【技术实现步骤摘要】
本技术涉及反应装置，具体为一种化学气相沉积反应装置。
技术介绍
1、化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。
2、例如中国专利中cn 210438836 u公开了一种化学气相沉积反应器，包括装置本体，装置本体的内部设置有滑移底板，滑移底板的上表面固定设置有反应槽，反应槽上设置有若干组夹持机构，装置本体的两端内壁均焊接固定有滑轨，滑轨与滑移底板之间设置有滚动轮，滑移底板通过滑轨与装置本体连接，滑移底板一侧的远离反应槽的一端设置有密封门，技术能够通过两个夹持块的配合对装置本体内的衬底工件进行夹持悬空放置，便于工件底面能偶更好的附着薄膜，并能够在底面反应附着完成后通过拉动第二把手，使夹持块松开，便于工件的侧面继续反应，这样能够使工件的附膜效果均匀，没有死角。
3、上述专利虽然优点较多，但是该专利中化学气相沉积反应器内部气体反应时会产生一定量的有害气体，由于化学气相沉积反应器中未进行设置过滤机构，产生的有害气体直接进行排放，进而会对环境不利，进而降低了化学气相沉积反应器的环保性。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种化学气相沉积反应装置，具备提升化学气相沉积反应装置的环保性等优点，解决了化学气相沉积反应器内部气体反应时会产生
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种化学气相沉积反应装置，包括反应装置本体，所述反应装置本体的正面通过合页转动连接有密封门，所述反应装置本体正面且位于密封门的上侧固定有控制面板，所述反应装置本体左侧的上侧连通有进气结构，所述反应装置本体右侧的下侧设有用以对化学气相沉积反应装置进行提升环保性的过滤机构，所述反应装置本体的下表面设有用以对化学气相沉积反应装置进行高度调节的调节机构；
3、所述过滤机构包括固定在反应装置本体右侧下侧的过滤框，所述过滤框的内部固定有抽风机，所述过滤框内部且位于抽风机的上侧通过螺栓固定有支撑流通板，所述过滤框内部且位于支撑流通板的上表面通过螺栓固定有第一过滤网，所述第一过滤网的上表面通过螺栓固定有第二过滤网，所述过滤框的下表面设有连接组件。
4、进一步，所述第一过滤网为聚酯纤维过滤网，所述第二过滤网为活性炭过滤网。
5、进一步，所述连接组件包括连通在过滤框下表面的连通结构，所述连通结构的左侧与反应装置本体的右侧连通，所述过滤框的上表面通过螺栓固定有防护架。
6、进一步，所述调节机构包括固定在反应装置本体下表面的螺纹杆，所述螺纹杆的外侧螺纹连接有螺纹筒，所述螺纹筒外侧的下侧通过轴承转动连接有支撑架，所述支撑架的下表面固定有支撑底座，所述支撑底座上表面且位于支撑架的内部固定有电机，所述电机输出轴的外侧与螺纹筒的底端固定连接，所述支撑底座上表面且位于支撑架的左右两侧设有限位组件。
7、进一步，所述限位组件包括固定在支撑底座上表面且位于支撑架左右两侧且数量为两个的滑动筒，所述滑动筒的内部滑动连接有滑动杆，所述滑动杆的顶端与反应装置本体的下表面固定连接。
8、进一步，所述滑动筒的内径与滑动杆的外径相适配，前后侧所述滑动筒呈对称分布于支撑底座横向中轴线的前后两侧。
9、进一步，所述滑动筒的左右两侧均开设有限位槽，所述滑动杆左右两侧且位于左右侧限位槽的内部均固定有限位块，所述限位块滑动连接在限位槽的内部。
10、与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
11、1、该化学气相沉积反应装置，反应结束后可以通过控制面板将抽风机进行启动，抽风机将反应装置本体反应后产生的尾气经过连通结构流到过滤框的内部，并通过第一过滤网和第二过滤网过滤后进行排放，第一过滤网和第二过滤网可以对尾气中的有害物质进行过滤，进而可以提升化学气相沉积反应装置的环保性。
12、2、该化学气相沉积反应装置，通过控制面板可以将电机进行启动，电机输出轴转动时带动螺纹筒进行转动，然后螺纹连接在螺纹筒内部的螺纹杆在螺纹筒的内部进行上下移动，进而可以调节化学气相沉积反应装置的水平高度，便于不同身高的工作人们进行操作化学气相沉积反应装置。
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1.一种化学气相沉积反应装置，包括反应装置本体(1)，其特征在于：所述反应装置本体(1)的正面通过合页转动连接有密封门(2)，所述反应装置本体(1)正面且位于密封门(2)的上侧固定有控制面板(3)，所述反应装置本体(1)左侧的上侧连通有进气结构(4)，所述反应装置本体(1)右侧的下侧设有用以对化学气相沉积反应装置进行提升环保性的过滤机构(5)，所述反应装置本体(1)的下表面设有用以对化学气相沉积反应装置进行高度调节的调节机构(6)；
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述第一过滤网(504)为聚酯纤维过滤网，所述第二过滤网(505)为活性炭过滤网。
3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述连接组件包括连通在过滤框(501)下表面的连通结构(506)，所述连通结构(506)的左侧与反应装置本体(1)的右侧连通，所述过滤框(501)的上表面通过螺栓固定有防护架(507)。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述调节机构(6)包括固定在反应装置本体(1)下表面的螺纹杆(
5.根据权利要求4所述的一种化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述限位组件包括固定在支撑底座(604)上表面且位于支撑架(603)左右两侧且数量为两个的滑动筒(606)，所述滑动筒(606)的内部滑动连接有滑动杆(607)，所述滑动杆(607)的顶端与反应装置本体(1)的下表面固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述滑动筒(606)的内径与滑动杆(607)的外径相适配，前后侧所述滑动筒(606)呈对称分布于支撑底座(604)横向中轴线的前后两侧。
7.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述滑动筒(606)的左右两侧均开设有限位槽，所述滑动杆(607)左右两侧且位于左右侧限位槽的内部均固定有限位块，所述限位块滑动连接在限位槽的内部。
...【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积反应装置，包括反应装置本体(1)，其特征在于：所述反应装置本体(1)的正面通过合页转动连接有密封门(2)，所述反应装置本体(1)正面且位于密封门(2)的上侧固定有控制面板(3)，所述反应装置本体(1)左侧的上侧连通有进气结构(4)，所述反应装置本体(1)右侧的下侧设有用以对化学气相沉积反应装置进行提升环保性的过滤机构(5)，所述反应装置本体(1)的下表面设有用以对化学气相沉积反应装置进行高度调节的调节机构(6)；
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述第一过滤网(504)为聚酯纤维过滤网，所述第二过滤网(505)为活性炭过滤网。
3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述连接组件包括连通在过滤框(501)下表面的连通结构(506)，所述连通结构(506)的左侧与反应装置本体(1)的右侧连通，所述过滤框(501)的上表面通过螺栓固定有防护架(507)。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述调节机构(6)包括固定在反应装置本体(1)下表面的螺纹杆(601)，所述螺纹杆(601)的外侧螺纹连接有螺纹筒(602)，所述螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨庆明，
申请(专利权)人：上海芯承电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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