一种制造技术

本发明专利技术公开了一种

【技术实现步骤摘要】
一种MOEMS器件自动测量机构


[0001]本专利技术涉及测量仪器
，尤其涉及一种
MOEMS
器件自动测量机构
。

技术介绍

[0002]PSD
是一种能够连续监测光点位置的非分割型光电转换元件，目前常利用
PSD
位置传感器测试振动信号
。
它是一种模拟器件，具有响应时间快，外围电路简单，分辨率高以及不受入射光束和焦点偏离的影响等特点
。
以测量石英摆片的振动为例
。
石英摆片是加速度计的核心敏感元件，它广泛应用于航天
、
航空
、
航海等各种飞行器舰船的惯性导航
、
遥控
、
遥测系统中，因此对石英加速度计的性能提出了很高的要求，而石英摆片的各项参数，如几何尺寸
、
挠性刚度
、
摆动频率与振幅
、
扭动频率与振幅等都将对加速度计的性能产生影响
。
因此，实现对石英摆片各项参数的综合测试，是我们面临的新问题...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
MOEMS
器件自动测量机构，包括机箱
(1)
和连接在其顶部与其垂直设置的立座，其特征在于，所述机箱
(1)
的顶部安装有
Y
轴模组
(2)
，
Y
轴模组
(2)
的输出端连接有与其垂直设置的
X
轴模组
(3)
，
X
轴模组
(3)
的输出端安装有转台模组
(4)
，转台模组
(4)
的输出端连接有
MOEMS
器件座
(5)
；立座侧壁安装有竖直设置的
Z
轴模组
(6)
，
Z
轴模组
(6)
的输出端连接有旋转机构
b(11)
，旋转机构
b(11)
的输出端连接有旋转机构
a(7)
，旋转机构
a(7)
的输出端安装有
PSD
模块
(8)。2.
根据权利要求1所述的一种
MOEMS
器件自动测量机构，其特征在于，所述
PSD
模块
(8)
包括安装板
(82)
和连接在其顶部的盖板
(81)
，盖板
(81)
和安装板
(82)
之间形成腔体结构，腔体的内壁分别安装有倾斜设置激光器
(83)
和
PSD
传感器
(84)
，安装板
(82)
的底部设有透光口
(85)。3.
根据权利要求2所述的一种
MOEMS
器件自动测量机构，其特征在于，所述旋转机构
a(7)
包括底座
(71)
和连接座
(73)
，底座
(71)
和连接座
(73)
通过弧形限位结构滑动相连，连接座
(73)
靠近底座
(71)
的...

【专利技术属性】
技术研发人员：史艳媚，李智，丰贤旺，孙虎，
申请(专利权)人：合肥瀚博智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：