【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池，具体涉及一种pecvd载板在腔室内精确定位装置。
技术介绍
1、在太阳能电池制备过程中，现有镀膜系统包括镀膜腔室、传送设备，为对承载基板的载板进行控制，通常还会在镀膜腔室的入口位置或出口位置设置检测设备，即采用传感器系统来检测载板的位置，准确控制镀膜腔室的入口门阀和出口门阀的关闭与开启，进而避免入口门阀或者出口门阀压碎基板的情况。现有技术设置两个传感器，采用与传送方向中心垂直的方式安装并在腔室底部对应位置设置反光板。当载板通过传感器位置时会引起光通量的变化，从而实现检测载板的位置。然而，这种设置传感器的方式不适用于pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition的缩写，即等离子体增强型化学气相沉积)的工艺腔室。这是因为，pecvd的工艺腔室上盖设置有喷淋电极板，载板若定位在喷淋电板正对应的下电极中心位置，则当腔室上盖盖好后气体喷淋板占据了腔室上部的大部分空间，无法安装垂直位置的位置传感器。
2、目前对载板的定位方式中，包括：1）在载板目标位置利用直杆顶升往复运动来达到停止限位目的，其显著缺点是直杆往复运动定位的方式会因材料高温热胀变形而无法正常工作，并且载板以一定速度在直杆前停止时因撞击会受到很强的冲击，这种冲击可能导致基片脱离载板；2）在载板抵达目标位置前传动装置提前减速并通过传输动轮顺时针或逆时针转动以微调的方式达到停靠在目标位置的目的，其显著缺点是无法保证载板目标位置一致并且还降低了生产效率；3）只安装在进出口位置的粗略定位，其显著缺点是如果载
技术实现思路
1、本技术提出了一种pecvd载板在腔室内精确定位装置，解决上述现有技术存在的技术问题。
2、根据本技术的一个方面，提供了一种pecvd载板在腔室内精确定位装置，其特征在于，在腔室的入口位置的外部设置至少一个第一激光定位传感器，在腔室的出口位置的外部设置至少一个第二激光定位传感器，所述腔室内包括用于承载被运输件的载板，设于所述载板底部用于带动所述载板运动的传动机构，以及用于驱动所述传动机构的驱动机构，所述第一激光定位传感器与第二激光定位传感器电连接plc电气控制器，所述plc电气控制器电连接伺服电机。
3、进一步地，在腔室内的中心位置设置载板定位孔 。
4、进一步地，在腔室底部外侧对应所述载板定位孔的位置设置第三激光定位传感器。
5、进一步地，所述plc电气控制器还通过总线连接至上位机。
6、进一步地，所述第二激光定位传感器的数量为2个，包括第二主用传感器与第三主用传感器，按照载板运动方向依次安装。
7、进一步地，所述第一激光定位传感器的数量为2个，包括第一主用传感器与第一备用传感器，按照载板运动方向依次安装。
8、由上述本技术提供的技术方案可以看出，采用本技术，具有结构紧凑、操作简单、能够实现载板快速精准定位。通过距离参数和位置参数定位，程序plc控制伺服电机，可以使得载板定位精确，避免惯性产生的误差；腔体内全程无接触，仅依靠室外传感器控制载板的启停。对镀膜有更加好的效果。智能判定非工艺室过程，无第三激光定位传感器信号，执行距离参数0，执行非工艺腔室运行参数。有第三激光定位传感器信号执行距离参数1，执行工艺腔室运行参数。能够更加提升载板的运行速率，进一步提高产能和缩短节拍；避免了载板的定位方式中，直杆往复运动定位的方式会因材料高温热胀变形而无法正常工作，并且载板以一定速度在直杆前停止时因撞击会受到很强的冲击，这种冲击可能导致基片脱离载板的可能。
9、上述说明仅是本技术技术的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本技术的具体实施方式。
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1.一种PECVD载板在腔室内精确定位装置，其特征在于，在腔室的入口位置的外部设置至少一个第一激光定位传感器，在腔室的出口位置的外部设置至少一个第二激光定位传感器，所述腔室内包括用于承载被运输件的载板，设于所述载板底部用于带动所述载板运动的传动机构，以及用于驱动所述传动机构的驱动机构，所述第一激光定位传感器与第二激光定位传感器电连接PLC电气控制器，所述PLC电气控制器电连接伺服电机。
2.根据权利要求1所述的PECVD载板在腔室内精确定位装置，其特征在于，在腔室内的中心位置设置载板定位孔 。
3.根据权利要求2所述的PECVD载板在腔室内精确定位装置，其特征在于，在腔室底部外侧对应所述载板定位孔的位置设置第三激光定位传感器。
4.根据权利要求1所述的PECVD载板在腔室内精确定位装置，其特征在于，所述PLC电气控制器还通过总线连接至上位机。
5.根据权利要求1所述的PECVD载板在腔室内精确定位装置，其特征在于，所述第二激光定位传感器的数量为2个，包括第二主用传感器与第三主用传感器，按照载板运动方向依次安装。
6.根据
...【技术特征摘要】
1.一种pecvd载板在腔室内精确定位装置，其特征在于，在腔室的入口位置的外部设置至少一个第一激光定位传感器，在腔室的出口位置的外部设置至少一个第二激光定位传感器，所述腔室内包括用于承载被运输件的载板，设于所述载板底部用于带动所述载板运动的传动机构，以及用于驱动所述传动机构的驱动机构，所述第一激光定位传感器与第二激光定位传感器电连接plc电气控制器，所述plc电气控制器电连接伺服电机。
2.根据权利要求1所述的pecvd载板在腔室内精确定位装置，其特征在于，在腔室内的中心位置设置载板定位孔 。
3.根据权利要求2所述的pecvd载板在腔室内精确定位...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘长见，请求不公布姓名，贺震宇，曾海斌，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：
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