拉晶炉初级吸尘储尘箱制造技术

一种拉晶炉初级吸尘储尘箱，包括筒体和筒盖，筒盖密封地设置在筒体的上口，在筒盖上开设真空管接口，筒体的内腔与吸尘管相通连，在筒体内设有第一过滤网板和第二过滤网板，二层过滤网板将筒体内分隔成存尘室、细尘室和真空室。从拉晶炉中吸入废气进入筒体内腔后，依次经过第一过滤网板、第二过滤网板和第三过滤网片的过滤，废气中灰尘颗粒经三层滤网过滤，大幅度减少了废气中灰尘对真空泵的侵害，提高真空泵的使用寿命，有效地解决了现有技术中存在的不足。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

拉晶炉初级吸尘储尘箱
本技术涉及太阳能电池生产设备，尤其涉及拉晶炉的除尘设备。
技术介绍
随着太阳能电池的不断推广应用，硅棒的需求量越来越大。目前，硅棒通常采用拉 晶炉拉制，俗称直拉法。直拉法是拉晶炉在真空的腔室内设有石英坩埚，将经过处理的高纯 多晶硅料或次品硅(单晶硅和多晶硅头尾料)装入石英坩埚内，并向拉晶炉内充入保护性 气体，加热至1500°C使硅料熔化，然后将子晶夹头中的子晶降下与多晶熔硅充分接触，子晶 严格定向，并以一定的速度旋转提升，在晶核诱导下从熔体上被缓缓提拉出来。在拉晶过程 中，硅熔液会产生挥发性烟气，主要包括硅氧化物(SiO、少量的SiO2,呈黄色烟尘状)和杂 质挥发物。这些气尘粒子必须及时由真空泵抽吸到拉晶炉的初级储尘箱内，否则气体中灰 尘粒子就会飘浮在单晶生长界面周围，从而直接影响硅棒的品质。因此生产中必须向拉晶 炉中充入氩气，氩气由上至下穿过单晶生长区域，带走气尘杂质。当氩气的流量偏小时，能 明显看到硅熔液上方有烟尘翻腾，俗称“冒烟”，此时，SiO粒子可能会被吸附到单晶生长界 面上，造成正在生长的单晶的原子晶向发生位错，使单晶生长失败，俗称“断苞”，降低了成 晶率。由于电池的单位成本随着电池尺寸的增加而降低，因此生产大规格的硅棒是必然 趋势，这样一次向拉晶炉内投入的硅料量就更大，必须使用更大的石英坩埚。在拉棒过程中 产生的气尘杂质必然会更多，也就增加了硅棒产生位错的机率。所以，大直径晶棒需要更迅 速地排除气尘杂质。目前，拉晶炉所配备的初级吸尘储尘箱的结构如图1所示，它为竖直的筒状体，包 括筒体1、筒盖2和不锈钢滤网芯3，不锈钢滤网芯3安装在筒体1内，不锈钢滤网芯3将筒 体1内分隔成存尘室4和真空室5。拉晶炉与初级吸尘储尘箱和真空泵三者之间连接关系 如图2所示，拉晶炉31中的废气通过吸尘管32与初级吸尘储尘箱中的存尘室4相通，真空 泵33通过真空管34与真空室5相通连。在拉晶过程中，拉晶炉31的中含有灰尘的废气首 先通过吸尘管32被吸入存尘室4中，然后在真空泵33的抽吸作用下，经不锈钢滤网芯3过 滤，大颗粒的灰尘则阻挡在真空室5外，而小颗粒的灰尘仍会进入真空室5中，由于进入初 级吸尘储尘箱内的废气温度比较高，一般在120°C 150°C，真空泵33长期抽吸含有细小颗 粒灰尘的废气，废气中的高温灰尘会直接渗透到真空泵旋转主轴轴承内，导致轴承卡死，因 此真空泵的使用寿命很难保证，在实际生产中真空泵的维修次数较多，费用较高，一旦出现 故障将直接影响硅棒的品质，严重时导致硅棒报废，迫使拉晶炉停产维修，拉晶炉的生产效 率没有得到充分发挥，到目前为止，太阳能电池生产企业还没有理想的解决方法。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种拉晶炉初级吸尘储尘箱。它不仅能对进入初级吸尘储尘箱中的废气进行多次过滤，提高真空泵的使用寿3命，而且更便于对其中的灰尘吸除。本技术所采用的技术方案是所述拉晶炉初级吸尘储尘箱，包括筒体和筒盖，筒盖密封地设置在筒体的上口，在 筒盖上开设真空管接口，筒体的内腔与吸尘管相通连，其特征是在筒体内设有第一过滤网 板和第二过滤网板，二层过滤网板将筒体内分隔成存尘室、细尘室和真空室。进一步，第一过滤网板和第二过滤网板均为不锈钢网板。