一种用于PVD溅镀设备的多功能控制器制造技术

本技术涉及一种用于PVD溅镀设备的多功能控制器，包括安装板，所述安装板的顶端放置有底座，所述底座的顶端固定有控制器本体，所述控制器本体的前端设有防尘散热机构，所述安装板的顶端设有安装机构；所述安装机构包括开设在安装板顶端中部的定位槽，所述安装机构还包括固定在安装板顶端左右两侧的两个滑轨。该用于PVD溅镀设备的多功能控制器，通过在控制器本体的前端设有防尘散热机构，使得控制器能够在通风和散热的同时防止灰尘的进入，通过在安装板的顶端设有安装机构，使得控制器本体在进行安装和拆卸时不需要借助到其他工具，提高控制器本体的安装和拆卸效率，整体的安装和拆卸的效果较好，能够满足多功能控制器的使用需求。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及pvd溅镀设备控制器，具体为一种用于pvd溅镀设备的多功能控制器。

技术介绍

1、pvd物理气相沉积：指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程，它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能，pvd基本方法：真空蒸发、溅射、离子镀，溅镀是指在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。

2、pvd溅镀设备上一般设有控制器，对于该控制器，现有技术中一般采用螺栓和螺母对控制器进行固定和拆卸，这就导致了控制器在安装的过程中利用到螺丝刀等其他工具，无法在没有螺丝刀等工具的情况下安装和拆卸，维护及使用不便，基于此，提出了一种用于pvd溅镀设备的多功能控制器。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于pvd溅镀设备的多功能控制器，具备能够在不使用螺丝刀等工具的情况下进行安装和拆卸等优点，解决了控制器拆卸和安装需要利用到工具的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于pvd溅镀设备的多功能控制器，包括安装板，所述安装板的顶端放置有底座，所述底座的顶端固定有控制器本体，所述控制器本体的前端设有防尘散热机构，所述安装板的顶端设有安装机构；

3、所述安装机构包括开设在安装板顶端中部的定位槽，所述安装机构还包括固定在安装板顶端左右两侧的两个滑轨，所述滑轨内壁的右端固定有弹簧，所述弹簧的左端固定有滑块，所述滑块的顶端固定有挡板，所述滑轨的右端固定有竖杆，所述挡板的右侧铰接有拉杆。

4、进一步，所述防尘散热机构包括开设于控制器本体后端的多个散热孔，所述防尘散热机构还包括固定与控制器本体内部的散热风扇，所述控制器本体的前端固定有进气管，所述进气管的内壁固定有多个分隔板，每两个所述分隔板相对的一侧之间均固定有防尘网。

5、进一步，所述底座放置在定位槽的内部，所述挡板的截面呈l形，所述挡板的底端与底座的顶端相贴合。

6、进一步，所述拉杆的内部开设有矩形孔，所述竖杆与矩形孔滑动连接。

7、进一步，所述竖杆的右侧开设有凹槽，所述矩形孔的左侧与凹槽的左侧相抵接。

8、进一步，所述散热孔的位置与进气管相对应，所述散热风扇的位置与进气管的位置相对应。

9、与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

10、该用于pvd溅镀设备的多功能控制器，通过在控制器本体的前端设有防尘散热机构，使得控制器能够在通风和散热的同时防止灰尘的进入，通过在安装板的顶端设有安装机构，使得控制器本体在进行安装和拆卸时不需要借助到其他工具，提高控制器本体的安装和拆卸效率，整体的安装和拆卸的效果较好，能够满足多功能控制器的使用需求。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于PVD溅镀设备的多功能控制器，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)的顶端放置有底座(2)，所述底座(2)的顶端固定有控制器本体(3)，所述控制器本体(3)的前端设有防尘散热机构(4)，所述安装板(1)的顶端设有安装机构(5)；

2.根据权利要求1所述的一种用于PVD溅镀设备的多功能控制器，其特征在于：所述防尘散热机构(4)包括开设于控制器本体(3)后端的多个散热孔(401)，所述防尘散热机构(4)还包括固定与控制器本体(3)内部的散热风扇(402)，所述控制器本体(3)的前端固定有进气管(403)，所述进气管(403)的内壁固定有多个分隔板(404)，每两个所述分隔板(404)相对的一侧之间均固定有防尘网(405)。

3.根据权利要求1所述的一种用于PVD溅镀设备的多功能控制器，其特征在于：所述底座(2)放置在定位槽(501)的内部，所述挡板(505)的截面呈L形，所述挡板(505)的底端与底座(2)的顶端相贴合。

4.根据权利要求1所述的一种用于PVD溅镀设备的多功能控制器，其特征在于：所述拉杆(507)的内部开设有矩形孔，所述竖杆(506)与矩形孔滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于PVD溅镀设备的多功能控制器，其特征在于：所述竖杆(506)的右侧开设有凹槽，所述矩形孔的左侧与凹槽的左侧相抵接。

6.根据权利要求2所述的一种用于PVD溅镀设备的多功能控制器，其特征在于：所述散热孔(401)的位置与进气管(403)相对应，所述散热风扇(402)的位置与进气管(403)的位置相对应。

...

【技术特征摘要】

1.一种用于pvd溅镀设备的多功能控制器，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)的顶端放置有底座(2)，所述底座(2)的顶端固定有控制器本体(3)，所述控制器本体(3)的前端设有防尘散热机构(4)，所述安装板(1)的顶端设有安装机构(5)；

2.根据权利要求1所述的一种用于pvd溅镀设备的多功能控制器，其特征在于：所述防尘散热机构(4)包括开设于控制器本体(3)后端的多个散热孔(401)，所述防尘散热机构(4)还包括固定与控制器本体(3)内部的散热风扇(402)，所述控制器本体(3)的前端固定有进气管(403)，所述进气管(403)的内壁固定有多个分隔板(404)，每两个所述分隔板(404)相对的一侧之间均固定有防尘网(405)。

3.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：张红，
申请(专利权)人：上海芯承电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：