老化测试系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种老化测试系统，包括具有至少一个老化测试板的老化测试箱、电源模块、报警模块，所述老化测试箱内还具有至少一个加热器，以及至少一个用于检测老化测试温度值的温度检测器，其中，当所述老化测试温度值大于第一设定值时，所述报警模块启动第一报警；当所述老化测试温度值大于第二设定值时，所述报警模块启动第二报警。本实用新型专利技术的老化测试系统设置了自保护系统，其可以根据老化测试过程中的异常情况做出不同的报警反应，进一步保护了待老化测试芯片。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造及机械加工领域，特别涉及一种老化测试系统。
技术介绍
集成电路(IC)芯片在制造之后必须进行测试，该测试通常是在提高的温度下进 行的老化测试。老化测试可以加速芯片的老化，能够在制造工艺中，早识别和放弃有缺陷的-H-· I I心片。图1为现有的老化测试系统示意图，图2为现有的老化测试箱示意图；如图1、2所 示，老化测试系统主要由老化测试箱100、测试和控制电路101组成。老化测试箱100内设 置有老化测试区、加热器和温度检测器，其中，老化测试区设置有多个老化测试板210，每个 老化测试板210上设置有多个将待老化测试器件与外部的测试电路相连的测试底座220。 老化测试箱底部设置有加热器240，用以按温度设定值对老化测试箱进行加热，老化测试箱 上部设置有温度检测器230，利用该温度检测器230可以检测老化测试箱内的温度并送至 位于老化测试箱外的控制电路，由控制电路比较该检测温度与设置温度的大小，如果检测 温度小于设置温度，则控制加热器启动以对老化测试箱进行加热，反之，则关闭加热器。国家老化标准中规定，老化测试的目的是验证承受规定条件的器件在整个工作时 间内的质量或可靠性。其是在额定工作条件下进行的寿命试验，试验时间应足够长，以保证 其结果不具有早期失效或“初期失效”的特征，在整个寿命试验期间还应进行定期观察，以 监视失效率是否随时间有显著变化。为了在短时间内或以较小的应力来获得正确结果，以确保器件以后能用于高可靠 场合，必须用加速试验条件或足够大的样本来提供相应的失效概率。该试验条件通常包括 电输入、负载和偏置以及相应的最高工作温度或试验温度等。随着集成电路芯片的高速发展，集成电路芯片的复杂度进一步提高，往往要求在 老化的过程中持续对芯片进行监测，对老化测试提出了更高的要求。因老化测试过程漫长， 测试环境较为极端，这种情况下更希望能在老化测试过程中对异常情况做出及时反应，否 则可能极易导致芯片的损坏或老化测试的失败。
技术实现思路
本技术提供一种老化测试系统，解决了现有老化测试箱中，对异常情况的反 应较不及时的问题。为达到上述目的，本技术提供的一种老化测试系统，包括具有至少一个老化 测试板的老化测试箱、电源模块、报警模块，所述老化测试箱内还具有至少一个加热器或冷 却装置，以及至少一个用于检测老化测试温度值的温度检测器，在加热情况下，当所述老化 测试温度值大于第一设定值时，所述报警模块启动第一报警；当所述老化测试温度值大于 第二设定值时，所述报警模块启动第二报警；在冷却情况下，当所述老化测试温度值小于第 一设定值时，所述报警模块启动第一报警；当所述老化测试温度值小于第二设定值时，所述报警模块启动第二报警。其中，所述第一报警从听觉和/或视觉上提示用户；所述第二报警切断所述电源 模块对所述老化测试板的供电。可选地，在加热情况下，当所述老化测试温度值大于第三设定值时，所述报警模块 启动第三报警，所述第三报警切断所述电源模块对所述老化测试箱的供电，且所述老化测 试温度值大于第三设定值，指至少一个所述温度检测器检测得到的老化测试温度值大于第三设定值。可选地，所述第一报警从听觉和/或视觉上提示用户；所述第二报警切断所述电 源模块对所述老化测试箱的供电。其中，所述老化测试温度值大于或小于第一设定值，指至少一个所述温度检测器 检测得到的老化测试温度值大于或小于第一设定值；所述老化测试温度值大于或小于第二 设定值，指至少一个所述温度检测器检测得到的老化测试温度值大于或小于第二设定值。