进一步，第一过滤网板的目数为30 60目，第二过滤网板的目数为50 100目。 进一步，在筒盖上的真空管接口处设有第三过滤网片。由于在筒体内增设了二层过滤网板，在筒盖上增设了第三过滤网片，从拉晶炉中 吸入废气进入筒体内腔后，依次经过第一过滤网板、第二过滤网板和第三过滤网片的过滤， 废气中灰尘颗粒经三层滤网过滤，大幅度减少了废气中灰尘对真空泵的侵害，提高了真空 泵的使用寿命，有效地解决了现有技术中存在的不足。附图说明图1为现有初级吸尘储尘箱的结构示意图；图2为拉晶炉、现有初级吸尘储尘箱、真空泵三者间的连接示意图；图中，1-筒体；2-筒盖；3-不锈钢滤网芯；4-存尘室；5-真空室；31-拉晶炉； 32-吸尘管；33-真空泵；34-真空管。图3、图4为本技术结构示意图；图4为图3中的A-A剖视图；图中1_筒体；2-筒盖；4-存尘室；5-真空室；6-第一过滤网板；7-第二过滤网 板；8-细尘室；21-真空管接口 ；22-第三过滤网片。具体实施方式以下结合附图说明本技术的具体实施方案本技术所述拉晶炉初级吸尘储尘箱，如图3、图4所示，它包括筒体1和筒盖 2，筒盖2密封地设置在筒体1的上口，在筒盖2上开设真空管接口 21，筒体1的内腔与吸尘 管32相通连，其特征是在筒体1内设有第一过滤网板6和第二过滤网板7，第一过滤网板 6和第二过滤网板7均为不锈钢网板，第一过滤网板的目数为30 60目，第二过滤网板的 目数为50 100目，二层不锈钢滤网板将筒体1内分隔成存尘室4、细尘室8和真空室5， 在筒盖2上的真空管接口 21处设有第三过滤网片22。权利要求一种拉晶炉初级吸尘储尘箱，其特征是包括筒体(1)和筒盖(2)，筒盖(2)密封地设置在筒体(1)的上口，在筒盖(2)上开设真空管接口(21)，筒体(1)的内腔与吸尘管(32)相通连，其特征是在筒体(1)内设有第一过滤网板(6)和第二过滤网板(7)，二层过滤网板将筒体(1)内分隔成存尘室(4)、细尘室(8)和真空室(5)。2.根据权利要求1所述拉晶炉初级吸尘储尘箱，其特征是第一过滤网板(6)和第二 过滤网板⑵均为不锈钢网板。3.根据权利要求1所述拉晶炉初级吸尘储尘箱，其特征是第一过滤网板(6)的目数 为30 60目，第二过滤网板(7)的目数为50 100目。4.根据权利要求1所述拉晶炉初级吸尘储尘箱，其特征是在筒盖(2)上的真空管接 口(21)处设有第三过滤网片(22)。专利摘要一种拉晶炉初级吸尘储尘箱，包括筒体和筒盖，筒盖密封地设置在筒体的上口，在筒盖上开设真空管接口，筒体的内腔与吸尘管相通连，在筒体内设有第一过滤网板和第二过滤网板，二层过滤网板将筒体内分隔成存尘室、细尘室和真空室。从拉晶炉中吸入废气进入筒体内腔后，依次经过第一过滤网板、第二过滤网板和第三过滤网片的过滤，废气中灰尘颗粒经三层滤网过滤，大幅度减少了废气中灰尘对真空泵的侵害，提高真空泵的使用寿命，有效地解决了现有技术中存在的不足。文档编号B01D46/12GK201684506SQ20102020819公开日2010年12月29日 申请日期2010年5月31日 优先权日2010年5月31日专利技术者周小伟 申请人:常州亿晶光电科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种拉晶炉初级吸尘储尘箱，其特征是：包括筒体（１）和筒盖（２），筒盖（２）密封地设置在筒体（１）的上口，在筒盖（２）上开设真空管接口（２１），筒体（１）的内腔与吸尘管（３２）相通连，其特征是：在筒体（１）内设有第一过滤网板（６）和第二过滤网板（７），二层过滤网板将筒体（１）内分隔成存尘室（４）、细尘室（８）和真空室（５）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周小伟，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]