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一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备制造技术
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文档序号:40197334
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本发明公开了一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备,属于检测设备技术领域,主要包括导向框板,在导向框板的内部转动连接有双向联动螺杆,双向联动螺杆的外壁且靠近其底端位置处螺纹连接有螺纹套接支块,且螺纹套接支块的外壁一侧安装有联动翻转机构;联动...
该专利属于广东仁懋电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东仁懋电子有限公司授权不得商用。
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