【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体设备制造，具体涉及一种机械手轴承更换装置。
技术介绍
1、真空传送腔体用于在不同腔体之间传送晶圆，其内设置有机械臂，用于支撑并传送晶圆。
2、当前真空传送腔体内部的机械手轴承的更换周期为2-3年，在不借助工具的情况下，在更换机械手轴承时，需要先将机械手从底座上拆卸下来，再拆卸轴承，最后换上新的轴承，并将机械手重新装配上底座。拆除机械手困难且容易造成轴承及其他部件损坏，增加物力与人力的消耗，耗废时间长，影响生产效率。
3、因此，如何便于拆卸机械手且不损坏轴承等部件是目前亟待解决的问题。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种机械手轴承更换装置，以解决现有的拆卸机械手困难且易损坏轴承部件的问题。
2、本申请提供的机械手轴承更换装置包括支架、旋转位移组件和固定组件；
3、所述支架的底端设置有第一固定机构，用于将所述支架固定于真空腔体内；
4、所述旋转位移组件可旋转设置于所述支架上，所述旋转位移组件包括用于控制旋转位移组件旋转位移的旋转驱动装置；
5、所述固定组件与所述旋转位移组件的底端连接，所述固定组件上设置有用于固定机械手的第二固定机构。
6、本申请提供的机械手轴承更换装置的有益效果在于：
7、本申请提供的机械手轴承更换装置包括支架、旋转位移组件和固定组件，通过第一固定机构将支架固定于真空腔体内，保证拆卸过程的安全性和稳定性；通过第二固定机构将机械手和固定组件固定在一起，再
8、可选地，所述支架包括顶板和若干支脚，若干所述支脚均固定于所述顶板的底端边缘，所述顶板的中心设置有允许旋转位移组件穿过的安装孔。
9、可选地，所述支脚的数量大于或等于2个，其有益效果在于，保证支架固定后的稳定性，保证机械手轴承更换装置工作时的安全性和稳定性。
10、可选地，所述第一固定机构包括若干锁定杆，所述真空腔体的内壁上设置有若干与所述锁定杆匹配的锁定配合件，每个所述支脚均通过至少一个所述锁定杆与所述锁定配合件可拆卸连接。
11、可选地，所述第二固定机构包括若干螺纹件，所述固定组件包括连接盘，所述连接盘上均匀设置有若干与所述螺纹件匹配的第一螺孔，所述机械手上设置有若干与所述螺纹件匹配的第二螺孔；
12、所述第一螺孔和所述第二螺孔位置一一对应，且每一对对应的所述第一螺孔和所述第二螺孔均通过所述螺纹件连接。其有益效果在于，若干对第一螺孔和第二螺孔均通过螺纹件连接，提高了连接盘与机械手的连接稳固性，使得连接盘旋转位移时能带着机械手旋转并位移出底座。
13、可选地，所述旋转位移组件包括旋转子杆和旋转母件，所述旋转母件安装于所述安装孔且与所述旋转子件匹配，所述旋转子杆的底端穿过所述旋转母件连接所述固定组件。其有益效果在于，通过可以旋转位移的旋转子杆及固定的旋转母件达到旋转位移的目的，节省了人力。
14、可选地，所述旋转驱动装置包括旋转盘和把手，所述旋转盘的底部连接所述旋转子杆的顶端，所述把手固定于所述旋转盘侧部顶端。其有益效果在于，通过旋转把手使得旋转子杆带动固定组件和机械手旋转位移，达到轻松拆卸机械手的目的，提高了拆卸机械手的效率。
15、可选地，所述旋转驱动装置包括连接杆、圆柱杆和套环，所述连接杆的两端分别连接所述圆柱杆和所述旋转子杆的顶端，所述圆柱杆的轴线与所述旋转子杆的旋转轴线平行且不在同一条直线上，所述套环套设于所述圆柱杆的外侧。其有益效果在于，通过旋转圆柱杆使得旋转子杆带动固定组件和机械手旋转位移，达到轻松拆卸机械手的目的，提高了拆卸机械手的效率。套环能有效地减少旋转时的摩擦力，降低旋转阻力，减少用户手部摩擦受力，进一步节省了拆卸机械手的时间和力气。
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1.一种机械手轴承更换装置，其特征在于，包括支架、旋转位移组件和固定组件；
2.如权利要求1所述的机械手轴承更换装置，其特征在于，所述支架包括顶板和若干支脚，若干所述支脚均固定于所述顶板的底端边缘，所述顶板的中心设置有允许旋转位移组件穿过的安装孔。
3.如权利要求2所述的机械手轴承更换装置，其特征在于，所述支脚的数量大于或等于2个。
4.如权利要求2所述的机械手轴承更换装置，其特征在于，所述第一固定机构包括若干锁定杆，所述真空腔体的内壁上设置有若干与所述锁定杆匹配的锁定配合件，每个所述支脚均通过至少一个所述锁定杆与所述锁定配合件可拆卸连接。
5.如权利要求2所述的机械手轴承更换装置，其特征在于，所述第二固定机构包括若干螺纹件，所述固定组件包括连接盘，所述连接盘上均匀设置有若干与所述螺纹件匹配的第一螺孔，所述机械手上设置有若干与所述螺纹件匹配的第二螺孔；
6.如权利要求2所述的机械手轴承更换装置，其特征在于，所述旋转位移组件包括旋转子杆和旋转母件，所述旋转母件安装于所述安装孔且与所述旋转子件匹配，所述旋转子杆的底端穿过所述
7.如权利要求6所述的机械手轴承更换装置，其特征在于，所述旋转驱动装置包括旋转盘和把手，所述旋转盘的底部连接所述旋转子杆的顶端，所述把手固定于所述旋转盘侧部顶端。
8.如权利要求6所述的机械手轴承更换装置，其特征在于，所述旋转驱动装置包括连接杆、圆柱杆和套环，所述连接杆的两端分别连接所述圆柱杆和所述旋转子杆的顶端，所述圆柱杆的轴线与所述旋转子杆的旋转轴线平行且不在同一条直线上，所述套环套设于所述圆柱杆的外侧。
...【技术特征摘要】
1.一种机械手轴承更换装置，其特征在于，包括支架、旋转位移组件和固定组件；
2.如权利要求1所述的机械手轴承更换装置，其特征在于，所述支架包括顶板和若干支脚，若干所述支脚均固定于所述顶板的底端边缘，所述顶板的中心设置有允许旋转位移组件穿过的安装孔。
3.如权利要求2所述的机械手轴承更换装置，其特征在于，所述支脚的数量大于或等于2个。
4.如权利要求2所述的机械手轴承更换装置，其特征在于，所述第一固定机构包括若干锁定杆，所述真空腔体的内壁上设置有若干与所述锁定杆匹配的锁定配合件，每个所述支脚均通过至少一个所述锁定杆与所述锁定配合件可拆卸连接。
5.如权利要求2所述的机械手轴承更换装置，其特征在于，所述第二固定机构包括若干螺纹件，所述固定组件包括连接盘，所述连接盘上均匀设置有若...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡德锴，张会周，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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