【技术实现步骤摘要】
本申请涉及图像处理，尤其涉及一种光学成像装置。
技术介绍
1、在半导体晶圆检测系统中，为了提高对晶圆的检测效率，可以先在低倍率光学系统下，对晶圆使用线扫相机快速完成初检，并在检测到缺陷时，再对缺陷所在的目标区域利用高倍率光学系统下的面阵相机进行复检。
2、而现有技术中，线扫相机所在的成像光路和面阵相机所在的成像光路为两个独立的模块，每次都需要人工被动将晶圆在线扫相机和面阵相机之间执行切换，从而导致对同一晶圆的检测时间较长，检测效率较低。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种光学成像装置，包括：物镜、第一成像组件、第二成像组件和切换机构，其中：
2、所述物镜，用于对所述检测对象进行成像；
3、所述第一成像组件包括线扫相机，用于对所述检测对象的像执行逐行图像扫描；
4、所述第二成像组件包括面阵相机，用于对所述检测对象的像执行逐帧图像扫描；
5、所述切换机构，用于在所述第一成像组件和所述第二成像组件之间执行切换，使得所述物镜和所述第一成像组件相互配合，以对所述检测对象的像执行逐行图像扫描，或使得所述物镜和所述第二成像组件相互配合，以对所述检测对象的像执行逐帧图像扫描。
6、作为一种可选的实施例，所述切换机构包括可移动反射镜和可转动反射镜中的一种。
7、作为一种可选的实施例，所述可移动反射镜直线移动偏离光路中时，所述物镜和所述第一成像组件相互配合；或者，所述可移动反射镜直线移动偏离光路中时，所述物镜和所
8、作为一种可选的实施例，所述可转动反射镜旋转偏离光路中时，所述物镜和所述第一成像组件相互配合；或者，所述可转动反射镜旋转偏离光路中时，所述物镜和所述第二成像组件相互配合。
9、作为一种可选的实施例，所述第一成像组件还包括设置于所述物镜和所述线扫相机之间的变焦镜组，以用于获取不同倍率的检测对象的像。
10、作为一种可选的实施例，所述变焦镜组的焦距包括140mm至300mm，所述变焦镜组的放大倍率为30倍至80倍。
11、作为一种可选的实施例，所述第一成像组件还包括设置于所述物镜和所述线扫相机之间的第一反射镜和/或第二反射镜。
12、作为一种可选的实施例，所述第二成像组件还包括设置于所述物镜和所述面阵相机之间的定焦镜组，以用于获取单倍率的检测对象的像。
13、作为一种可选的实施例，所述第二成像组件还包括设置于所述物镜和所述面阵相机之间的第一反射镜和/或第三反射镜。
14、作为一种可选的实施例，所述检测对象包括晶圆、芯片、掩膜版或玻璃屏幕。
15、从以上技术方案可以看出，本申请实施例具有以下优点：
16、本申请实施例中的光学成像装置，包括：物镜、第一成像组件、第二成像组件和切换机构，其中：所述物镜，用于对所述检测对象进行成像；所述第一成像组件包括线扫相机，用于对所述检测对象的像执行逐行图像扫描；所述第二成像组件包括面阵相机，用于对所述检测对象的像执行逐帧图像扫描；所述切换机构，用于在所述第一成像组件和所述第二成像组件之间执行切换，使得所述物镜和所述第一成像组件相互配合，以对所述检测对象的像执行逐行图像扫描，或使得所述物镜和所述第二成像组件相互配合，以对所述检测对象的像执行逐帧图像扫描。
17、因为本申请实施例中的切换机构，可以实现第一成像组件和第二成像组件之间的切换，从而实现了物镜和第一成像组件，或物镜和第二成像组件配合的便捷性，也提升了对检测对象的检测效率。
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1.一种光学成像装置，其特征在于，包括：物镜、第一成像组件、第二成像组件和切换机构，其中：
2.根据权利要求1所述的光学成像装置，其特征在于，所述切换机构包括可移动反射镜和可转动反射镜中的一种。
3.根据权利要求2所述的光学成像装置，其特征在于，所述可移动反射镜直线移动偏离光路中时，所述物镜和所述第一成像组件相互配合；或者，所述可移动反射镜直线移动偏离光路中时，所述物镜和所述第二成像组件相互配合。
4.根据权利要求2所述的光学成像装置，其特征在于，所述可转动反射镜旋转偏离光路中时，所述物镜和所述第一成像组件相互配合；或者，所述可转动反射镜旋转偏离光路中时，所述物镜和所述第二成像组件相互配合。
5.根据权利要求1所述的光学成像装置，其特征在于，所述第一成像组件还包括设置于所述物镜和所述线扫相机之间的变焦镜组，以用于获取不同倍率的检测对象的像。
6.根据权利要求5所述的光学成像装置，其特征在于，所述变焦镜组的焦距包括140mm至300mm，所述变焦镜组的放大倍率为30倍至80倍。
7.根据权利要求5所述的光学成像
8.根据权利要求1所述的光学成像装置，其特征在于，所述第二成像组件还包括设置于所述物镜和所述面阵相机之间的定焦镜组，以用于获取单倍率的检测对象的像。
9.根据权利要求8所述的光学成像装置，其特征在于，所述第二成像组件还包括设置于所述物镜和所述面阵相机之间的第一反射镜和/或第三反射镜。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的光学成像装置，其特征在于，所述检测对象包括：
...【技术特征摘要】
1.一种光学成像装置，其特征在于，包括：物镜、第一成像组件、第二成像组件和切换机构，其中：
2.根据权利要求1所述的光学成像装置，其特征在于，所述切换机构包括可移动反射镜和可转动反射镜中的一种。
3.根据权利要求2所述的光学成像装置，其特征在于，所述可移动反射镜直线移动偏离光路中时，所述物镜和所述第一成像组件相互配合；或者，所述可移动反射镜直线移动偏离光路中时，所述物镜和所述第二成像组件相互配合。
4.根据权利要求2所述的光学成像装置，其特征在于，所述可转动反射镜旋转偏离光路中时，所述物镜和所述第一成像组件相互配合；或者，所述可转动反射镜旋转偏离光路中时，所述物镜和所述第二成像组件相互配合。
5.根据权利要求1所述的光学成像装置，其特征在于，所述第一成像组件还包括设置于所述物镜和所述线扫相机之间...
【专利技术属性】
技术研发人员：靳丹，胡诗铭，张鹏斌，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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