【技术实现步骤摘要】
本技术涉及测量仪器，尤其涉及一种moems器件自动测量机构。
技术介绍
1、psd是一种能够连续监测光点位置的非分割型光电转换元件，目前常利用psd位置传感器测试振动信号。它是一种模拟器件，具有响应时间快，外围电路简单，分辨率高以及不受入射光束和焦点偏离的影响等特点。以测量石英摆片的振动为例。石英摆片是加速度计的核心敏感元件，它广泛应用于航天、航空、航海等各种飞行器舰船的惯性导航、遥控、遥测系统中，因此对石英加速度计的性能提出了很高的要求，而石英摆片的各项参数，如几何尺寸、挠性刚度、摆动频率与振幅、扭动频率与振幅等都将对加速度计的性能产生影响。因此，实现对石英摆片各项参数的综合测试，是我们面临的新问题。基于psd传感器的诸多优点，在了解其检测原理之后特设计一套检测系统以满足我们的测量要求。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种moems器件自动测量机构。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种moems器件自动测量机构，包括机箱和连接在其顶部与其垂直设置的立座，所述机箱的顶部安装有y轴模组，y轴模组的输出端连接有与其垂直设置的x轴模组，x轴模组的输出端安装有转台模组，转台模组的输出端连接有moems器件座；
4、立座侧壁安装有竖直设置的z轴模组，z轴模组的输出端连接有旋转机构b，旋转机构b的输出端连接有旋转机构a，旋转机构a的输出端安装有psd模块。
5、优选地，所述psd模块
6、优选地，所述旋转机构a包括底座和连接座，底座和连接座通过弧形限位结构滑动相连，连接座靠近底座的一侧安装有月牙板，底座上转动连接有蜗杆，月牙板上设有与蜗杆相对于的螺纹，底座的侧壁安装有止动机构，连接座与psd模块相连。
7、优选地，所述弧形限位结构包括分别与底座和连接座相连的弧形滑轨，弧形滑轨相对的一侧均设有滚槽，滚槽内设置有若干滚珠，滚珠通过保持架相连。
8、优选地，所述止动机构包括安装在底座侧壁的侧板，侧板上设有弧形滑口，弧形滑口内设置有紧固螺钉。
9、优选地，所述psd模块上分别安装有角度传感器和距离传感器。
10、优选地，所述y轴模组、x轴模组和z轴模组均采用滚珠丝杠结构。
11、优选地，所述转台模组、y轴模组、x轴模组和z轴模组均采用伺服驱动。
12、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
13、1、x轴模组、y轴模组、z轴模组和转台模组相互配合对moems器件座上的moems器件进行移动和旋转，使moems器件和psd模块按照预定位置进行对位，以满足测量要求；
14、2、psd模块利用光学原理，对moems的振镜偏转角度进行测量，将测量的光学信号转换为电信号，满足系统自动测试要求；
15、3、旋转机构a和旋转机构b可自由偏转角度，模拟振镜偏转，同时让角度传感器辅助得出偏转角度，从而对各角度的电信号进行参数标定，满足后续测量要求。
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1.一种MOEMS器件自动测量机构，包括机箱(1)和连接在其顶部与其垂直设置的立座，其特征在于，所述机箱(1)的顶部安装有Y轴模组(2)，Y轴模组(2)的输出端连接有与其垂直设置的X轴模组(3)，X轴模组(3)的输出端安装有转台模组(4)，转台模组(4)的输出端连接有MOEMS器件座(5)；
2.根据权利要求1所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述PSD模块(8)包括安装板(82)和连接在其顶部的盖板(81)，盖板(81)和安装板(82)之间形成腔体结构，腔体的内壁分别安装有倾斜设置激光器(83)和PSD传感器(84)，安装板(82)的底部设有透光口(85)。
3.根据权利要求2所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述旋转机构a(7)包括底座(71)和连接座(73)，底座(71)和连接座(73)通过弧形限位结构滑动相连，连接座(73)靠近底座(71)的一侧安装有月牙板(72)，底座(71)上转动连接有蜗杆(75)，月牙板(72)上设有与蜗杆(75)相对于的螺纹(74)，底座(71)的侧壁安装有止动机构，连接座(73)与PSD模
4.根据权利要求3所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述弧形限位结构包括分别与底座(71)和连接座(73)相连的弧形滑轨(78)，弧形滑轨(78)相对的一侧均设有滚槽，滚槽内设置有若干滚珠(79)，滚珠(79)通过保持架相连。
5.根据权利要求4所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述止动机构包括安装在底座(71)侧壁的侧板(76)，侧板(76)上设有弧形滑口，弧形滑口内设置有紧固螺钉(77)。
6.根据权利要求5所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述PSD模块(8)上分别安装有角度传感器(9)和距离传感器(10)。
7.根据权利要求6所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述Y轴模组(2)、X轴模组(3)和Z轴模组(6)均采用滚珠丝杠结构。
8.根据权利要求7所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述转台模组(4)、Y轴模组(2)、X轴模组(3)和Z轴模组(6)均采用伺服驱动。
...【技术特征摘要】
1.一种moems器件自动测量机构，包括机箱(1)和连接在其顶部与其垂直设置的立座，其特征在于，所述机箱(1)的顶部安装有y轴模组(2)，y轴模组(2)的输出端连接有与其垂直设置的x轴模组(3)，x轴模组(3)的输出端安装有转台模组(4)，转台模组(4)的输出端连接有moems器件座(5)；
2.根据权利要求1所述的一种moems器件自动测量机构，其特征在于，所述psd模块(8)包括安装板(82)和连接在其顶部的盖板(81)，盖板(81)和安装板(82)之间形成腔体结构，腔体的内壁分别安装有倾斜设置激光器(83)和psd传感器(84)，安装板(82)的底部设有透光口(85)。
3.根据权利要求2所述的一种moems器件自动测量机构，其特征在于，所述旋转机构a(7)包括底座(71)和连接座(73)，底座(71)和连接座(73)通过弧形限位结构滑动相连，连接座(73)靠近底座(71)的一侧安装有月牙板(72)，底座(71)上转动连接有蜗杆(75)，月牙板(72)上设有与蜗杆(75)相对于的螺纹(74)，底座(71)的侧壁安装有止动机...
【专利技术属性】
技术研发人员：史艳媚，李智，丰贤旺，孙虎，
申请(专利权)人：合肥瀚博智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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