一种制造技术

本发明专利技术公开了一种

【技术实现步骤摘要】
一种MOEMS器件自动测量机构


[0001]本专利技术涉及测量仪器
，尤其涉及一种
MOEMS
器件自动测量机构
。

技术介绍

[0002]PSD
是一种能够连续监测光点位置的非分割型光电转换元件，目前常利用
PSD
位置传感器测试振动信号
。
它是一种模拟器件，具有响应时间快，外围电路简单，分辨率高以及不受入射光束和焦点偏离的影响等特点
。
以测量石英摆片的振动为例
。
石英摆片是加速度计的核心敏感元件，它广泛应用于航天
、
航空
、
航海等各种飞行器舰船的惯性导航
、
遥控
、
遥测系统中，因此对石英加速度计的性能提出了很高的要求，而石英摆片的各项参数，如几何尺寸
、
挠性刚度
、
摆动频率与振幅
、
扭动频率与振幅等都将对加速度计的性能产生影响
。
因此，实现对石英摆片各项参数的综合测试，是我们面临的新问题
。
基于
PSD
传感器的诸多优点，在了解其检测原理之后特设计一套检测系统以满足我们的测量要求
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种
MOEMS
器件自动测量机构
。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0005]一种
MOEMS
器件自动测量机构，包括机箱和连接在其顶部与其垂直设置的立座，所述机箱的顶部安装有
Y
轴模组，
Y
轴模组的输出端连接有与其垂直设置的
X
轴模组，
X
轴模组的输出端安装有转台模组，转台模组的输出端连接有
MOEMS
器件座；
[0006]立座侧壁安装有竖直设置的
Z
轴模组，
Z
轴模组的输出端连接有旋转机构
b
，旋转机构
b
的输出端连接有旋转机构
a
，旋转机构
a
的输出端安装有
PSD
模块
。
[0007]优选地，所述
PSD
模块包括安装板和连接在其顶部的盖板，盖板和安装板之间形成腔体结构，腔体的内壁分别安装有倾斜设置激光器和
PSD
传感器，安装板的底部设有透光口
。
[0008]优选地，所述旋转机构
a
包括底座和连接座，底座和连接座通过弧形限位结构滑动相连，连接座靠近底座的一侧安装有月牙板，底座上转动连接有蜗杆，月牙板上设有与蜗杆相对于的螺纹，底座的侧壁安装有止动机构，连接座与
PSD
模块相连
。
[0009]优选地，所述弧形限位结构包括分别与底座和连接座相连的弧形滑轨，弧形滑轨相对的一侧均设有滚槽，滚槽内设置有若干滚珠，滚珠通过保持架相连
。
[0010]优选地，所述止动机构包括安装在底座侧壁的侧板，侧板上设有弧形滑口，弧形滑口内设置有紧固螺钉
。
[0011]优选地，所述
PSD
模块上分别安装有角度传感器和距离传感器
。
[0012]优选地，所述
Y
轴模组
、X
轴模组和
Z
轴模组均采用滚珠丝杠结构
。
[0013]优选地，所述转台模组
、Y
轴模组
、X
轴模组和
Z
轴模组均采用伺服驱动
。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0015]1、X
轴模组
、Y
轴模组
、Z
轴模组和转台模组相互配合对
MOEMS
器件座上的
MOEMS
器件进行移动和旋转，使
MOEMS
器件和
PSD
模块按照预定位置进行对位，以满足测量要求；
[0016]2、PSD
模块利用光学原理，对
MOEMS
的振镜偏转角度进行测量，将测量的光学信号转换为电信号，满足系统自动测试要求；
[0017]3、
旋转机构
a
和旋转机构
b
可自由偏转角度，模拟振镜偏转，同时让角度传感器辅助得出偏转角度，从而对各角度的电信号进行参数标定，满足后续测量要求
。
附图说明
[0018]为了更具体直观地说明本专利技术实施例或者现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简要介绍
。
[0019]图1为本专利技术一种
MOEMS
器件自动测量机构的结构示意图一；
[0020]图2为本专利技术一种
MOEMS
器件自动测量机构的结构示意图二；
[0021]图3为本专利技术一种
MOEMS
器件自动测量机构的旋转机构
a
结构示意图一；
[0022]图4为本专利技术一种
MOEMS
器件自动测量机构的旋转机构
a
结构示意图二；
[0023]图5为本专利技术一种
MOEMS
器件自动测量机构的
PSD
模块结构示意图一；
[0024]图6为本专利技术一种
MOEMS
器件自动测量机构的
PSD
模块结构示意图二
。
[0025]图中：机箱
1、Y
轴模组
2、X
轴模组
3、
转台模组
4、MOEMS
器件座
5、Z
轴模组
6、
旋转机构
a7、
底座
71、
月牙板
72、
连接座
73、
螺纹
74、
蜗杆
75、
侧板
76、
紧固螺钉
77、
弧形滑轨
78、
滚珠
79、PSD
模块
8、
盖板
81、
安装板
82、
激光器
83、PSD
传感器
84、
透光口
85、
角度传感器
9、
距离传感器
10、
旋转机构
b11。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
[0027]参本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
MOEMS
器件自动测量机构，包括机箱
(1)
和连接在其顶部与其垂直设置的立座，其特征在于，所述机箱
(1)
的顶部安装有
Y
轴模组
(2)
，
Y
轴模组
(2)
的输出端连接有与其垂直设置的
X
轴模组
(3)
，
X
轴模组
(3)
的输出端安装有转台模组
(4)
，转台模组
(4)
的输出端连接有
MOEMS
器件座
(5)
；立座侧壁安装有竖直设置的
Z
轴模组
(6)
，
Z
轴模组
(6)
的输出端连接有旋转机构
b(11)
，旋转机构
b(11)
的输出端连接有旋转机构
a(7)
，旋转机构
a(7)
的输出端安装有
PSD
模块
(8)。2.
根据权利要求1所述的一种
MOEMS
器件自动测量机构，其特征在于，所述
PSD
模块
(8)
包括安装板
(82)
和连接在其顶部的盖板
(81)
，盖板
(81)
和安装板
(82)
之间形成腔体结构，腔体的内壁分别安装有倾斜设置激光器
(83)
和
PSD
传感器
(84)
，安装板
(82)
的底部设有透光口
(85)。3.
根据权利要求2所述的一种
MOEMS
器件自动测量机构，其特征在于，所述旋转机构
a(7)
包括底座
(71)
和连接座
(73)
，底座
(71)
和连接座
(73)
通过弧形限位结构滑动相连，连接座
(73)
靠近底座
(71)
的...

【专利技术属性】
技术研发人员：史艳媚，李智，丰贤旺，孙虎，
申请(专利权)人：合肥瀚博智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：