可选地，在加热情况下，当经过设定时间值后，所述老化测试温度值仍小于第四设 定值时，所述报警模块启动第四报警，从听觉和/或视觉上提示用户，且所述老化测试温度 值小于第四设定值，指至少一个所述温度检测器检测得到的老化测试温度值小于第四设定 值；在冷却情况下，当经过设定时间值后，所述老化测试温度值仍大于第四设定值时，所述 报警模块启动第四报警，从听觉和/或视觉上提示用户，且所述老化测试温度值大于第四 设定值，指至少一个所述温度检测器检测得到的老化测试温度值大于第四设定值。其中，所述至少一个老化测试板沿所述老化测试箱横向或纵向排列，且所述老化 测试箱内设置有循环风装置，以在各老化测试板之间形成循环风道。可选地，所述至少一个加热器设置于所述老化测试箱的底部和/或所述老化测试 箱的风道内。且所述至少一个温度检测器位于所述老化测试箱的顶部或/和所述老化测试箱 中心区域，或均勻分布于所述老化测试箱内。其中，所述报警模块在电源输出异常或测试结果异常时，从听觉和/或视觉上提 示用户。与现有技术相比，本技术具有以下优点本技术的老化测试系统，在老化测试箱内设置了自保护系统，其可以根据老 化测试过程中的异常情况做出不同的报警反应，进一步保护了待老化测试芯片。附图说明图1为现有的老化测试系统示意图；图2为现有的老化测试箱示意图；图3为说明本技术具体实施例中的老化测试系统的示意图；图4为说明本技术具体实施例中的老化测试箱结构示意图；图5为说明本技术具体实施例中的温度控制示意图。附图标记100 老化测试箱；101 测试和控制电路；210 老化测试板；220 老化测试插座；4230 温度检测器；240 加热器；310 老化测试箱；320 电源模块；330 报警模块；410 老化测试板；420 风道；430 加热器；440 温度检测器；510 控制电路；520 加热器；530 温度检测器。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，以下结合附图对本 技术的具体实施方式做详细的说明。本技术的具体实施例可以被广泛地应用于各个领域中，下面是通过较佳的实 施例来加以说明，当然本技术并不局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所 熟知的一般的替换无疑地涵盖在本技术的保护范围内。其次，本技术利用示意图进行了详细描述，在详述本技术实施例时，为了 便于说明，表示装置结构的示意图会不依一般比例作局部放大，不应以此作为对本实用新 型的限定。所谓老化测试，是在老化过程中需对老化的芯片持续进行加电监测的一种老化方 式，其对老化测试系统提出了更高的要求。以报警系统为例，传统的老化测试系统中的报警 系统就已无法满足要求。传统老化测试系统也设置有报警系统，但该报警系统较为简单，只是在温度出现 异常时，给予听觉或视觉上的提示。一方面，因为老化测试时间较长，极可能出现报警时没 有工作人员在场，无法及时处理，导致老化测试芯片损坏或老化测试系统损坏；另一方面， 其无法及时判定异常情况的严重程度，给工作人员较低的参考价值，工作人员在出现报警 异常情况时，往往只能断电，导致已进行较长时间的老化测试工作功亏一篑。为了应对集成电路器件的高速发展，本技术提出了一种新的老化测试系统， 其设置了具有自保护功能的报警模块，可分不同情况执行不同的报警行为，改进了上述传 统报警系统中的不足之处。图3为说明本技术具体实施例中的老化测试系统的示意图，图4为说明本实 用新型具体实施例中的老化测试箱结构示意图，图5为说明本技术具体实施例中的温 度控制示意图，下面结合图3至图5对本技术的具体实施例进行详细说明。图3为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种老化测试系统，包括具有至少一个老化测试板的老化测试箱、电源模块、报警模块，所述老化测试箱内还具有至少一个加热器或冷却装置，以及至少一个用于检测老化测试温度值的温度检测器，其特征在于：在加热情况下，当所述老化测试温度值大于第一设定值时，所述报警模块启动第一报警；当所述老化测试温度值大于第二设定值时，所述报警模块启动第二报警；在冷却情况下，当所述老化测试温度值小于第一设定值时，所述报警模块启动第一报警；当所述老化测试温度值小于第二设定值时，所述报警模块启动第二报警。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王斌，沈冲，陈剑晟，羡迪新，陈驰，高建辉，
申请(专利权)人：北京新润泰思特测控技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]