【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检测设备，具体涉及一种高可靠碳化硅mos器件缺陷检测设备。
技术介绍
1、高可靠碳化硅mos器件是一种基于碳化硅材料的电力电子器件，具有高可靠性、高开关速度、宽输出频率等优点，而高可靠碳化硅mos器件在加工过程中需要用到缺陷检测设备对其存在的缺陷进行检测，从而保证高可靠碳化硅mos器件能够按照指定质量要求进行生产加工。
2、公开的技术文献中，中国专利公开号cn115446733a的专利公开了一种碳化硅mos快速检测装置及其检测方法，该专利主要通过筛选出合格的mos管配件，同时能够对mos管配件打磨，使mos管配件表面平整，方便在mos管配件上均匀涂抹散热硅脂，满足碳化硅mos高耐压特性需要散热的需求，有利于提高碳化硅功率器件质量；但是该检测装置还存在如下缺陷；
3、上述检测装置在对碳化硅mos器件进行检测时，由于碳化硅mos器件在加工过程中极易导致磕碰产生缺陷损坏点，而碳化硅mos器件检测时只能进行单面对单个碳化硅mos器件实现缺陷检测，检测完后还需要切换其他面再次检测，因此难以对多个碳化硅mos器件实现同步多向联动检测，导致检测效率大幅度降低，为此需提供一种高可靠碳化硅mos器件缺陷检测设备。
技术实现思路
1、为此，本专利技术提供一种高可靠碳化硅mos器件缺陷检测设备，以解决现有技术中存在的技术问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高可靠碳化硅mos器件缺陷检测设备，包括导向框板，所述导向框板的内部转动连
3、所述联动翻转机构包括安装在螺纹套接支块外壁一侧的圆环块，所述圆环块的外壁呈圆环等距分布连接有多个铰接凹块，每个所述铰接凹块的内部均安装有倾斜铰接套杆，所述倾斜铰接套杆的外壁且靠近其顶端位置处安装有凹形铰接联动块，在所述凹形铰接联动块的一侧焊接有凹形联动架，所述凹形联动架的两端部均焊接有联动齿条，所述联动齿条的上方啮合传动连接有联动旋转齿轮，所述联动旋转齿轮的内壁固定连接有转动套筒，所述转动套筒内壁滑动连接联动转杆，所述联动转杆的一端部焊接有l形联动夹板。
4、优选地，所述铰接凹块和螺纹套接支块均与圆环块之间固定连接，所述圆环块和螺纹套接支块均与导向框板之间竖向滑动连接，所述铰接凹块和凹形铰接联动块均与倾斜铰接套杆之间转动连接，所述双向联动螺杆的外壁两螺纹相反且对称设置。
5、优选地，所述转动套筒的外壁且位于联动旋转齿轮一侧位置处转动连接有套轴支架，所述套轴支架的一侧设有与转动套筒固定连接的联动套接框板，所述凹形联动架的顶端焊接有套接滑块，且所述套接滑块的内部滑动连接有导向滑杆，所述双向联动螺杆的底端延伸至导向框板下方并同轴传动连接有伺服减速电机，所述伺服减速电机的顶端且位于双向联动螺杆一侧位置处固定连接有支撑块，所述导向框板的外壁且靠近其底端位置处固定连接有套接支底盘，在所述套接支底盘的一侧焊接有支撑套架，所述支撑套架的内部固定连接有控制器，且所述控制器的底端安装有用于储存数据的储存器。
6、依据上述技术方案，双向联动螺杆带动螺纹套接支块在螺纹的作用下上移，螺纹套接支块带动圆环块使铰接凹块上移，铰接凹块带动倾斜铰接套杆使凹形铰接联动块移动，凹形铰接联动块带动凹形联动架移动，凹形联动架带动两个联动齿条移动，联动齿条带动联动旋转齿轮啮合旋转，联动旋转齿轮带动转动套筒在使联动转杆旋转，同时转动套筒在套轴支架内部稳定旋转，l形联动夹板使联动套接框板同步旋转，l形联动夹板带动高可靠碳化硅mos器件旋转。
7、优选地，所述双向联动螺杆的外壁且靠近其顶端位置处螺纹连接有螺纹套接联动块，所述螺纹套接联动块的一侧安装有联动检测组件；
