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本技术涉及一种化学气相沉积反应装置，包括反应装置本体，所述反应装置本体的正面通过合页转动连接有密封门，所述反应装置本体正面且位于密封门的上侧固定有控制面板，所述反应装置本体左侧的上侧连通有进气结构，所述反应装置本体右侧的下侧设有用以对化学气...
该专利属于上海芯承电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯承电子科技有限公司授权不得商用。

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