【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种扫描电子显微镜，尤其涉及一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台。
技术介绍
1、扫描电子显微镜是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
2、现有技术cn206947293u中公开了一种用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，利用基座及预倾角支撑柱等部件对待测样品截面进行调整，使得待测样品截面正对扫描电子显微镜电子束光源，能够对不规则样品截面进行检测，但由于不规则截面与样品所成角度不一致，而现有技术中仅支持一定角度的样品截面，无法满足全部的不规则样品截面检测。
3、因此，有必要对现有技术中的扫描电子显微镜样品座进行改进，以解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术克服了现有技术的不足，提供一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，旨在解决现有技术中无法针对各种角度的不规则界面进行检测的缺陷。
...【技术保护点】
1.一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，包括：机体(100)，固定设置在所述机体(100)上的若干移动机构(200)，以及设置在每个所述移动机构(200)上方的转动机构(300)，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：每个所述移动机构(200)包括：气缸(210)，与所述气缸(210)固定连接的支杆(220)，以及与所述支杆(220)另一端固定连接的底板(230)；所述支杆(220)带动所述底板(230)水平运动，所述底板(230)水平设置，所述底板(230)设置在所述电机(310)正下方且与所述...
【技术特征摘要】
1.一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，包括：机体(100)，固定设置在所述机体(100)上的若干移动机构(200)，以及设置在每个所述移动机构(200)上方的转动机构(300)，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：每个所述移动机构(200)包括：气缸(210)，与所述气缸(210)固定连接的支杆(220)，以及与所述支杆(220)另一端固定连接的底板(230)；所述支杆(220)带动所述底板(230)水平运动，所述底板(230)水平设置，所述底板(230)设置在所述电机(310)正下方且与所述电机(310)固定连接，所述气缸(210)与所述机体(100)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：相邻所述支杆(220)运动方向相反，相邻所述转杆(320)同向转动。
4.根据权利要求2所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：所述底板(230)沿垂直于所述支杆(220)运动方向的长度尺寸大于所述气缸腔(110)沿垂直于所述支杆(220)运动方向的长度尺寸。
5.根据权利要求2所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：每个所述底板(230)底部设置有若干滑块，所述机体(100)上表面设置有若干导轨(240)，所述滑块与所述导轨(240)对应设置，所述导轨(240)延伸方向与所述转杆(320)延伸方向一致...
【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞华，王均，庞帅，
申请(专利权)人：南京默思泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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