8、所述联动检测组件包括安装在螺纹套接联动块一侧的圆环联动架，且所述圆环联动架的外壁连接有多个联动铰接块，所述联动铰接块的内部转动连接有倾斜套接支架，在所述倾斜套接支架的外壁且靠近其底端位置处转动连接有铰接联动滑块，所述铰接联动滑块的一侧焊接有联动支架，所述联动支架的一端部固定连接有用于检测碳化硅mos器件的视觉检测传感器，所述联动支架的底端焊接有套接滑架，所述套接滑架的内部且靠近其底端位置处滑动连接有导向支杆，多个所述联动铰接块呈圆环等距分布排列设置，多个所述联动铰接块均与圆环联动架之间焊接。
9、依据上述技术方案，螺纹套接联动块带动圆环联动架向下移动，联动铰接块带动倾斜套接支架使铰接联动滑块移动，铰接联动滑块的底端带动联动支架水平移动，联动支架带动套接滑架在导向支杆的外壁导向滑动，视觉检测传感器能够同步沿着高可靠碳化硅mos器件上方移动，视觉检测传感器能够对高可靠碳化硅mos器件翻转的多向位置图像进行采集，采集后的图像数据通过控制器输送到储存器上经过储存器内部储存的图像进行比对判断是否存在缺陷。
10、优选地，所述导向框板的外壁且靠近其中部位置处焊接有套接平台，所述套接平台的下方设有联动锁紧组件；
11、所述联动锁紧组件包括设置在套接平台下方的嵌入转环，且所述嵌入转环的底端焊接有联动齿轮，所述联动齿轮的外壁一侧啮合传动连接有传动齿轮，在所述传动齿轮底端嵌入插接有减速驱动电机，所述减速驱动电机与导向框板之间固定连接有固定支架，所述嵌入转环的外壁焊接有多个套接滑槽条，每个所述套接滑槽条的内部均滑动连接有限位联动杆，所述限位联动杆的顶端焊接有联动轴环，所述联动轴环的内壁与联动转杆外壁之间嵌入转动连接，所述联动齿轮和嵌入转环均与导向框板之间转动连接，多个所述套接滑槽条呈圆环等距分布排列设置。
12、依据上述技术方案，高可靠碳化硅mos器件放置在两个l形联动夹板的内壁位置处，减速驱动电机带动传动齿轮旋转，传动齿轮带动联动齿轮旋转，联动齿轮带动嵌入转环在导向框板的外壁旋转，套接滑槽条带动限位联动杆滑动的同时移动，同时限位联动杆带动联动轴环向左移动，联动轴环带动联动转杆沿着转动套筒内部滑动，联动转杆带动l形联动夹板挤压高可靠碳化硅mos器件进行锁紧固定。
13、本专利技术具有如下优点：
14、1、本专利技术采用联动翻转机构使双向联动螺杆带动螺纹套接支块在螺纹的作用下上移，圆环块使铰接凹块上移，铰接凹块带动倾斜铰接套杆使凹形铰接联动块移动，凹形联动架带动两个联动齿条移动，联动齿条带动联动旋转齿轮啮合旋转，转动套筒在套轴支架内部稳定旋转，联动转杆带动l形联动夹板使高可靠碳化硅mos器件能够旋转，多个高可靠碳化硅mos器件能够同步实现旋转多向检测缺陷，检测效率大幅度提高。
15、2、本专利技术通过联动检测组件使双向联动螺杆带动螺纹套接联动块在螺纹的作用下沿着导向框板内部导向下移，联动铰接块带动倾斜套接支架使铰接联动滑块移动，联动铰接块带动倾斜套接支架使铰接联动滑块移动，视觉检测传感器能够对高可靠碳化硅mos器件翻转时进行多向位置图像采集，多个视觉检测传感器形成联动检测，检测效本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，包括导向框板（1），所述导向框板（1）的内部转动连接有双向联动螺杆（2），所述双向联动螺杆（2）的外壁且靠近其底端位置处螺纹连接有螺纹套接支块（3），其特征在于：所述螺纹套接支块（3）的外壁一侧安装有联动翻转机构；
2.如权利要求1所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述铰接凹块（5）和螺纹套接支块（3）均与圆环块（4）之间固定连接，所述圆环块（4）和螺纹套接支块（3）均与导向框板（1）之间竖向滑动连接。
3.如权利要求1所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述铰接凹块（5）和凹形铰接联动块（7）均与倾斜铰接套杆（6）之间转动连接，所述双向联动螺杆（2）的外壁两螺纹相反且对称设置。
