下载拉晶炉初级吸尘储尘箱的技术资料

文档序号:4007828

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一种拉晶炉初级吸尘储尘箱,包括筒体和筒盖,筒盖密封地设置在筒体的上口,在筒盖上开设真空管接口,筒体的内腔与吸尘管相通连,在筒体内设有第一过滤网板和第二过滤网板,二层过滤网板将筒体内分隔成存尘室、细尘室和真空室。从拉晶炉中吸入废气进入筒体内腔...
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