆晶薄膜本体的加工效率。

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【技术保护点】

1.一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:包括操作箱(1),所述操作箱(1)右端面固定有控制面板(2)用于整个装置的调控作用,所述操作箱(1)左端面固定有电机(3),所述电机(3)的输出端固定有螺纹杆(4),所述螺纹杆(4)轴承连接在操作箱(1)内,所述螺纹杆(4)通过螺纹连接有活动架(5),所述活动架(5)下端安装有激光刻蚀器(6)。

3.根据权利要求2所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述活动架(5)与横杆(7)之间为滑动连接,且横杆(7)固定在操作箱(1)内,并且横杆(7)与螺纹杆(4)之间为平行分布。

4.根据权利要求2所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述操作箱(1)上还固定有竖板(8),所述竖板(8)后端面还左右对称固定有电动伸缩杆(9),所述电动伸缩杆(9)的输出端固定有活动板(10),所述活动板(10)上端面还左右对称固定有固定架(11),所述固定架(11)上连接有螺杆(12),所述螺杆(12)下端轴承连接在固定板(13)上,所述固定板(13)设置在固定架(11)下方,所述活动板(10)与固定板(13)之间设置有覆晶薄膜本体(14),所述活动板(10)上还连接有两组可转动的活动杆(15),所述活动杆(15)与活动板(10)之间还连接有扭簧(1501)。

5.根据权利要求4所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述活动板(10)上还左右对称开设有凹槽(1001),且活动板(10)上还左右对称固定有挡板(1002),并且挡板(1002)与活动杆(15)接触可实现阻挡作用。

6.根据权利要求4所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述固定板(13)下端面还固定有压块(1301),且压块(1301)为半圆形结构,并且压块(1301)与凹槽(1001)可相互配合,同时压块(1301)与覆晶薄膜本体(14)接触可实现定位作用,所述固定板(13)上端面还固定有滑杆(1302),且滑杆(1302)贯穿固定架(11)可进行上下滑动。

7.根据权利要求2所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述操作箱(1)上还固定有固定筒(16),所述固定筒(16)设置在活动板(10)后侧,所述固定筒(16)上滑动连接有连接杆(17),所述连接杆(17)上端固定有安装架(18),所述安装架(18)下端面还左右对称固定有半圆形结构的弧形板(1801),所述弧形板(1801)与活动杆(15)接触可进行滑动,所述安装架(18)下方设置有刀架(19),所述刀架(19)上轴承连接有裁切刀(20),所述安装架(18)后侧还左右垂直对称固定有固定杆(21)。

8.根据权利要求7所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述连接杆(17)上还固定有弹簧(1701)的一端,且弹簧(1701)的另一端固定在固定筒(16)内。

9.根据权利要求7所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述刀架(19)上端还固定有滑块(1901),且滑块(1901)嵌套在安装架(18)内可进行左右滑动,所述刀架(19)前端还连接有锁紧螺栓(1902),且刀架(19)与安装架(18)通过锁紧螺栓(1902)可实现锁定作用。

10.根据权利要求7所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述固定杆(21)下端固定有横板(2101),且横板(2101)下端面通过螺栓固定有半圆形结构的擦垫(2102),并且擦垫(2102)具有弹性,同时擦垫(2102)与覆晶薄膜本体(14)接触时可进行滑动。

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【技术特征摘要】

1.一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:包括操作箱(1),所述操作箱(1)右端面固定有控制面板(2)用于整个装置的调控作用,所述操作箱(1)左端面固定有电机(3),所述电机(3)的输出端固定有螺纹杆(4),所述螺纹杆(4)轴承连接在操作箱(1)内,所述螺纹杆(4)通过螺纹连接有活动架(5),所述活动架(5)下端安装有激光刻蚀器(6)。

3.根据权利要求2所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述活动架(5)与横杆(7)之间为滑动连接,且横杆(7)固定在操作箱(1)内,并且横杆(7)与螺纹杆(4)之间为平行分布。

4.根据权利要求2所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述操作箱(1)上还固定有竖板(8),所述竖板(8)后端面还左右对称固定有电动伸缩杆(9),所述电动伸缩杆(9)的输出端固定有活动板(10),所述活动板(10)上端面还左右对称固定有固定架(11),所述固定架(11)上连接有螺杆(12),所述螺杆(12)下端轴承连接在固定板(13)上,所述固定板(13)设置在固定架(11)下方,所述活动板(10)与固定板(13)之间设置有覆晶薄膜本体(14),所述活动板(10)上还连接有两组可转动的活动杆(15),所述活动杆(15)与活动板(10)之间还连接有扭簧(1501)。

5.根据权利要求4所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述活动板(10)上还左右对称开设有凹槽(1001),且活动板(10)上还左右对称固定有挡板(1002),并且挡板(1002)与活动杆(15)接触可实现阻挡作用。

6.根据权利要求4所述的一种用于覆晶薄膜模块轨道孔的激光刻蚀工艺,其特征在于:所述固...

【专利技术属性】
技术研发人员:王宏庆赵一辉陈玖瑭
申请(专利权)人:浙江晶引电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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