拉晶炉初级吸尘储尘箱制造技术

技术编号:4007828 阅读:196 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种拉晶炉初级吸尘储尘箱,包括筒体和筒盖,筒盖密封地设置在筒体的上口,在筒盖上开设真空管接口,筒体的内腔与吸尘管相通连,在筒体内设有第一过滤网板和第二过滤网板,二层过滤网板将筒体内分隔成存尘室、细尘室和真空室。从拉晶炉中吸入废气进入筒体内腔后,依次经过第一过滤网板、第二过滤网板和第三过滤网片的过滤,废气中灰尘颗粒经三层滤网过滤,大幅度减少了废气中灰尘对真空泵的侵害,提高真空泵的使用寿命,有效地解决了现有技术中存在的不足。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池生产设备,尤其涉及拉晶炉的除尘设备。
技术介绍
随着太阳能电池的不断推广应用,硅棒的需求量越来越大。目前,硅棒通常采用拉晶炉拉制,俗称直拉法。直拉法是拉晶炉在真空的腔室内设有石英坩埚,将经过处理的高纯 多晶硅料或次品硅(单晶硅和多晶硅头尾料)装入石英坩埚内,并向拉晶炉内充入保护性 气体,加热至1500°C使硅料熔化,然后将子晶夹头中的子晶降下与多晶熔硅充分接触,子晶 严格定向,并以一定的速度旋转提升,在晶核诱导下从熔体上被缓缓提拉出来。在拉晶过程 中,硅熔液会产生挥发性烟气,主要包括硅氧化物(SiO、少量的SiO2,呈黄色烟尘状)和杂 质挥发物。这些气尘粒子必须及时由真空泵抽吸到拉晶炉的初级储尘箱内,否则气体中灰 尘粒子就会飘浮在单晶生长界面周围,从而直接影响硅棒的品质。因此生产中必须向拉晶 炉中充入氩气,氩气由上至下穿过单晶生长区域,带走气尘杂质。当氩气的流量偏小时,能 明显看到硅熔液上方有烟尘翻腾,俗称“冒烟”,此时,SiO粒子可能会被吸附到单晶生长界 面上,造成正在生长的单晶的原子晶向发生位错,使单晶生长失败,俗称“断苞”,降低了成 晶率。由于电池的单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种拉晶炉初级吸尘储尘箱,其特征是:包括筒体(1)和筒盖(2),筒盖(2)密封地设置在筒体(1)的上口,在筒盖(2)上开设真空管接口(21),筒体(1)的内腔与吸尘管(32)相通连,其特征是:在筒体(1)内设有第一过滤网板(6)和第二过滤网板(7),二层过滤网板将筒体(1)内分隔成存尘室(4)、细尘室(8)和真空室(5)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周小伟
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1
相关领域技术
  • 暂无相关专利