4.如权利要求1所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述转动套筒（11）的外壁且位于联动旋转齿轮（10）一侧位置处转动连接有套轴支架（15），所述套轴支架（15）的一侧设有与转动套筒（11）固定连接的联动套接框板（14）。
5.如权利要求1所述的高可靠碳化硅
6.如权利要求1所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述导向框板（1）的外壁且靠近其底端位置处固定连接有套接支底盘（20），在所述套接支底盘（20）的一侧焊接有支撑套架（21），所述支撑套架（21）的内部固定连接有控制器（22），且所述控制器（22）的底端安装有用于储存数据的储存器（23）。
7.如权利要求1所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述双向联动螺杆（2）的外壁且靠近其顶端位置处螺纹连接有螺纹套接联动块（24），所述螺纹套接联动块（24）的一侧安装有联动检测组件；
8.如权利要求7所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：多个所述联动铰接块（26）呈圆环等距分布排列设置，多个所述联动铰接块（26）均与圆环联动架（25）之间焊接。
9.如权利要求1所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述导向框板（1）的外壁且靠近其中部位置处焊接有套接平台（33），所述套接平台（33）的下方设有联动锁紧组件；
10.如权利要求9所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述联动齿轮（35）和嵌入转环（34）均与导向框板（1）之间转动连接，多个所述套接滑槽条（39）呈圆环等距分布排列设置。
...【技术特征摘要】
1.一种高可靠碳化硅mos器件缺陷检测设备，包括导向框板（1），所述导向框板（1）的内部转动连接有双向联动螺杆（2），所述双向联动螺杆（2）的外壁且靠近其底端位置处螺纹连接有螺纹套接支块（3），其特征在于：所述螺纹套接支块（3）的外壁一侧安装有联动翻转机构；
2.如权利要求1所述的高可靠碳化硅mos器件缺陷检测设备，其特征在于：所述铰接凹块（5）和螺纹套接支块（3）均与圆环块（4）之间固定连接，所述圆环块（4）和螺纹套接支块（3）均与导向框板（1）之间竖向滑动连接。
3.如权利要求1所述的高可靠碳化硅mos器件缺陷检测设备，其特征在于：所述铰接凹块（5）和凹形铰接联动块（7）均与倾斜铰接套杆（6）之间转动连接，所述双向联动螺杆（2）的外壁两螺纹相反且对称设置。
4.如权利要求1所述的高可靠碳化硅mos器件缺陷检测设备，其特征在于：所述转动套筒（11）的外壁且位于联动旋转齿轮（10）一侧位置处转动连接有套轴支架（15），所述套轴支架（15）的一侧设有与转动套筒（11）固定连接的联动套接框板（14）。
5.如权利要求1所述的高可靠碳化硅mos器件缺陷检测设备，其特征在于：所述凹形联动架（8）的顶端焊接有套接滑块（16），且所述套接滑块（16）的内部滑动连接有导向滑杆（17），所述双向联动螺杆（2）的底端延伸至导向框板（1）下方并同轴传动连接有伺服减速电机（19）...
【专利技术属性】
技术研发人员：窦静，仇亮，
申请(专利权)人：广东仁懋电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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